公开(公告)号：EP1328023B1

公开(公告)日：2012-02-01

申请号：EP02019488.2

申请日：2002-08-30

申请人： Panasonic Corporation

发明人： Kawai, Fumihiko ,  Fukuda, Toshiyuki ,  Minamio, Masanori ,  Takeuchi, Noboru ,  Ogata, Shuichi ,  Tara, Katsushi ,  Nakatsuka, Tadayoshi

IPC分类号： H01L23/495 ,  H01L23/31

CPC分类号： H01L24/49 ,  H01L21/4842 ,  H01L21/565 ,  H01L23/3107 ,  H01L23/49503 ,  H01L23/49548 ,  H01L24/06 ,  H01L24/45 ,  H01L24/48 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/05553 ,  H01L2224/05554 ,  H01L2224/0603 ,  H01L2224/06179 ,  H01L2224/32014 ,  H01L2224/32245 ,  H01L2224/45015 ,  H01L2224/451 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/48137 ,  H01L2224/48247 ,  H01L2224/48257 ,  H01L2224/48465 ,  H01L2224/48471 ,  H01L2224/49111 ,  H01L2224/49113 ,  H01L2224/4912 ,  H01L2224/4917 ,  H01L2224/49171 ,  H01L2224/49175 ,  H01L2224/49433 ,  H01L2224/4945 ,  H01L2224/73265 ,  H01L2224/85191 ,  H01L2224/92247 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/10161 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/181 ,  H01L2924/18301 ,  H01L2924/30105 ,  H01L2924/30107 ,  H01L2924/3011 ,  H01L2224/85 ,  H01L2924/00 ,  H01L2924/00012 ,  H01L2224/48227 ,  H01L2924/20752 ,  H01L2924/20753 ,  H01L2924/00015 ,  H01L2224/05599 ,  H01L2224/4554