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    Scanning probe microscope and method of control error correction
    3.
    发明公开
    Scanning probe microscope and method of control error correction 失效
    Rasterabtastmikroskop und Verfahren zum Steuerfehlerkorrektur。

    公开(公告)号：EP0596494A2

    公开(公告)日：1994-05-11

    申请号：EP93117906.3

    申请日：1993-11-04

    申请人： HITACHI, LTD. ,  HITACHI CONSTRUCTION MACHINERY CO., LTD.

    发明人： Hosaka, Sumio ,  Kikugawa, Atsushi ,  Honda, Yukio ,  Koyanagi, Hajime ,  Nagasawa, Kiyosi

    IPC分类号： G01N27/00 ,  G01B7/34

    CPC分类号： G01Q70/04 ,  G01Q30/06 ,  Y10S977/849 ,  Y10S977/85 ,  Y10S977/86 ,  Y10S977/868 ,  Y10S977/87 ,  Y10S977/872 ,  Y10S977/873

    摘要： A scanning probe microscope in which the deflection of a cantilever (1, 104) caused by the proximity between a stylus (17, 109) and a sample (2) is detected, the relative distance between the sample and a probe at which the level of the deflection detection signal coincides with a reference level is subjected to servo control thereby to control the force exerted on the stylus to a constant level, and the relative positions of the sample and the probe are scanned to produce a three-dimensional image of the surface of the sample. In order to eliminate the error of servo control attributable to the deformation of the cantilever, the deflection detection signal is held with the cantilever set in free standing state, and the signal thus held is used to correct the level of the cantilever deflection detection signal. The servo control is effected by the detection signal thus corrected.

    摘要翻译： 一种扫描探针显微镜，其中检测由触针（17,109）和样品（2）之间的接近度引起的悬臂（1,104）的偏转，所述样品与所述探针之间的相对距离 与参考水平重合的偏转检测信号经受伺服控制，从而将施加在触针上的力控制到一定水平，扫描样品和探针的相对位置，以产生三维图像 样品表面。 为了消除由于悬臂变形引起的伺服控制的误差，偏转检测信号由悬臂设定为独立状态而被保持的信号用于校正悬臂偏转检测信号的电平。 伺服控制由如此校正的检测信号来实现。

    Surface observing apparatus and method
    4.
    发明公开
    Surface observing apparatus and method 失效
    Verfahren und Vorrichtung zum Beobachten einerFläche。

    公开(公告)号：EP0551814A1

    公开(公告)日：1993-07-21

    申请号：EP93100055.8

    申请日：1993-01-05

    申请人： HITACHI, LTD.

    发明人： Hosaka, Sumio ,  Kikugawa, Atsushi ,  Honda, Yukio ,  Koyanagi, Hajime ,  Hosoki, Shigeyuki ,  Hasegawa, Tsuyoshi

    IPC分类号： G01B7/34 ,  G01N27/00

    CPC分类号： G01Q20/02 ,  G01Q60/02 ,  G01Q60/08 ,  G01Q60/26 ,  G01Q60/32 ,  G11B5/00 ,  G11B9/1409 ,  G11B11/007 ,  G11B2005/0002 ,  G11B2005/0005 ,  Y10S977/849 ,  Y10S977/851 ,  Y10S977/852 ,  Y10S977/873 ,  Y10S977/953

    摘要： A surface observing apparatus for obtaining information of a specimen comprises a probe (17) disposed in the close vicinity of the specimen (2), a deformable cantilever (1) for holding the probe (17), a scanning mechanism for scanning a surface of the specimen with the probe (17), and detectors (3, 4, 5) for detecting displacements of the cantilever (1) to thereby allow information of the specimen to be derived on the basis of the displacement of the cantilever (1). The apparatus further comprise a first detector (9) for detecting a force acting on the probe from the displacement of the cantilever, and a second detector (7) for measuring a change in the force acting on the probe on the basis of the displacement of the cantilever.

    摘要翻译： 用于获取样本信息的表面观察装置包括设置在样本（2）附近的探针（17），用于保持探针（17）的可变形悬臂（1），用于扫描探针 具有探针（17）的样本和用于检测悬臂（1）的位移的检测器（3,4,5），从而允许基于悬臂（1）的位移导出样本的信息。 所述装置还包括第一检测器（9），用于根据所述悬臂的位移检测作用在所述探头上的力;以及第二检测器（7），用于根据所述悬臂的位移来测量作用在所述探针上的力的变化 悬臂。

    Cooling device
    6.
    发明公开
    Cooling device 失效
    Kühlungseinrichtung。

    公开(公告)号：EP0601516A1

    公开(公告)日：1994-06-15

    申请号：EP93119629.9

    申请日：1993-12-06

    申请人： HITACHI, LTD.

    发明人： Sato, Kazuo ,  Shikida, Mitsuhiro ,  Ohashi, Shigeo ,  Hatada, Toshio ,  Ashiwake, Noriyuki ,  Tanaka, Shinji ,  Harada, Takeshi ,  Honda, Yukio

    IPC分类号： H01L23/467 ,  F04B43/04 ,  H02N1/00

    CPC分类号： H01L23/467 ,  F04B43/043 ,  F04B45/047 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/15192 ,  H02K99/20 ,  H02N1/006 ,  H01L2924/00

    摘要： A cooling device (1) according to the present invention, in which a space (37) is formed by means of flat electrodes (31, 32) and side plates (5, 6) disposed on the ends of the flat electrodes (31, 32), and a flexible film (4) fastened in that space (37) in a shape of the letter S, is fixed to a semiconductor package (2) so that one of the flat electrodes (31, 32) is fitted on the semiconductor package (2). The respective flat electrodes (31, 32) are alternately powered to move the S shaped section of the flexible film (4).

    摘要翻译： 根据本发明的冷却装置（1），其中通过平面电极（31,32）和设置在扁平电极（31,32）的端部上的侧板（5,6）形成空间（37） 32），并且固定在该字形S的形状的空间（37）中的柔性膜（4）固定到半导体封装（2），使得一个平板电极（31,32）安装在 半导体封装（2）。 各个扁平电极（31,32）交替供电以移动柔性膜（4）的S形部分。