洋葱状碳的制作方法
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102933490B

    公开(公告)日:2015-02-11

    申请号:CN201180019467.5

    申请日:2011-06-06

    CPC classification number: C01B31/02 B82Y30/00 B82Y40/00 C01B32/18 Y10S977/773

    Abstract: 本发明提供洋葱状碳的制作方法,其以低成本制作洋葱状碳(OLC)。在本发明中,在作为第一步骤的DLC粉末制作处理中,通过以烃系气体为材料气体的等离子体CVD法制作硬质碳粉,即DLC粉末。接着,在作为第二步骤的DLC-OLC转换处理中,在真空中或惰性气体环境中加热器加热该DLC粉末。由此,DLC粉末转换成OLC,也就是说,制成了该OLC。这样,根据本发明,将烃系气体作为起始原料制作OLC,因此,能够以极低成本制作该OLC。

    等离子体产生装置、等离子体处理装置以及无缝辊模具用等离子体蚀刻装置

    公开(公告)号:CN117397369A

    公开(公告)日:2024-01-12

    申请号:CN202280038015.X

    申请日:2022-05-27

    Abstract: 为了能够在容量更大的容器内产生密度更高的等离子体,本公开所涉及的等离子体产生装置具备:高频电路(20),其具有感性负载以及向该感性负载供给高频电力的高频电源(22);以及反应容器,其构成为能够减压,通过对感性负载施加高频电力来在该反应容器中产生等离子体。感性负载由螺旋状的天线线圈(21)构成,天线线圈(21)以包围反应容器的周围的方式配置,天线线圈被分割为至少两个以上的天线线圈。高频电路(20)具有多个路径(23),分割所得的至少两个以上的天线线圈(21)分别设置于多个路径(23)。

    洋葱状碳的制作方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102933490A

    公开(公告)日:2013-02-13

    申请号:CN201180019467.5

    申请日:2011-06-06

    CPC classification number: C01B31/02 B82Y30/00 B82Y40/00 C01B32/18 Y10S977/773

    Abstract: 本发明提供洋葱状碳的制作方法,其以低成本制作洋葱状碳(OLC)。在本发明中,在作为第一步骤的DLC粉末制作处理中,通过以烃系气体为材料气体的等离子体CVD法制作硬质碳粉,即DLC粉末。接着,在作为第二步骤的DLC-OLC转换处理中,在真空中或惰性气体环境中加热器加热该DLC粉末。由此,DLC粉末转换成OLC,也就是说,制成了该OLC。这样,根据本发明,将烃系气体作为起始原料制作OLC,因此,能够以极低成本制作该OLC。

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