具有可变电容的三端半导体器件

    公开(公告)号:CN105190894A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201480008732.3

    申请日:2014-02-17

    发明人: R·杜塔

    摘要: 描述了用于实现可变(例如,可调谐)3端电容器件的方法和装置。在各实施例中,彼此间隔开的垂直控制柱在具有与控制柱的极性相反的极性的阱中延伸。控制柱按平行于深沟槽栅极与阱拾取区但在深沟槽栅极与阱拾取区之间延伸的一行来安排。通过改变施加到控制柱的电压,柱周围耗尽区的大小可变化,从而造成沟槽栅极与连接到阱拾取区的拾取端之间的电容的变化。控制柱的一般垂直的性质便于控制大范围的电压,同时允许使用常见半导体制造步骤进行制造,使得器件易于与其他半导体器件一起实现在芯片上。

    可控式变容器
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1841740A

    公开(公告)日:2006-10-04

    申请号:CN200510135095.9

    申请日:2005-12-23

    IPC分类号: H01L27/04

    摘要: 本案揭示一种用以改良CMP制程及改良与主动区域电气绝缘的空白区域变容器以及其形成方法,该变容器包含具有一空白区域的一半导体基板,该空白区域包含具有一第一极性的一第一井区;一浅沟渠绝缘(STI)结构,是位于该基板中,以定义含有第一、第二及第三平台区的相邻平台区;以及一第二井区,是具有第二极性,位于具有该第二极性的该第一平台下方,以形成一PN接面界面;其中具有该第一极性的该第二及第三平台区是形成于相邻该第一平台区的每一侧。

    射频可变电容器的结构及其制造方法

    公开(公告)号:CN1527406A

    公开(公告)日:2004-09-08

    申请号:CN200310124889.6

    申请日:2003-11-06

    发明人: 钱相润 徐春德

    IPC分类号: H01L29/94 H01L29/00 H01G5/00

    CPC分类号: H01L27/0808

    摘要: 本发明涉及一种使用CMOS工艺用以提高品质因数的射频(RF)可变电容器的结构以及制造这种射频可变电容器的方法。该RF可变电容器的电容可变范围在第一最小值和第一最大值之间,其结构包括第一电容器,该第一电容器的电容可变范围在大于第一最小值的第二最小值和大于第一最大值的第二最大值之间,还包括第二电容器,该第二电容器串联连接到第一电容器上,并具有固定值的电容。