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    コーティング用組成物およびフォトレジスト積層体の製造方法
    5.
    发明专利
    コーティング用組成物およびフォトレジスト積層体の製造方法 审中-公开
    涂料组合物及其制备方法

    公开(公告)号：JP2016089050A

    公开(公告)日：2016-05-23

    申请号：JP2014225499

    申请日：2014-11-05

    Applicant: 旭硝子株式会社

    Inventor： 山崎 龍二郎 ,  伊藤 昌宏 ,  坂根 好彦

    IPC: G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  C08F8/12 ,  C08F16/26 ,  H01L21/027 ,  C07C31/38 ,  C09D5/00 ,  B32B27/30 ,  C09D127/12

    Abstract: 【課題】短波長帯域における屈折率が低く、かつアルカリ水溶液への溶解性に優れる膜を形成することができるとともに、貯蔵安定性に優れるコーティング用組成物の提供。 【解決手段】−[CX 1 X 2 −CY(Rf 1 −COOM)]−で表される単位を有し、−COOM基の含有量が1.5×10 −3 〜1.9×10 −3 モル/gである含フッ素重合体(A)を含有するコーティング用組成物。X 1 およびX 2 は、それぞれ独立に、水素原子、フッ素原子または塩素原子、Yは水素原子、フッ素原子、塩素原子、メチル基またはトリフルオロメチル基、Rf 1 は炭素−炭素原子間にエーテル性酸素原子を含んでもよい直鎖状のペルフルオロアルキレン基、または炭素−炭素原子間にエーテル性酸素原子を含んでもよい直鎖状のオキシペルフルオロアルキレン基、−COOMは−COOH、または−COOZ 1 (Z 1 は置換されていてもよいアンモニウムイオン)を示す。 【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题：提供一种储存稳定性优异的涂料组合物，其可以形成在短波长范围内具有低折射率的膜和在碱性水溶液中具有优异溶解性的膜。溶液：涂料组合物包含氟 - 含有由 - [CXX-CY（Rf-COOM）]表示的单元的含氟聚合物（A），其中-COOM基团的含量为1.5×10〜1.9×10摩尔/克。 在该式中，Xand Xeach独立地表示氢原子，氟原子或氯原子; Y表示氢原子，氟原子，氯原子，甲基或三氟甲基，Rf表示可包含碳原子之间的醚性氧原子的直链全氟亚烷基或可包含醚性氧原子的直链全氟亚烷基 碳原子之间 并且-COOM表示-COOH或-COOZ，其中Z表示任选取代的铵离子。选择图：无

    非付着性付与剤
    6.
    发明专利
    非付着性付与剤 有权
    非压缩加热器

    公开(公告)号：JP2015071774A

    公开(公告)日：2015-04-16

    申请号：JP2014231623

    申请日：2014-11-14

    Applicant: 旭硝子株式会社

    Inventor： 伊藤 昌宏 ,  阿部 岳文 ,  鶴岡 薫 ,  江里口 武

    IPC: C08F290/12 ,  H01L51/05 ,  H01L51/30 ,  H01L51/40 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L21/28 ,  C08F8/30

    CPC classification number: C08L49/00 ,  C08F216/1408 ,  C08F220/30 ,  C08F222/18 ,  C08F290/06 ,  C08F299/02 ,  C08G65/007 ,  C08L27/12 ,  C08L29/10 ,  C08L33/16 ,  C08L35/02 ,  C09D171/00 ,  C09D4/06 ,  H01L21/02104 ,  H01L51/052 ,  C08L65/00

    Abstract: 【課題】硬化性組成物の硬化物の表面に付着性を低下させる特性や付着物の除去を容易にする特性を与える性質を有する非付着性付与剤の提供。 【解決手段】式(5):V−(CH 2 ) m −Ar−(Y−Ar) n −X−R 1 −Cfで表される単量体の重合により形成された単位と、架橋性官能基を有する単位とを有する共重合体からなる非付着性付与剤。式中、Vは重合性基、Arは炭素数1〜15のアルキル基またはハロゲン原子を有していてもよい芳香環、R 1 は単結合または炭素数1〜15のアルキレン基、Cfは炭素原子間にエーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数20以下のフルオロアルキル基、Xは−CH 2 O−または−COO−、Yは単結合、−OCH 2 −、−CH 2 O−、炭素数1〜4のアルキレン基、−O−、−CO−、−SO 2 −または−S−、mは0〜4の整数、nは0または1である。 【選択図】なし

    Abstract translation: 要解决的问题：提供提供降低粘合性的性质的非粘合性增粘剂或用于去除易固化组合物的固化产物的表面的沉积物的性质。溶液：提供由形成的单元组成的非粘合增粘剂 通过式（5）表示的单体的聚合：V-（CH）-Ar-（Y-Ar）-XR-Cf和具有交联性官能团的单元。 （5）中，V为聚合性基团，Ar为可具有碳原子数为1〜15的烷基或卤原子的芳香环，R为单键或碳原子数1〜15的亚烷基，Cf为 具有20个碳原子的氟代烷基，其可以在碳原子之间具有醚氧化物原子，X是-CHO-或COO-，Y是单键，-OCH-，-CH，具有1至4个碳原子的亚烷基 ，-O - ， - CO - ， - SO-或-S-，m为0〜4的整数，n为0或1。

    コーティング用組成物およびフォトレジスト積層体の製造方法
    7.
    发明专利
    コーティング用組成物およびフォトレジスト積層体の製造方法 审中-公开

    公开(公告)号：JP2018119019A

    公开(公告)日：2018-08-02

    申请号：JP2015157194

    申请日：2015-08-07

    Applicant: 旭硝子株式会社

    Inventor： 山崎 龍二郎 ,  伊藤 昌宏 ,  坂根 好彦

    IPC: C09D171/00 ,  B05D7/24 ,  C09D127/12

    Abstract: 【課題】微粒子を使用しなくても、低屈折率の反射防止膜を形成できるコーティング用組成物の提供。 【解決手段】含フッ素化合物(A1)または(A2)を含有するコーティング用組成物。含フッ素化合物(A1):下記単位(I)から選ばれる1種の単位のみからなる重合体であって、数平均分子量が1,000〜50,000である重合体。単位(I):重合性炭素−炭素二重結合を1個のみ有する単量体に基づく単位であって、炭素原子、酸素原子およびフッ素原子のみで構成され、1以上の側鎖を有し、少なくとも1つの側鎖は、環を構成しないエーテル性酸素原子を1以上含み、かつ末端が−CF 3 である、単位。含フッ素化合物(A2):主鎖にペルフルオロポリエーテル骨格を有する、数平均分子量が1,000〜50,000である化合物。 【選択図】なし

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