公开(公告)号：JP5668577B2

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：JP2011082292

申请日：2011-04-01

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 佑樹 大場 ,  佑樹 大場 ,  中田　正一 ,  正一 中田 ,  鈴木　敬一 ,  敬一 鈴木 ,  利之 秋池 ,  利之 秋池

IPC: G02F1/1337 ,  C08G77/38 ,  C08L79/08

公开(公告)号：JP5668539B2

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：JP2011052964

申请日：2011-03-10

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 秀則 成瀬 ,  秀則 成瀬 ,  朋宏 高見 ,  朋宏 高見 ,  政完 柳 ,  政完 柳 ,  徹 梶田 ,  徹 梶田

IPC: G02B5/20 ,  G02B5/22 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027

公开(公告)号：JP5668324B2

公开(公告)日：2015-02-12

申请号：JP2010111993

申请日：2010-05-14

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 石川　弘樹 ,  弘樹 石川 ,  隆道 梶浦 ,  隆道 梶浦

IPC: H01L27/14 ,  H01L21/312 ,  H01L21/60

CPC classification number: H01L24/03 ,  H01L24/05 ,  H01L2224/05571 ,  H01L2224/45124 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01014 ,  H01L2924/01021 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01046 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/00 ,  H01L2224/48 ,  H01L2224/05552

公开(公告)号：JP2015025879A

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：JP2013154046

申请日：2013-07-24

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr Corp ,  Jsr株式会社

Inventor： SATO MITSUHISA ,  ODA TOMOHIRO

IPC: G03F7/039 ,  C08F246/00 ,  G03F7/038 ,  G03F7/075 ,  G03F7/11 ,  H01L21/027

Abstract: 【課題】LWR性能、CD均一性、解像性、断面形状の矩形性、焦点深度、露光余裕度及びMEEF性能に優れた樹脂組成物を提供する。【解決手段】フォトリソグラフィーによるレジストパターン形成方法に用いられる樹脂組成物であって、下記式(1)で表される構造単位を有する第1重合体、及び溶媒を含有する樹脂組成物。式(1)中、R1は、炭素数1〜30の1価の有機基である。Yは、単結合、炭素数1〜30の2価の炭化水素基又は炭素数1〜30のヘテロ原子を含む2価の基である。R4は、水素原子又は炭素数1〜30の1価の有機基である。【選択図】なし

Abstract translation: 要解决的问题：为了提供LWR（线宽粗糙度）性能，CD（临界尺寸）均匀性，分辨率，截面形状的矩形度，焦深，曝光宽容度和MEEF（掩模误差增强因子 ）性能。解决方案：树脂组合物用于通过光刻形成抗蚀剂图案的方法，并且包括具有由下式（1）表示的结构单元和溶剂的第一聚合物。 式（1）中，R表示碳原子数为1〜30的1价有机基团， Y表示单键，碳原子数1〜30的二价烃基或碳原子数1〜30的二价基团，且含有杂原子; R表示氢原子或碳原子数为1〜30的一价有机基团。

公开(公告)号：JP5663959B2

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：JP2010123392

申请日：2010-05-28

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 慧 出井 ,  慧 出井 ,  準人 生井 ,  準人 生井 ,  慶友 保田 ,  慶友 保田 ,  長谷川　公一 ,  公一 長谷川

IPC: G03F7/40 ,  H01L21/027 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/768

CPC classification number: B05D1/322 ,  C09D183/06 ,  G03F7/0392 ,  G03F7/094 ,  G03F7/38 ,  G03F7/405 ,  H01L21/02126 ,  H01L21/02137 ,  H01L21/0337 ,  H01L21/311 ,  H01L21/76801 ,  H01L21/76802 ,  H01L21/76807

公开(公告)号：JP5663878B2

公开(公告)日：2015-02-04

申请号：JP2010001645

申请日：2010-01-07

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 誠治 川岸 ,  誠治 川岸 ,  裕二 湊 ,  裕二 湊 ,  裕之 小松 ,  裕之 小松 ,  義隆 山田 ,  義隆 山田 ,  良平 庄田 ,  良平 庄田

IPC: G03F7/031 ,  G02B5/20 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027

公开(公告)号：JP5660183B2

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：JP2013197074

申请日：2013-09-24

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 龍　恭一郎 ,  恭一郎 龍 ,  孝典 柳 ,  孝典 柳 ,  英行 神井 ,  英行 神井

IPC: C08L53/00 ,  C08F293/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/004 ,  G03F7/032

公开(公告)号：JP5660055B2

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：JP2011553837

申请日：2011-02-08

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 齊藤　隆一 ,  隆一 齊藤 ,  康巨 鄭 ,  康巨 鄭 ,  秀樹 西村 ,  秀樹 西村 ,  酒井　達也 ,  達也 酒井

IPC: C23C16/18 ,  H01L21/28 ,  H01L21/285

CPC classification number: H01L21/28556 ,  C23C16/18 ,  H01L21/76843 ,  H01L21/76873

公开(公告)号：JP5659853B2

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：JP2011037555

申请日：2011-02-23

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 秀則 成瀬 ,  秀則 成瀬 ,  朋宏 高見 ,  朋宏 高見 ,  政完 柳 ,  政完 柳

IPC: C08L53/00 ,  C08K5/00 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/004 ,  G03F7/028

公开(公告)号：JP5659630B2

公开(公告)日：2015-01-28

申请号：JP2010189625

申请日：2010-08-26

Applicant: Jsr株式会社 ,  Jsr株式会社

Inventor： 正樹 森次 ,  正樹 森次 ,  須藤　篤 ,  篤 須藤 ,  遠藤　剛 ,  剛 遠藤

IPC: C08G73/06