可调谐质量阻尼器和安装组件

    公开(公告)号:CN108799384A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810256840.2

    申请日:2018-03-27

    IPC分类号: F16F7/00 F16F7/10

    CPC分类号: F16F7/116 F16F7/00 F16F7/1005

    摘要: 可调谐质量阻尼器和安装组件。本发明涉及用于阻尼振动的可调谐质量阻尼器。可调谐质量阻尼器(100)包括:质量块(2),其用于提供惯性质量;以及至少一个引导部件(3),所述至少一个引导部件用于沿着作用方向(A)引导质量块(2)的移动。可调谐质量阻尼器(100)包括至少一个力传递部件(6),所述至少一个力传递部件(6)横向于作用方向(A)设置。质量块(2)能够沿所述作用方向(A)移动并且通过连接装置(21、22)连接至力传递部件(6)。力传递部件(6)通过至少一个弹簧部件(4)预张紧,其中,所述预张紧是可调节的。

    光刻设备、投影组件、组合装置以及主动阻尼方法

    公开(公告)号:CN101452222A

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200810189335.7

    申请日:2008-10-06

    IPC分类号: G03F7/20

    CPC分类号: G03F7/709 F16F7/1005

    摘要: 本发明公开了一种光刻设备、投影组件、组合装置以及主动阻尼方法。该光刻设备包括:照射系统,配置用于调节辐射束;支撑件,用以支撑图案形成装置;衬底台,构造用于保持衬底;以及投影系统,配置成将图案化的辐射束投影到衬底的目标部分上。该光刻设备进一步包括主动阻尼系统,用以阻尼投影系统的至少一部分的振动。该主动阻尼系统包括传感器和致动器的组合装置,该传感器用于测量投影系统的位置量,而该致动器依赖于该传感器所提供的信号对该投影系统施加力。该主动阻尼系统连接到阻尼块,该阻尼块连接到该投影系统。

    具有振动隔离装置的装置

    公开(公告)号:CN1637314A

    公开(公告)日:2005-07-13

    申请号:CN200510003901.7

    申请日:2005-01-10

    发明人: 卡尔·本德尔

    IPC分类号: F16F15/03

    摘要: 本发明涉及一种装置,尤其是手持式工具机,具有至少一个在工作中受振动激励的第一单元(34)及至少一个第二单元(10),该第二单元通过一个振动隔离装置(14,16,18)与第一单元(34)作用连接,及具有一个在工作中对振动隔离装置(14,16,18)加载的操作力(12),其中振动隔离装置(14,16,18)至少包括一个致动器(22)。本发明提出,该致动器(22)具有至少一个活动线圈。

    基于SMA变刚度弹簧的智能减振装置及工作过程

    公开(公告)号:CN107314073A

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:CN201710503153.1

    申请日:2017-06-27

    IPC分类号: F16F7/116

    摘要: 本发明公开了一种基于SMA变刚度弹簧的智能减振装置及工作过程,该装置包括振动监测部分、工作腔温控部分和减振器主体部分,其中振动监测部分由示波器、电缆线和传感器探头组成,工作腔温控部分由温度显示器、温度调节器、导线、温度传感器、微型制冷器和加热器组成,减振器主体部分由铝弹簧、中心移动轴、橡胶垫片、高阻尼箍圈、NiTi-SMA弹簧、移动滑块、铰接短杆和金属外壳组成;本发明利用了具有温敏特性的NiTi-SMA弹簧在不同温度下表现出来的刚度变化规律,来实现新型减振器的智能减振和避振的功能;本发明的优点在于,智能可控,效果显著,结构简单,加工方便等;本发明适用于各种大中小型工业及民用设备的减振体系。