公开(公告)号：CN114975098A

公开(公告)日：2022-08-30

申请号：CN202210677002.9

申请日：2016-02-23

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 加藤顺 ,  本间猛 ,  伊藤俊树

IPC: H01L21/266 ,  H01L21/3105 ,  H01L21/48 ,  H05K3/00 ,  B29C59/00 ,  B29C59/02 ,  B29D11/00 ,  C08L35/02 ,  C09D133/08 ,  G02B1/04 ,  G03F7/00 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/029 ,  G03F7/16 ,  B29K33/00

Abstract: 本发明涉及纳米压印液体材料及其制造方法、固化产物图案的制造方法和电路板的制造方法。提供一种纳米压印液体材料，其中粒径为0.07μm以上的颗粒的粒子数浓度小于310个/mL。

公开(公告)号：CN107112208B

公开(公告)日：2021-06-25

申请号：CN201580069521.5

申请日：2015-12-15

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 米泽诗织 ,  伊藤俊树 ,  大谷智教 ,  岩下和美 ,  本间猛

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  H01L21/3065

Abstract: 一种压印用光固化性组合物，至少具有聚合性化合物(A)和光聚合引发剂(B)，其中聚合性化合物(A)包含20重量％以上的多官能(甲基)丙烯酸系单体，且光固化性组合物的光固化物的玻璃化转变温度为90℃以上。

公开(公告)号：CN105659358B

公开(公告)日：2020-08-21

申请号：CN201480051516.7

申请日：2014-09-05

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  B81C1/00 ,  G03F7/20

Abstract: 一种膜的生产方法，其包括：将光固化性组合物配置在基板上的配置步骤；使所述光固化性组合物和模具彼此接触的模具接触步骤；用光照射所述光固化性组合物从而形成固化产物的光照射步骤；和使所述固化产物和所述模具彼此脱离的脱模步骤，其中所述方法进一步包括在所述光照射步骤之前将所述模具与所述基板彼此对准的对准步骤，其中所述光固化性组合物至少包含作为组分(A)的聚合性化合物和作为组分(B)的光聚合引发剂，并且其中当所述聚合性化合物在0.12mW/cm2的照度和11.0秒的曝光时间的条件下曝光时，所述聚合性化合物具有50％以上的聚合转化率。

公开(公告)号：CN107078025B

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201580045586.6

申请日：2015-08-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  本间猛 ,  米泽诗织

IPC: H01L21/027 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50

Abstract: 一种光固化性组合物，其含有满足OA＝NA/(NC,A‑NO,A)的聚合性化合物(A)，其中NA、NC,A和NO,A分别表示(A)中的原子总数、碳原子数和氧原子数；和含有至少一种包括光聚合引发剂(B)的化合物(X)的非聚合性组分(E)，比例在相对于(A)和(E)的总重量为10％至50％的范围内。组分(E)具有250以下的重均分子量。化合物(X)满足OX＝NX/(NC,X‑NO,X)。NX、NC,X和NO,X分别表示相应化合物(X)中的原子总数、碳原子数和氧原子数。组合物满足：OA‑OE>1.00且OAE

公开(公告)号：CN106537557B

公开(公告)日：2019-06-18

申请号：CN201580037057.1

申请日：2015-06-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  大谷智教 ,  岩下和美

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  B32B27/00 ,  C09J4/02 ,  C09J11/06

Abstract: 在纳米压印过程中，光固化产物经常与基板分离并且由于光固化产物与基板之间的粘合性不足而附着至模具。这导致图案分离的缺陷。一种用于在基板与光固化性组合物之间形成粘着层的粘着层组合物，其包括具有至少两个官能团的化合物(A)和溶剂(B)。所述官能团包括：至少一个能够结合至基板的官能团，其选自由羟基、羧基、硫醇基、氨基、环氧基和(封端的)异氰酸酯基组成的组；和至少一个氢供给性基团，其作为能够结合至光固化性组合物的官能团。

公开(公告)号：CN106062010B

公开(公告)日：2019-06-11

申请号：CN201580010744.4

申请日：2015-02-10

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 本间猛 ,  伊藤俊树 ,  米泽诗织 ,  川崎阳司 ,  饭村晶子

IPC: C08F2/48 ,  C08F20/10 ,  H01L21/027

Abstract: 在含有冷凝性气体的气态氛围下的压印方法中，光压印用固化性组合物难以固化，图案未完全形成而造成缺陷。本发明涉及一种在含有冷凝性气体的气态氛围下的光压印用固化性组合物。该光压印用固化性组合物至少包含下列组分(A)和组分(B)：(A)聚合性化合物，和(B)光聚合引发剂。组分(B)具有小于1重量％的在5℃和1atm下在液态的冷凝性气体中的饱和溶解度，或具有大于7.6的对冷凝性气体的汉森距离(Ra)。

公开(公告)号：CN106463356B

公开(公告)日：2019-05-17

申请号：CN201580024398.5

申请日：2015-04-28

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 加藤顺 ,  川崎阳司 ,  米泽诗织 ,  伊藤俊树

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08F2/50 ,  H01L21/3065

Abstract: 提供一种纳米压印用固化性组合物，其即使当在低曝光量下通过光纳米压印方法使所述固化性组合物固化时，也能够形成具有充分固化的表面且图案倒塌缺陷倾向较小的固化产物。提供形成此类固化产物的纳米压印方法。提供即使在低曝光量下固化时图案倒塌缺陷倾向也较小的固化产物，此类固化产物的制造方法，光学组件的制造方法，电路板的制造方法和电子组件的制造方法。一种固化性组合物，其在固化状态下满足式(1)：Er1/Er2≧1.10(1)，其中，Er1表示所述固化性组合物的固化产物的表面折减弹性模量(GPa)，和Er2表示所述固化产物的内部折减弹性模量(GPa)。

公开(公告)号：CN108885975A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021961.2

申请日：2017-03-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  刘卫军 ,  布赖恩·蒂莫西·斯塔霍维亚克 ,  尼亚兹·科斯纳蒂诺夫 ,  大谷智教 ,  田边正幸

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02

CPC classification number: G03F7/0002 ,  C09D133/06 ,  C09D135/02

Abstract: 一种在基板(201)上形成图案的方法，其中：将包含作为聚合性化合物的组分(a1)和作为光聚合引发剂的组分(b1)且以相对于100重量份组分(a1)为0重量份以上且小于0.1重量份的量包含组分(b1)的固化性组合物(202)的层配置在基板(201)的表面上；并将包含作为聚合性化合物的组分(a2)和作为光聚合引发剂的组分(b2)的固化性组合物(203)的液滴离散地滴落在固化性组合物(202)的层上，从而将固化性组合物(202)和固化性组合物(203)的混合层夹持在模具(205)与基板(201)之间；使混合层通过光(206)的照射而固化；和将模具(205)与固化后的混合层脱离。如果固化性组合物(202)曝光于1.00mW/cm2的照度下100.0秒的曝光时间，则聚合性化合物(a1)的聚合转化率为50％以下。

公开(公告)号：CN108602238A

公开(公告)日：2018-09-28

申请号：CN201780008232.3

申请日：2017-01-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树

IPC: B29C59/02

Abstract: 根据本发明的图案形成方法以下述顺序包括：步骤(1)：将由至少包含聚合性化合物(a1)的固化性组合物(A1)形成的层层压在基板的表面上；步骤(2)：将至少包含聚合性化合物(a2)的固化性组合物(A2)的液滴通过以离散的方式滴落而在固化性组合物(A1)层上形成层压体；步骤(3)：将通过固化性组合物(A1)和固化性组合物(A2)的部分混合形成的层夹持在模具和基板之间；步骤(4)：从模具侧用光照射通过两种固化性组合物的部分混合形成的层的被夹持在模具和基板之间的部分，以使所述部分一次性固化；和步骤(5)：将模具与固化后的固化性组合物的层分离。该图案形成方法的特征在于：固化性组合物(A1)至少包含由通式(1)表示的化合物作为所述聚合性化合物(a1)：

公开(公告)号：CN104737271B

公开(公告)日：2018-04-10

申请号：CN201380052636.4

申请日：2013-09-20

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 伊藤俊树 ,  三原知恵子 ,  松藤奈央子 ,  北川健司

IPC: H01L21/027 ,  B29C59/02 ,  C08K5/435 ,  C08L33/00

CPC classification number: C08F222/10 ,  B29C59/16 ,  B29D11/00788 ,  B29L2011/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C08K5/235 ,  C08K5/435 ,  C08L33/06 ,  C23C14/48 ,  G02B1/04 ,  G03F7/0002 ,  G03F7/022 ,  G03F7/027 ,  H01L21/0271 ,  H01L21/311 ,  H05K3/0091 ,  H05K3/06 ,  Y10T428/24802

Abstract: 提供了一种降低了脱模力的光固化性组合物。所述光固化性组合物是以下光固化性组合物，其在与具有形成了凹凸图案的表面的模具接触的同时使用光来固化从而制造具有凹凸图案的膜，并且包括聚合性化合物、光聚合引发剂和具有光刺激响应部位的感光性气体产生剂。所述感光性气体产生剂具有含有至少一个烯化氧链的重复结构并且通过光照射从所述光刺激响应部位产生气体。