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    带电粒子束显微镜和使用带电粒子束进行扫描的方法
    1.
    发明授权
    带电粒子束显微镜和使用带电粒子束进行扫描的方法 有权

    公开(公告)号：CN106098518B

    公开(公告)日：2020-01-10

    申请号：CN201610294324.X

    申请日：2016-05-03

    申请人： FEI ,  公司

    发明人： C.S.库伊曼 ,  J.S.法伯

    IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/29

    摘要： 本发明涉及使用定向波束信号分析的粒子大小的自适应扫描。提供了用于扫描显微镜的系统和方法以快速形成区域的部分图像。该方法包括执行区域的初始扫描以及使用初始扫描来识别表示在区域中的感兴趣的特征的区。然后，该方法执行表示感兴趣的结构的区的附加自适应扫描。这样的扫描通过执行与特征边缘交叉的局部扫描图案并指引局部扫描图案跟随特征边缘来使扫描波束的路径适合于跟随感兴趣的特征的边缘。

    扫描类型显微镜中的数学图像组合
    4.
    发明授权
    扫描类型显微镜中的数学图像组合 有权

    公开(公告)号：CN105321170B

    公开(公告)日：2018-10-30

    申请号：CN201510339651.8

    申请日：2015-06-18

    申请人： FEI ,  公司

    发明人： P.波托塞克 ,  C.S.库伊曼 ,  H.N.斯林格兰德 ,  G.N.A.范维恩 ,  F.波霍贝

    IPC分类号： G06T7/00 ,  G02B21/00 ,  H01J37/22

    摘要： 一种使用扫描类型显微镜累积标本图像的方法,包括以下步骤：‑提供从源导向通过照明器的辐射射束以辐射所述标本；‑提供用于检测响应于所述辐射从所述标本发出的辐射通量的检测器；‑使所述射束经受相对于标本表面的扫描运动，并作为扫描位置的函数记录所述检测器的输出，该方法还包括以下步骤：‑在第一采样时段S1中，从跨标本稀疏分布的采样点的第一群集P1采集检测器数据；‑重复这个程序以便累积在采样时段的相关联集合{Sn}期间采集的这种群集的集合{Pn}，每个集合的基数N>1；‑通过使用集合{Pn}作为对综合数学重构程序的输入来组合标本的图像，其中，作为所述组合过程的部分，进行数学配准校正来补偿集合{Pn}的不同成员之间的漂移失配。

    多模态数据的聚类
    5.
    发明授权
    多模态数据的聚类 有权

    公开(公告)号：CN102879407B

    公开(公告)日：2016-12-21

    申请号：CN201210238629.0

    申请日：2012-07-11

    申请人： FEI ,  公司

    发明人： C.S.库伊曼 ,  S.R.M.施托克斯

    IPC分类号： G01N23/00

    CPC分类号： G01N23/203 ,  G01N23/2206 ,  G01N23/2252 ,  G01N2223/402 ,  G01N2223/418 ,  G01N2223/616 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/24475 ,  H01J2237/2611

    摘要： 本发明涉及多模态数据的聚类。对来自获取不同类型的信息的多个探测器的信息进行组合以比使用来自单个类型的探测器的单个类型信息可以确定的属性更高效地确定样本的一个或多个属性。在一些实施例中，同时从不同的探测器收集信息，这可以大大减少数据获取时间。在一些实施例中，例如，对来自于样本上不同的点的信息进行组合以创建根据第二探测器的如通过第一探测器确定的共同组成的区域的单个能谱，该样本上的不同点是基于与这些点相关的来自于一种类型探测器的信息和来自于第二类型的探测器的信息进行分组的。在一些实施例中，数据收集是自适应的，也就是说，在收集期间对数据进行分析以确定是否已经收集了用来在期望置信度的情况下确定期望属性的足够数据。

    使用定向波束信号分析的粒子大小的自适应扫描
    6.
    发明公开
    使用定向波束信号分析的粒子大小的自适应扫描 有权

    公开(公告)号：CN106098518A

    公开(公告)日：2016-11-09

    申请号：CN201610294324.X

    申请日：2016-05-03

    申请人： FEI公司

    发明人： C.S.库伊曼 ,  J.S.法伯

    IPC分类号： H01J37/147 ,  H01J37/29

    摘要： 本发明涉及使用定向波束信号分析的粒子大小的自适应扫描。提供了用于扫描显微镜的系统和方法以快速形成区域的部分图像。该方法包括执行区域的初始扫描以及使用初始扫描来识别表示在区域中的感兴趣的特征的区。然后，该方法执行表示感兴趣的结构的区的附加自适应扫描。这样的扫描通过执行与特征边缘交叉的局部扫描图案并指引局部扫描图案跟随特征边缘来使扫描波束的路径适合于跟随感兴趣的特征的边缘。

    用于在带电粒子设备中使用的检测器
    8.
    发明授权
    用于在带电粒子设备中使用的检测器 有权

    公开(公告)号：CN102866413B

    公开(公告)日：2016-12-28

    申请号：CN201210233116.0

    申请日：2012-07-06

    申请人： FEI ,  公司

    发明人： C.S.库伊曼 ,  G.N.A.范维恩

    IPC分类号： G01T1/00

    CPC分类号： G01T1/24 ,  G01T1/2928 ,  H01J37/244 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/24415 ,  H01J2237/2448 ,  H01L31/115

    摘要： 本发明涉及一种用于检测X射线的辐射检测器，所述检测器包括硅漂移二极管(10,200)，所述硅漂移二极管示出阳极(16,202)和输出端，处于工作中的所述硅漂移二极管响应于单个检测到的光子在所述输出端上产生脉冲，所述输出端被连接到用于测量输出信号的电子电路，其特征在于所述硅漂移二极管包括在I/O端口与所述阳极之间的电压/电流转换器(208)，所述检测器被装备成经由开关(209)选择性地连接模拟反馈回路中的所述电压/电流转换器，作为其结果，所述硅漂移二极管被装备成可切换地工作于脉冲高度测量模式或电流测量模式下。(56)对比文件R.Alberti等.high rate X rayspectroscopy using a silicon driftdetector and a charge preamplifer.《Nuclear instruments and methods inphysics research A》.2006,第568卷第106-111页.G.Bertuccio等.Silicon drift detectorwith integrated p-JFET for continuousdischarge of collected electrons throughthe gate junction《.Nuclear instrumentsand methods in physics research A》.1996,第377卷(第2期),第352-356页.

    用于利用探针扫描样品的扫描方法
    9.
    发明授权
    用于利用探针扫描样品的扫描方法 有权

    公开(公告)号：CN103063881B

    公开(公告)日：2016-09-28

    申请号：CN201210396453.1

    申请日：2012-10-18

    申请人： FEI公司

    发明人： A.R.哈通 ,  C.S.库伊曼

    IPC分类号： G01Q30/04

    CPC分类号： H01J37/26 ,  G01Q10/00 ,  G01Q30/06 ,  H01J37/265 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/221 ,  H01J2237/28

    摘要： 本发明涉及用于利用探针扫描样品的扫描方法。本方法涉及一种扫描样品的方法。扫描样品典型地通过利用探针沿大量的平行线扫描样品来进行。在现有技术的扫描方法中，利用标称相同的扫描图案对样品进行多次扫描。本发明基于如下思想：沿扫描方向的方向上的相邻点之间的相干性比与扫描方向垂直的相邻点的相干性好得多。通过组合彼此垂直地扫描的两个图像，因此应当可能形成利用两个方向上的改进的相干性（由于较短的时间距离）的图像。该方法因此牵涉利用两个扫描图案扫描样品，一个扫描图案的线优选地与其他扫描图案的线垂直。从而可能使用一个扫描图案的线上的扫描点的时间相干性来对准其他扫描图案的线，反之亦然。