公开(公告)号：EP3391409B1

公开(公告)日：2024-05-22

申请号：EP16876775.4

申请日：2016-12-16

IPC分类号： H01L23/485 ,  H01L21/48 ,  H01L21/60 ,  H01L25/065

CPC分类号： H01L25/0657 ,  H01L2225/0655520130101 ,  H01L25/50 ,  H01L2225/0651320130101 ,  H01L2225/0659320130101 ,  H01L2224/0823820130101 ,  H01L2224/0823720130101 ,  H01L24/05 ,  H01L24/08 ,  H01L24/80 ,  H01L2224/0554120130101 ,  H01L2224/0555120130101 ,  H01L2224/0555220130101 ,  H01L2224/0557120130101 ,  H01L2224/0557320130101 ,  H01L2224/0557820130101 ,  H01L2224/05620130101 ,  H01L2224/0563920130101 ,  H01L2224/0564420130101 ,  H01L2224/0564720130101 ,  H01L2224/0565520130101 ,  H01L2224/0568420130101 ,  H01L2224/080720130101 ,  H01L2224/0814620130101 ,  H01L2224/8089520130101 ,  H01L2224/8089620130101 ,  H01L2224/0811120130101 ,  H01L2224/0812120130101 ,  H01L2224/0814820130101 ,  H01L2224/8003520130101 ,  H01L2224/8093520130101 ,  H01L2224/0420130101 ,  H01L2224/0566420130101 ,  H01L2224/8001320130101 ,  H01L2224/0512420130101 ,  H01L2224/0507320130101 ,  H01L2224/8001120130101 ,  H01L2224/0560920130101 ,  H01L2224/0561120130101 ,  H01L2224/8081520130101 ,  H01L2224/0568720130101 ,  H01L2224/0568820130101 ,  H01L2224/0341620130101 ,  H01L2224/03520130101 ,  H01L24/03 ,  H01L2224/0360220130101 ,  H01L2224/0361620130101 ,  H01L2224/0346420130101 ,  H01L2224/0361220130101 ,  H01L2224/0515520130101 ,  H01L2924/38120130101 ,  H01L2924/351220130101 ,  H01L2224/0566920130101 ,  H01L2224/0514420130101 ,  H01L2224/803420130101 ,  H01L2224/8098620130101 ,  H01L2224/0556920130101 ,  H01L2224/0814520130101