一种晶圆级芯片尺寸封装结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN107464788A

    公开(公告)日:2017-12-12

    申请号:CN201610396568.9

    申请日:2016-06-06

    IPC分类号: H01L23/31 H01L21/56

    摘要: 本发明涉及半导体器件封装技术领域,尤其涉及一种晶圆级芯片尺寸封装结构及其制备方法,可通过在上层环氧树脂浇灌之前,先对晶圆进行预切割,并一直切到下面保护膜层中,但不切透该保护膜层,然后再进行环氧树脂浇灌以及后续制程,进而在两种不同材料结合面形成凹凸结构,而形成在两种不同材料结合面的凹凸结构可将产品开裂等缺陷的风险减少到最低,从而提高产品的良率、品质及可靠性。