元件粘贴方法和设备
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1155052C

    公开(公告)日:2004-06-23

    申请号:CN99812830.9

    申请日:1999-10-18

    IPC分类号: H01L21/00

    摘要: 一种元件粘贴方法和设备,用于解决元件与所粘结的片材之间截留空气的问题。该问题是这样解决的,该设备包括一弹性压件,它是具有渐尖的或点状的末端的实心弹性压件,用以将片材压向元件;设置一加压装置,使整个弹性压件对着片材来回移动,当弹性压件朝片材移动时,该末端使片材朝元件移动,直至片材在一点接触区域接触元件,如此加压装置进一步朝片材移动,使弹性压件弹性变形,由此使元件与片材之间的接触区域朝元件的周边扩大,将元件粘结到片材上。所以元件首先与片材点或线接触,以避免空气截留在其间。然后元件与片材之间的接触区域逐渐扩大,直至元件的整个底部表面粘结于片材。本发明可用于将IC芯片间隔地粘贴到一运输带的带状片材上。