用于多层结构的工件激光钻孔的方法

    公开(公告)号:CN1997482A

    公开(公告)日:2007-07-11

    申请号:CN200580019239.2

    申请日:2005-07-29

    IPC分类号: B23K26/38 H05K3/00

    摘要: 用于在多层结构工件5上激光钻孔的方法。本发明提供用于在一多层结构工件(150,250)上激光钻出一穿孔(153,253)方法,其中借助第一激光输出(111)在要钻的穿孔(153、253)的横截面面积的一部分区域(390)内将第一层(152、252)去除,从而在所述横截面面积内保留第一层(152、252)的一部分。借助第二激光输出,在要钻的穿孔(153、253)的整个横截面面积(395)内,将第二层(151、251)去除,其中在第二层(151、251)去除时,同时将第一层(152、252)的保留部分去除。第一层(152、252)沿一确定的界线(370)的干净的材料去除通过沿穿孔边缘的部分的材料移除实现。优选地为了去除第一金属层(152、252),使用一紫外线激光光束(111),为了去除第二介电层(151、251),使用一红外线激光光束。