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    TUNNELING SENSOR WITH LINEAR FORCE REBALANCE
    92.
    发明公开
    TUNNELING SENSOR WITH LINEAR FORCE REBALANCE 失效
    具有线性力复位的隧道传感器

    公开(公告)号：EP0917652A1

    公开(公告)日：1999-05-26

    申请号：EP97936467.0

    申请日：1997-08-08

    Applicant: THE CHARLES STARK DRAPER LABORATORY, INC.

    Inventor： BERNSTEIN, Jonathan, J.

    IPC: G01L1 ,  B81B3 ,  G01P15

    CPC classification number: G01P15/131 ,  B81B3/0021 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0181 ,  B81B2203/058 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/0894 ,  G01P2015/0831 ,  Y10T29/43

    Abstract: A tunneling sensor (10) has a pair of force rebalance capacitors in a push-pull relationship to provide a rebalance force that is a linear function of applied rebalance voltages, which provides an output voltage linearly related to the input acceleration. The tunneling sensor comprises plate electrode (12) attached to a silicon substrate (14) by a pair of torsional flexures (16) providing an axis of rotation for the plate electrode. A pendulous mass (18) is formed on a first end of the plate electrode, and a tunnel-effect contact (20) is formed on the second end of the plate electrode. A pair of torque rebalance bridge electrodes (22) are formed on the substrate and span the plate electrode. A tunnel-effect tip (24) is formed proximate the tunnel-effect contact and in-line with the rotational path of the tunnel-effect contact (20) when the plate electrode is rotated.

    Abstract translation: 隧穿传感器（10）具有一对推挽关系的力再平衡电容器，以提供再平衡力，该再平衡力是施加的再平衡电压的线性函数，其提供与输入加速度线性相关的输出电压。 隧道传感器包括通过一对提供板电极的旋转轴的扭转挠曲件（16）附接到硅衬底（14）的板电极（12）。 在平板电极的第一端上形成摆质量（18），并且在平板电极的第二端上形成隧道效应触点（20）。 一对扭矩重新平衡桥电极（22）形成在基板上并跨越平板电极。 当平板电极旋转时，隧道效应尖端（24）形成在隧道效应触点附近并且与隧道效应触点（20）的旋转路径同轴。

    Mikromechanisches Halbleiterbauelement
    95.
    发明公开
    Mikromechanisches Halbleiterbauelement 失效

    公开(公告)号：EP0732594A1

    公开(公告)日：1996-09-18

    申请号：EP96103569.8

    申请日：1996-03-07

    Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

    Inventor： Hierold, Christofer, Dr. ,  Scheiter, Thomas ,  Biebl, Markus ,  Klose, Helmut, Dr.

    IPC: G01P15/08 ,  G01P1/02

    CPC classification number: B81C1/00246 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0315 ,  B81B2203/0361 ,  B81B2203/04 ,  B81B2207/07 ,  B81C1/0019 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/0714 ,  B81C2203/0742 ,  G01P1/023 ,  G01P15/0802

    Abstract: Bauelement mit einem beweglichen mikromechanischen Funktionselement, das in einem Hohlraum angeordnet ist, der nach oben von einer Abdeckungsschicht 15 abgeschlossen ist, die durch Stege (11) oder pfeilerartige Stützen (12) abgestützt und ggf. mit einer Verschlußschicht (21) zum Verschließen der in dieser Abdeckungsschicht (15) vorhandenen Ätzlöcher bedeckt ist. Elektrische Anschlüsse (10, 14, 22; 7, 16, 22) des beweglichen Teiles, der Abdeckungsschicht und von als Gegenelektrode im Substrat hergestellten dotierten Bereichen ermöglichen die Realisierung eines einfach in einem Gehäuse zu montierenden Beschleunigungssensors.

    Abstract translation: 可移动元件通过掩蔽由结构层（7）产生，在下金属化平面（14,16）和绝缘区域（6）之间具有填充的接触孔（10）。 它形成在基板的表面上，并且具有覆盖层（15），覆盖层（15）面向空腔， 刻蚀孔。 封闭层（21） 绝缘材料整体施加，并且可以包含金属化接触孔。 可以在电介质上添加另外的金属化平面（22）。 覆盖层支撑在柱（12）或杆（11）上。

    Procédé de fabrication d'accéléromètres utilisant la technologie silicium sur isolant et accéléromètre obtenu par un tel procédé
    98.
    发明公开
    Procédé de fabrication d'accéléromètres utilisant la technologie silicium sur isolant et accéléromètre obtenu par un tel procédé 失效
    一种用于生产使用“绝缘体上硅”技术和通过该方法的装置中的加速度计过程中，获得的加速度计。

    公开(公告)号：EP0605300A1

    公开(公告)日：1994-07-06

    申请号：EP93403154.3

    申请日：1993-12-23

    Applicant: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE

    Inventor： Diem, Bernard ,  Delaye, Marie-Thérèse

    IPC: G01P15/08

    CPC classification number: B81C1/0015 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/053 ,  B81C2201/0166 ,  B81C2201/0177 ,  G01P15/0802 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/0828 ,  Y10S73/01 ,  Y10S73/04

    Abstract: Ce procédé comprend les étapes suivantes : a) réalisation d'un film (32) de silicium monocristallin conducteur sur un substrat (8) en silicium et séparé de ce dernier par une couche isolante (28) ; b) gravure du film de silicium (32) et de la couche isolante (28) jusqu'au substrat (8) pour fixer la forme des éléments mobiles (2, 6) et des moyens de mesure (12, 20, 16) ; c) réalisation de contacts électriques (24, 26) pour les moyens de mesure ; d) élimination partielle de la couche isolante (32) pour dégager les éléments mobiles (2, 6), le restant de la couche isolante (28) rendant les éléments mobiles et le substrat solidaires.

    Abstract translation: 此方法包括以下步骤：a）制作在硅衬底（8）和通过从后者中分离（在绝缘层28）进行单晶硅的膜（32）; b）中，以固定的移动部件的形式（2蚀刻所述硅膜（32）和绝缘层（28）下降到所述基板（8），6）和所述测量装置（12，20，16） ; c）在进行用于所述测量装置的电触头（24，26）; D）部分，以便去除绝缘层（32）以露出的移动部件（2，6），被用于连接移动部件和基板上的绝缘层（28）的其余部分。

    MEMS SENSOR WITH COMPENSATION OF RESIDUAL VOLTAGE
    99.
    发明公开
    MEMS SENSOR WITH COMPENSATION OF RESIDUAL VOLTAGE 审中-公开

    公开(公告)号：EP3387450A1

    公开(公告)日：2018-10-17

    申请号：EP16815949.9

    申请日：2016-12-09

    Applicant: InvenSense, Inc.

    Inventor： GAFFORELLI, Giacomo ,  CORONATO, Luca ,  GIAMBASTIANI, Adolfo

    IPC: G01P15/125 ,  G01P21/00 ,  G01P15/08

    CPC classification number: G01P21/00 ,  B81B2201/0235 ,  B81C1/00698 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0831

    Abstract: A microelectromechanical (MEMS) sensor, such as an accelerometer, has one more proof masses that respond to movement of the sensor, the movement of which is measured based on a distance between the one or more proof masses and on one or more sense electrodes. The accelerometer also has a plurality of auxiliary electrodes and a signal generator configured to apply an auxiliary signal having a first harmonic frequency to the plurality of auxiliary electrodes. Circuitry receives a sensed signal from the plurality of sense electrodes and identifies a portion of the sensed signal having the first harmonic frequency. Based on this identified portion of the sensed signal, the circuitry determines whether a residual voltage is present on the one or more proof masses or on the one or more sense electrodes, and the circuitry modifies the operation of the accelerometer when the residual voltage is determined to be present in order to compensate for the residual voltage.

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