基板处理装置
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111415884B

    公开(公告)日:2024-04-09

    申请号:CN202010019383.2

    申请日:2020-01-08

    Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。该基板处理装置可靠地进行基板处理装置内的空间的气氛调整并且削减气氛调整用的气体的使用量。基板处理装置包括:控制基板处理区的处理区域内的气氛的第1气氛控制系统和控制基板处理区的基板输送区域内的气氛的第2气氛控制系统。第1气氛控制系统在利用各液体处理单元进行液体处理时,利用第1气体供给部向该液体处理单元供给气氛控制气体,并且利用第1气体排出部排出该液体处理单元内的气氛。第2气氛控制系统使气氛调整气体在属于该第2气氛控制系统的循环系统内循环,并且在液体处理单元中的至少一个液体处理单元于基板输送区域开放时,利用第2气体排出部排出第2气氛控制系统的循环系统内的气氛。

    基板处理装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111415884A

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN202010019383.2

    申请日:2020-01-08

    Abstract: 本发明提供一种基板处理装置。该基板处理装置可靠地进行基板处理装置内的空间的气氛调整并且削减气氛调整用的气体的使用量。基板处理装置包括:控制基板处理区的处理区域内的气氛的第1气氛控制系统和控制基板处理区的基板输送区域内的气氛的第2气氛控制系统。第1气氛控制系统在利用各液体处理单元进行液体处理时,利用第1气体供给部向该液体处理单元供给气氛控制气体,并且利用第1气体排出部排出该液体处理单元内的气氛。第2气氛控制系统使气氛调整气体在属于该第2气氛控制系统的循环系统内循环,并且在液体处理单元中的至少一个液体处理单元于基板输送区域开放时,利用第2气体排出部排出第2气氛控制系统的循环系统内的气氛。

    搬送装置和搬送方法
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103177992B

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201210487648.7

    申请日:2012-11-26

    CPC classification number: G06F17/00 B25J13/085 H01L21/67288 H01L21/68707

    Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法,在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时,能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送,该搬送装置的特征在于,包括:驱动单元,利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转,从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动,使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动;和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元,搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值,基于所检测的转矩值,计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值,并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。

    搬送装置和搬送方法
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103177992A

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201210487648.7

    申请日:2012-11-26

    CPC classification number: G06F17/00 B25J13/085 H01L21/67288 H01L21/68707

    Abstract: 本发明提供一种搬送装置和搬送方法,在利用电机的旋转驱动力使装载有被搬送部件的被驱动单元移动从而搬送被搬送部件时,能够检测搬送时发生的异常。该搬送装置将被搬送部件装载于被驱动单元进行搬送,该搬送装置的特征在于,包括:驱动单元,利用电机的旋转驱动力使驱动侧传动轮旋转,从而使架设在该驱动侧传动轮的传动带移动,使连结于该传动带的被驱动单元在规定的方向上移动;和监视被驱动单元的搬送状态的搬送监视单元,搬送监视单元检测出使被驱动单元移动时所需的上述电机的转矩值,基于所检测的转矩值,计算出该转矩值的相对时间的转矩微分值,并利用所计算的转矩微分值检测搬送状态。通过具有上述特征的搬送装置能够完成上述课题。

    基板保持具
    5.
    外观设计

    公开(公告)号:CN302742601S

    公开(公告)日:2014-02-19

    申请号:CN201330367654.4

    申请日:2013-08-01

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:基板保持具。2.本外观设计产品的用途:在保持并输送例如半导体晶圆等圆形基板的基板输送臂上安装可更换的基板保持具。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状的设计。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:设计1立体图1。5.省略视图:设计1右视图与设计1左视图对称,省略设计1右视图;设计2右视图与设计2左视图对称,省略设计2右视图。6.指定基本设计:设计1。

    基板保持具安装用基材
    6.
    外观设计

    公开(公告)号:CN302710091S

    公开(公告)日:2014-01-08

    申请号:CN201330368009.4

    申请日:2013-08-01

    Abstract: 1.本外观设计产品的名称:基板保持具安装用基材。2.本外观设计产品的用途:在保持并输送例如半导体晶圆等圆形基板的基板输送臂上安装可更换的基板保持具安装用基材。3.本外观设计产品的设计要点:在于形状的设计。4.最能表明本外观设计设计要点的图片或照片:立体图1。5.省略视图:右视图与左视图对称,省略右视图。

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