Abstract:
The present invention relates to a method for generating a power semiconductor module (14) using a heat applying joining technique for joining two joining partners (10, 16), the heat applying joining technique comprising the steps of: a) Providing a first joining partner (16) with a joining surface; b) Coating the joining surface of the first joining partner (16) at least partly with a protection coating (22), the protection coating (22) having a decomposition temperature t 1 at which the material of the protection coating (22) goes into the gaseous phase; c) Optionally applying a joining material (23) to at least a part of the protection coating (22) or to a joining surface of the second joining partner (16); and d) Joining the joining surfaces of the two joining partners (10, 16) by applying heat with a temperature t 2 , wherein t 2 ≥ t 1 and by optionally applying pressure to the joining partners (10, 16). One of the first and second joining partners (10, 16) is a substrate (10) and the further of the first and second joining partners (10, 16) is a power semiconductor device (16), a baseplate or a terminal. The heat applying joining technique may be a sintering process, a soldering process or an ultrasonic welding process. Such a method provides an especially gentle and cost-saving method for heat applying joining techniques, such as die-attachment.
Abstract:
Ein Halbleitermodul (10) umfasst eine Basisplatte (12), ein Substrat (14) auf der Basisplatte (12), das eine Metallisierung (28) auf wenigstens einer Seite aufweist und das wenigstens einen Halbleiterchip (24) trägt, ein Gehäuse (16), das an der Basisplatte (12) befestigt ist und das Substrat (14) wenigstens teilweise umschließt, und wenigstens einen Anschluss (34), der an einem anderen Ende einen Anschlussfuß (36) aufweist, der mittels Ultraschallschweißen auf einer Anschlussstelle (38) der Metallisierung (28) befestigt ist. Das Gehäuse (16) weist eine Schutzwandung (42) auf, die den Anschluss (34) umgibt und einen Innenraum (22) des Gehäuses (16) in einen ungeschützten Bereich (46) und einen geschützten Bereich (44) unterteilt. Die Schutzwandung (42) ist derart ausgebildet, dass zwischen dem Substrat (14) und der Schutzwandung (42) ein Spalt (48) gebildet ist, der dazu ausgeführt ist, einen Fluidstrom (60) derart zu führen, dass beim Ultraschallschweißen des Anschlussfußes (36) auf die Anschlussstelle (38) entstehende Partikel davon abgehalten werden, von dem ungeschützten Bereich (46) in den geschützten Bereich (44) zu dringen.
Abstract:
The present invention relates to a method of connecting two components by welding, in particular by ultrasonic welding, in particular for producing a power semiconductor module, said method comprising the steps of: a) aligning the components to be welded to form a welding interface (16); b) aligning a welding tool (18) to the aligned components; c) arranging a confinement housing (20) at least partly surrounding the welding interface (16); d) connecting the components by making use of the welding tool (18). The method like described above provides an easy and cost-saving measure in order to prevent particle contamination when performing a welding process such as particularly an ultrasonic welding process sue to scattered particles (20).