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公开(公告)号：CN102208752A
公开(公告)日：2011-10-05
申请号：CN201110102885.2
申请日：2009-07-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01S5/18391 , H01S5/18311 , H01S5/18347 , H01S2301/166 , H01S2301/176
Abstract: 本发明提供一种表面发射激光器及阵列、其制造方法和光学装置。该表面发射激光器制造方法等减少表面浮雕结构所出现的处理损伤，从而使得能够稳定地提供单横模特性。提供一种包含用于控制上部镜子的发光部分中的反射率的表面浮雕结构的方法，该表面浮雕结构包含阶梯结构，该方法包括：在上部镜子上面或之上，形成包含用于形成台面结构的图案和用于形成阶梯结构的图案的抗蚀剂图案，并执行第一阶段蚀刻，用于蚀刻上部镜子的表面层以确定阶梯结构的水平位置；在执行第一阶段蚀刻之后，形成电流限制结构；以及在形成电流限制结构之后，执行第二阶段蚀刻，用于进一步蚀刻已执行第一阶段蚀刻的区域，以确定阶梯结构的深度位置。
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公开(公告)号：CN101640375B
公开(公告)日：2011-05-18
申请号：CN200910165013.3
申请日：2009-07-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01S5/423 , H01S5/18311 , H01S5/18369 , H01S5/18377 , H01S5/18391 , H01S5/209 , H01S5/34326 , H01S2301/166
Abstract: 本发明提供制造面发射激光器及其阵列的方法和光学设备。该光学设备包括由该方法制造的面发射激光器阵列。本发明提供了一种用于制造面发射激光器的方法，该面发射激光器包括提供在层叠的半导体层上的表面起伏结构，该方法包含以下步骤：在同一个工艺中将用于限定台面结构的第一图案和用于限定该表面起伏结构的第二图案转移到第一介电膜；以及在第一图案和第二图案已经被转移到其上的该层叠的第一介电膜以及半导体层的表面上形成第二介电膜。因此，可以将表面起伏结构的中心位置与电流限制结构的中心位置高精度地对准。
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公开(公告)号：CN101685941A
公开(公告)日：2010-03-31
申请号：CN200910173255.7
申请日：2009-09-22
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 井久田光弘
CPC classification number: H01S5/18391 , H01S5/18311 , H01S5/2086 , H01S5/209 , H01S2301/166
Abstract: 本发明提供可以抑制表面浮雕结构和电流狭窄结构在水平方向的偏离，提高对位精度，稳定获得单一横模式特性的面发光激光器及其制造方法。层叠了半导体层的面发光激光器，具有通过蚀刻上部反射镜的一部分而形成的第1蚀刻区域。另外，具有通过从第1蚀刻区域的底部蚀刻到用于形成电流狭窄结构的半导体层为止而形成的第2蚀刻区域。该第2蚀刻区域的深度比第1蚀刻区域的深度浅。
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公开(公告)号：CN101421889A
公开(公告)日：2009-04-29
申请号：CN200780013053.5
申请日：2007-04-05
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 井久田光弘
CPC classification number: H01S5/105 , B82Y20/00 , H01S5/183 , H01S5/2027 , H01S5/34326
Abstract: 本发明提供了一种具有新颖结构的表面发射激光器，该表面发射激光器消除了在基板侧上的光子晶体层的界面处设置低折射率介质的需要。多层镜(1300)、有源层(1200)和折射率周期性地改变的折射率周期性结构层(1020)层叠在垂直于基板(1500)的方向上。折射率周期性结构层被构造为将垂直入射到该折射率周期性结构上的波长为λ的光至少分为透射光和衍射光。多层镜被构造为对于衍射光的反射率高于对于透射光的反射率。在包括折射率周期性结构层和多层镜的波导中实现谐振模式。
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公开(公告)号：CN102545039A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110409245.6
申请日：2011-12-09
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 井久田光弘
CPC classification number: G03G15/04072 , H01S5/18313 , H01S5/18391 , H01S2301/18
Abstract: 本发明涉及面发射激光器。所述面发射激光器包括台阶状结构，所述台阶状结构包含具有不同厚度的部分。在台阶状结构的所述部分中的每一个中，从在台阶状结构之上限定的并且与基板平行地延伸的平面到上部反射镜与台阶状结构之间的界面的光路长度被设为特定的值。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101640376B
公开(公告)日：2011-10-12
申请号：CN200910165015.2
申请日：2009-07-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01S5/18391 , H01S5/18311 , H01S5/18347 , H01S2301/166 , H01S2301/176
Abstract: 本发明提供一种表面发射激光器及阵列、其制造方法和光学装置。该表面发射激光器制造方法等减少表面浮雕结构所出现的处理损伤，从而使得能够稳定地提供单横模特性。提供一种包含用于控制上部镜子的发光部分中的反射率的表面浮雕结构的方法，该表面浮雕结构包含阶梯结构，该方法包括：在上部镜子上面或之上，形成包含用于形成台面结构的图案和用于形成阶梯结构的图案的抗蚀剂图案，并执行第一阶段蚀刻，用于蚀刻上部镜子的表面层以确定阶梯结构的水平位置；在执行第一阶段蚀刻之后，形成电流限制结构；以及在形成电流限制结构之后，执行第二阶段蚀刻，用于进一步蚀刻已执行第一阶段蚀刻的区域，以确定阶梯结构的深度位置。
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公开(公告)号：CN101821917A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：CN200880110570.9
申请日：2008-10-08
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 井久田光弘
CPC classification number: H01S5/18 , H01S5/105 , H01S5/187 , H01S5/2004 , H01S5/2027
Abstract: 当由不能大量提取折射率差的半导体材料配置表面发射激光器(100)时，提供使用能够形成波导的光子晶体(160)的表面发射激光器。
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公开(公告)号：CN101640376A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910165015.2
申请日：2009-07-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01S5/18391 , H01S5/18311 , H01S5/18347 , H01S2301/166 , H01S2301/176
Abstract: 本发明提供一种表面发射激光器及阵列、其制造方法和光学装置。该表面发射激光器制造方法等减少表面浮雕结构所出现的处理损伤，从而使得能够稳定地提供单横模特性。提供一种包含用于控制上部镜子的发光部分中的反射率的表面浮雕结构的方法，该表面浮雕结构包含阶梯结构，该方法包括：在上部镜子上面或之上，形成包含用于形成台面结构的图案和用于形成阶梯结构的图案的抗蚀剂图案，并执行第一阶段蚀刻，用于蚀刻上部镜子的表面层以确定阶梯结构的水平位置；在执行第一阶段蚀刻之后，形成电流限制结构；以及在形成电流限制结构之后，执行第二阶段蚀刻，用于进一步蚀刻已执行第一阶段蚀刻的区域，以确定阶梯结构的深度位置。
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公开(公告)号：CN101640375A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910165013.3
申请日：2009-07-28
Applicant: 佳能株式会社
CPC classification number: H01S5/423 , H01S5/18311 , H01S5/18369 , H01S5/18377 , H01S5/18391 , H01S5/209 , H01S5/34326 , H01S2301/166
Abstract: 本发明提供制造面发射激光器及其阵列的方法和光学设备。该光学设备包括由该方法制造的面发射激光器阵列。本发明提供了一种用于制造面发射激光器的方法，该面发射激光器包括提供在层叠的半导体层上的表面起伏结构，该方法包含以下步骤：在同一个工艺中将用于限定台面结构的第一图案和用于限定该表面起伏结构的第二图案转移到第一介电膜；以及在第一图案和第二图案已经被转移到其上的该层叠的第一介电膜以及半导体层的表面上形成第二介电膜。因此，可以将表面起伏结构的中心位置与电流限制结构的中心位置高精度地对准。
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公开(公告)号：CN104767121B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201510153386.4
申请日：2011-10-05
Applicant: 佳能株式会社
Inventor： 井久田光弘
CPC classification number: H01S5/18 , B41J2/455 , B41J2/473 , H01S3/02 , H01S5/183 , H01S5/18313 , H01S5/1833 , H01S5/18361 , H01S5/18391 , H01S5/3202 , H01S5/423 , H01S2301/16 , H01S2301/166 , H01S2301/18
Abstract: 本发明提供表面发射激光器和分别包括表面发射激光器的表面发射激光器阵列和图像形成装置，所述表面发射激光器提供足够的光学输出并适于用作电子照相装置的光源。表面发射激光器在前反射镜的前表面上包含第一阶梯结构。在第一阶梯结构中，第一区域中的光路长度与第二区域中的光路长度之间的差值L满足下式：(1/4+N)λ
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