SYSTEM METHOD AND APPARATUS FOR SELECTING AND CONTROLLING LIGHT SOURCE BANDWIDTH
    15.
    发明公开
    SYSTEM METHOD AND APPARATUS FOR SELECTING AND CONTROLLING LIGHT SOURCE BANDWIDTH 审中-公开
    SYSTEM,VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR AUSWAHL UND STEUERUNG EINER LICHTQUELLENBANDBREITE

    公开(公告)号:EP2351169A4

    公开(公告)日:2017-08-30

    申请号:EP09822830

    申请日:2009-10-24

    Applicant: CYMER LLC

    Abstract: The bandwidth selection mechanism includes a first actuator mounted on a second face of a dispersive optical element, the second face being opposite from a reflective face, the first actuator having a first end coupled to a first end block and a second end coupled to a second end block, the first actuator being operative to apply equal and opposite forces to the first end block and the second end block to bend the body of the dispersive optical element along the longitudinal axis of the body and in a first direction normal to the reflective face of the dispersive optical element. The bandwidth selection mechanism also includes a second actuator being operative to apply equal and opposite forces to bend the body along the longitudinal axis of the body, in a second direction perpendicular to the reflective face of the dispersive optical element.

    Abstract translation: 带宽选择机构包括安装在色散光学元件的第二面上的第一致动器,第二面与反射面相对,第一致动器具有耦合到第一端块的第一端和耦合到第二端的第二端 所述第一致动器可操作以将相等且相反的力施加到所述第一端块和所述第二端块上,以使所述色散光学元件的所述主体沿所述主体的所述纵向轴线弯曲,并沿垂直于所述反射面的第一方向弯曲 的色散光学元件。 带宽选择机构还包括第二致动器,第二致动器可操作以在垂直于色散光学元件的反射面的第二方向上施加相等且相反的力以沿着主体的纵向轴线弯曲主体。

    SPEKTROMETER MIT MONOCHROMATOR UND ORDER-SORTING-FILTER

    公开(公告)号:EP2985579A1

    公开(公告)日:2016-02-17

    申请号:EP15172759.1

    申请日:2015-06-18

    Abstract: Ein Spektrometer (1) umfasst eine Lichtquelle (2), einen Monochromator (3) mit mindestens einem Beugungsgitter (4), ein Monochromator-Gehäuse (5), einen Order-Sorting-Filter (7), eine Mikroplatten-Aufnahme (12) und eine Steuerung (6). Der Order-Sorting-Filter (7) dieses Spektrometers (1) umfasst ein Substrat (23), eine erste optische Dünnschicht (24) und eine zweite optische Dünnschicht (25), wobei die erste optische Dünnschicht (24) auf einer ersten Oberfläche (26) und die zweite optische Dünnschicht (25) auf einer zweiten Oberfläche (27) des Substrats (23) räumlich teilweise überlappend und interferenzfrei angeordnet sind. In einem Raster-Verfahren zum Erfassen des Absorptions-Spektrums von in Wells (14) von Mikroplatten (13) untersuchten Proben wird ein mit einem entsprechenden Order-Sorting-Filter ausgerüstetes Spektrometer (1) verwendet.

    Abstract translation: 光谱仪(1)包括光源(2),具有至少一个衍射光栅(4)的单色仪(3),单色仪外壳(5),订单分类过滤器(7),微孔板容器(12)和 控制器(6)。 光谱仪(1)的顺序分选过滤器(7)包括基板(23),第一光学薄膜(24)和第二光学薄膜(25),其中,在空间上部分重叠和无干扰的方式 第一光学薄膜(24)布置在第一表面(26)上,第二光学薄膜(25)被布置在基板(23)的第二表面(27)上。 在用于检测在微孔板(13)的孔(14)中检测的样品的吸收光谱的扫描方法中,使用装备有相应的顺序分选滤光器的光谱仪(1)。

    MONOCHROMATOR MIT SCHWINGUNGSARM BEWEGBAREN OPTISCHEN ELEMENTEN
    18.
    发明公开
    MONOCHROMATOR MIT SCHWINGUNGSARM BEWEGBAREN OPTISCHEN ELEMENTEN 有权
    单声道麻省理工学院BEWEGBAREN OPTISCHEN ELEMENTEN

    公开(公告)号:EP2975369A1

    公开(公告)日:2016-01-20

    申请号:EP15166308.5

    申请日:2015-05-05

    Abstract: Ein Monochromator (1) umfasst zumindest ein gegenüber einfallendem Licht einer Lichtquelle (3) drehbar ausgebildetes optisches Gitter (2); eine Antriebs-Einheit (8) zum Drehen des optischen Gitters (2) mittels einer mit diesem verbundenen Antriebs-Stange (7) um eine Längsachse (9); und eine Steuereinheit (10), welche die Antriebs-Einheit (8) und damit die Drehung des optischen Gitters (2) steuert. Die Antriebs-Einheit (8) des Monochromators (1) umfasst zudem ein erstes Dämpfungs-Element (11) mit zumindest einer elektrisch leitfähigen Fläche und ein zweites Dämpfungs-Element (12), das zumindest ein Magnetfeld mit einer magnetischen Achse (14) bereitstellt, welche die elektrisch leitfähige Fläche durchdringt. Dabei ist das erste oder zweite Dämpfungs-Element (11,12) mit der Antriebs-Stange (7) fest verbunden und mit dieser um deren Längsachse (9) drehbar in Relation zum zweiten oder ersten Dämpfungs-Element (12,11) ausgebildet.

    Abstract translation: 单色仪具有至少一个相对于光源的入射光可旋转的光栅;驱动单元,用于通过围绕纵轴的连接的驱动杆旋转光栅;以及控制单元,用于控制驱动单元和 从而光栅的旋转。 驱动单元还具有带有至少一个导电表面的第一阻尼元件和提供至少一个具有穿过导电表面的磁轴的磁场的第二阻尼元件。 第一和第二阻尼元件中的一个固定到驱动杆上,并且与驱动杆一起围绕其纵向轴线相对于第二或第一阻尼元件中的另一个可旋转。

    Sequential wavefront sensor
    20.
    发明公开
    Sequential wavefront sensor 审中-公开
    Sequenieller Wellenfront传感器

    公开(公告)号:EP2853870A1

    公开(公告)日:2015-04-01

    申请号:EP14192744.2

    申请日:2006-12-21

    CPC classification number: G01J9/00 A61B3/1015 A61B3/14 G01J1/0414 G01J1/0437

    Abstract: A sequential wavefront sensor comprises a light beam scanning module (212), a sub-wavefront focusing lens (220), a detector (222) with more than one photosensitive area and a processor for calculating the sequentially obtained centroids of a number focused light spots from the sub-wavefronts to determine the aberration of the input wavefront. A sequential wavefront sensing method comprises the steps of: sequentially projecting a number of sub-wavefronts onto a sub-wavefront focusing lens and a detector with more than one photosensitive areas, calculating the centroid of the focused light spot from each sub-wavefront, and processing the centroid information to determine the aberration of the wavefront. In particular, a method for auto-focusing and/or auto-astigmatism-correction comprises the steps of sequentially projecting a number of sub-wavefronts around an annular ring of a wavefront to a sub-wavefront focusing lens and a detector, calculating the centroid of focused light spot from each sub-wavefront to figure out the centroid trace and hence the defocus and/or astigmatism, adjusting the focus and/or astigmatism of the optical imaging system before the wavefront sensor so that the measured defocus and/or astigmatism is minimized.

    Abstract translation: 顺序波前传感器包括光束扫描模块(212),子波前聚焦透镜(220),具有多于一个感光区域的检测器(222)和用于计算连续获得的数量聚焦光点的质心的处理器 从子波前确定输入波前的像差。 顺序波前感测方法包括以下步骤:将多个子波前顺序地投影到子波前聚焦透镜和具有多于一个感光区域的检测器上,从每个子波前计算聚焦光斑的质心,以及 处理质心信息以确定波前的像差。 特别地,用于自动聚焦和/或自动像散校正的方法包括以下步骤:将多个子波前沿波前的环形环周围地投影到子波前聚焦透镜和检测器,计算质心 来自每个子波前的聚焦光点,以计算出质心轨迹,从而计算出散焦和/或散光,调整光学成像系统在波前传感器之前的焦点和/或散光,使得测量的散焦和/或散光为 最小化。

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