公开(公告)号：CN101643193B

公开(公告)日：2014-12-31

申请号：CN200910161124.7

申请日：2009-08-04

Applicant: 罗伯特.博世有限公司

Inventor： J·贡斯卡 ,  R·豪斯纳

IPC: H04N1/46 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/025 ,  B81C1/00293 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0145 ,  Y10T428/24744

Abstract: 本发明涉及一种具有一基底晶片(10)的微机械装置，该微机械装置至少具有一个第一空腔(21)和一个第二空腔(22)，其中所述空腔密封地彼此分离，其中所述第一空腔(21)具有不同于所述第二空腔(22)的另一大气内压力。本发明的核心在于，采用一薄层罩(100)来封装所述空腔。此外，本发明还涉及用于制造具有薄层封装的微机械装置的方法，该微机械装置具有带有不同大气内压力的空腔。

公开(公告)号：CN101643193A

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200910161124.7

申请日：2009-08-04

Applicant: 罗伯特.博世有限公司

Inventor： J·贡斯卡 ,  R·豪斯纳

IPC: B81B7/02 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B7/02 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/025 ,  B81C1/00293 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0145 ,  Y10T428/24744

Abstract: 本发明涉及一种具有一基底晶片(10)的微机械装置，该微机械装置至少具有一个第一空腔(21)和一个第二空腔(22)，其中所述空腔密封地彼此分离，其中所述第一空腔(21)具有不同于所述第二空腔(22)的另一大气内压力。本发明的核心在于，采用一薄层罩(100)来封装所述空腔。此外，本发明还涉及用于制造具有薄层封装的微机械装置的方法，该微机械装置具有带有不同大气内压力的空腔。

公开(公告)号：CN107986228A

公开(公告)日：2018-05-04

申请号：CN201711011247.3

申请日：2017-10-26

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： H·施塔尔 ,  A·朔伊尔勒 ,  H·施佩希特 ,  M·温克 ,  R·豪斯纳 ,  V·施米茨

IPC: B81C1/00

CPC classification number: B81C3/001 ,  B81B7/02 ,  B81C1/00269 ,  B81C99/0035 ,  B81C1/00015 ,  B81C1/00023 ,  B81C1/0023

Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，其中，微机械构件包括衬底装置和罩装置，其中，在准备步骤中，使衬底装置和/或罩装置结构化，其中，在第一子步骤中，设定第一压力和/或第一化学组分，并且将衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境封闭的第一空穴，其中，在第一空穴中存在第一压力和/或包含第一化学组分，其中，在第二子步骤中，设定第二压力和/或第二化学组分，并且衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境并且相对于第一空穴封闭的第二空穴，其中，在第二空穴中存在第二压力和/或包含第二化学组分。

公开(公告)号：CN107986228B

公开(公告)日：2023-03-10

申请号：CN201711011247.3

申请日：2017-10-26

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： H·施塔尔 ,  A·朔伊尔勒 ,  H·施佩希特 ,  M·温克 ,  R·豪斯纳 ,  V·施米茨

IPC: B81C1/00

Abstract: 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，其中，微机械构件包括衬底装置和罩装置，其中，在准备步骤中，使衬底装置和/或罩装置结构化，其中，在第一子步骤中，设定第一压力和/或第一化学组分，并且将衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境封闭的第一空穴，其中，在第一空穴中存在第一压力和/或包含第一化学组分，其中，在第二子步骤中，设定第二压力和/或第二化学组分，并且衬底装置和罩装置这样相互连接，使得形成相对于微机械构件的周围环境并且相对于第一空穴封闭的第二空穴，其中，在第二空穴中存在第二压力和/或包含第二化学组分。

公开(公告)号：CN106458576A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580030617.0

申请日：2015-05-29

Applicant: 罗伯特·博世有限公司

Inventor： R·施特劳布 ,  S·平特 ,  D·哈贝雷尔 ,  J·巴德尔 ,  S·安布鲁斯特 ,  R·豪斯纳

IPC: B81C3/00

CPC classification number: B81C1/00801 ,  B81B7/0025 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  B81C3/001 ,  B81C2201/014 ,  B81C2203/0145 ,  G02B26/0833

Abstract: 一种微机械层组件(100)，其具有：-至少两个彼此无关地构造的机械的活性的功能层(10、20)，所述功能层(10、20)垂直相叠地布置并且在功能上彼此耦合。