Surface acoustic wave element and its manufacturing method
    5.
    发明公开
    Surface acoustic wave element and its manufacturing method 有权
    表面声波元件及其制造方法

    公开(公告)号:EP1387488A3

    公开(公告)日:2005-03-09

    申请号:EP03017367.8

    申请日:2003-07-31

    摘要: A SAW element of the present invention includes a plurality of inter-digital transducer (IDT) electrodes on a piezoelectric substrate, grating reflector electrodes disposed on the sides of the IDT electrodes, and a plurality of pad electrodes led from the IDT electrodes and the grating reflector electrodes. A plurality of the pad electrodes includes isolated pad electrodes not directly opposed to the outer periphery of the SAW element, and adjacent pad electrodes directly opposed to the outer periphery thereof. A connecting electrode between the isolated pad electrode and the adjacent pad electrode is removed by etching at least before dicing in order to prevent discharge from occurring due to pyroelectricity, and to prevent the electrodes from being damaged.

    摘要翻译: 本发明的SAW元件包括压电基片上的多个数字间换能器(IDT)电极,设置在IDT电极侧面上的光栅反射器电极,以及从IDT电极和光栅引出的多个焊盘电极 反射器电极。 多个焊盘电极包括与SAW元件的外周不直接相对的隔离焊盘电极以及与其外周直接相对的相邻焊盘电极。 至少在切割之前通过蚀刻去除隔离焊盘电极和相邻焊盘电极之间的连接电极,以防止由于热电性而发生放电,并且防止电极被损坏。

    Surface acoustic wave element and its manufacturing method
    8.
    发明公开
    Surface acoustic wave element and its manufacturing method 有权
    AkustischesOberflächenwellenelementherstellungsverfahren

    公开(公告)号:EP1387488A2

    公开(公告)日:2004-02-04

    申请号:EP03017367.8

    申请日:2003-07-31

    摘要: A SAW element of the present invention includes a plurality of inter-digital transducer (IDT) electrodes on a piezoelectric substrate, grating reflector electrodes disposed on the sides of the IDT electrodes, and a plurality of pad electrodes led from the IDT electrodes and the grating reflector electrodes. A plurality of the pad electrodes includes isolated pad electrodes not directly opposed to the outer periphery of the SAW element, and adjacent pad electrodes directly opposed to the outer periphery thereof. A connecting electrode between the isolated pad electrode and the adjacent pad electrode is removed by etching at least before dicing in order to prevent discharge from occurring due to pyroelectricity, and to prevent the electrodes from being damaged.

    摘要翻译: 本发明的SAW元件包括压电基板上的多个数字间转换器(IDT)电极,设置在IDT电极的侧面的光栅反射器电极以及从IDT电极和光栅引出的多个焊盘电极 反射器电极。 多个焊盘电极包括不直接与SAW元件的外周相对的隔离焊盘电极和与其外周直接相对的相邻焊盘电极。 至少在切割之前通过蚀刻除去隔离焊盘电极和相邻焊盘电极之间的连接电极,以防止由于热电性而发生放电,并且防止电极损坏。

    Vorrichtung und Verfahren zum Herstellen von Dichtungslagen

    公开(公告)号:EP1166915A2

    公开(公告)日:2002-01-02

    申请号:EP01115265.9

    申请日:2001-06-23

    申请人: ElringKlinger AG

    发明人: Fritz, Wolfgang

    IPC分类号: B21D28/06 F16J15/08

    摘要: Um eine Vorrichtung zum Herstellen von Dichtungslagen (144) für ein- oder mehrlagige Dichtungen (142) aus jeweils einem Dichtungslagenabschnitt (124') eines mehrere zusammenhängende Dichtungslagenabschnitte umfassenden Ausgangsmaterials, umfassend ein Folgeverbundwerkzeug (114) mit mehreren längs einer Vorschubrichtung (108) aufeinanderfolgenden Bearbeitungsstationen (122), in welchen die Dichtungslagenabschnitte während Arbeitstakten bearbeitet werden, wobei mindestens eine der Bearbeitungsstationen als eine Außenkonturlinien-Schneidstation ausgebildet ist, in welcher mittels eines Außenkonturlinien-Schneidwerkzeugs einander zugewandte Außenkonturlinien (147) zweier einander benachbarter Dichtungslagen geschnitten werden, und eine Vorschubvorrichtung (106), durch welche die Dichtungslagenabschnitte zwischen zwei Arbeitstakten um eine Vorschubstrecke v längs der Vorschubrichtung weiterbewegt werden, zu schaffen, bei welcher die Außenkonturlinien der Dichtungslagen mit geringerem Aufwand geschnitten werden und das Ausgangsmaterial besser verwertet werden kann, wird vorgeschlagen, daß das Außenkonturlinien-Schneidwerkzeug so ausgebildet ist, daß die Außenkonturlinien der beiden einander benachbarten Dichtungslagen mit derselben Schneidkante geschnitten werden, und daß die Vorschubstrecke v im wesentlichen gleich groß ist wie die Ausdehnung b der Außenkontur einer fertigen Dichtungslage oder einer Gruppe (158) von fertigen Dichtungslagen längs der Vorschubrichtung.

    摘要翻译: 装置具有随动复合工具(114'),在进给方向上具有多个处理站(108)。 至少一个处理站形成为外轮廓线切割站,其中使用外轮廓线切割工具切割两个相邻密封层(144a,b)的相对的外轮廓线。 馈送装置沿着工作步骤之间的馈送距离(v)移动密封层部分(124')。 形成外轮廓线切割工具,使得两个密封层的外轮廓线被切割成相同的切削刃。 进给距离等于一个成品密封层(144)的外轮廓的宽度(b)或沿进给方向的一组成品密封层。 包括用于使用该装置的方法和包括至少一个密封层的密封件的独立权利要求。