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公开(公告)号:JP6027912B2
公开(公告)日:2016-11-16
申请号:JP2013033563
申请日:2013-02-22
Applicant: 東京応化工業株式会社 , 国立大学法人東京工業大学
IPC: B32B27/30 , C08J7/00 , B82Y40/00 , C08F220/00 , C09D153/00 , C09D133/14 , C09D183/04 , B05D7/24 , B32B27/00
CPC classification number: C09D183/10 , B81C1/00031 , B82Y40/00 , C08G18/61 , C08L53/00 , C09D153/00 , G03F7/0002 , B81C2201/0149 , C08G77/045 , C08G77/442
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公开(公告)号:JP2019155308A
公开(公告)日:2019-09-19
申请号:JP2018048196
申请日:2018-03-15
Applicant: 東京応化工業株式会社
IPC: B05D7/24
Abstract: 【課題】相分離性能をより高められる、相分離構造を含む構造体の製造方法を提供する。 【解決手段】周期L 0 のブロックコポリマー、及びカチオン部とアニオン部とを有する化合物(IL)を含むイオン液体を含有する相分離構造形成用樹脂組成物を用いて、基板1上に、厚さdのブロックコポリマーを含む層(BCP層3)を形成する工程(i)と、化合物(IL)の少なくとも一部を気化させ、かつ、BCP層3を相分離させて、相分離構造を含む構造体3’を得る工程(ii)と、を有し、工程(i)で、ブロックコポリマーの周期L 0 (nm)とBCP層3の厚さd(nm)とが式(1)の関係を満たすように、BCP層3を形成する、相分離構造を含む構造体の製造方法。 厚さd/周期L 0 =n+a ・・・(1) nは、0以上の整数である。aは、0
【選択図】図1-
公开(公告)号:JP6393546B2
公开(公告)日:2018-09-19
申请号:JP2014153199
申请日:2014-07-28
Applicant: 東京応化工業株式会社
IPC: B82Y40/00 , B82Y30/00 , H01L21/027 , H01L21/312 , H01L21/3065
CPC classification number: C08L53/00 , B05D1/185 , B81C1/00031 , B81C2201/0149 , B82B3/00 , C09D153/00
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公开(公告)号:JP6186116B2
公开(公告)日:2017-08-23
申请号:JP2012164039
申请日:2012-07-24
Applicant: 東京応化工業株式会社
IPC: C09D5/00 , C09D201/00 , C09D201/02 , H01L21/027 , B82Y40/00 , C08F297/00 , B82B3/00
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公开(公告)号:JP2016065215A
公开(公告)日:2016-04-28
申请号:JP2015163987
申请日:2015-08-21
Applicant: 東京応化工業株式会社
Abstract: 【課題】相分離構造形成用樹脂組成物の提供。 【解決手段】ブロックコポリマーと、該ブロックコポリマー中の第1のブロックと相溶可能な第1のホモポリマーと、該ブロックコポリマー中の第2のブロックと相溶可能な第2のホモポリマーと、の3成分を含む樹脂成分を含有する相分離構造形成用樹脂組成物であって、前記樹脂成分における、前記第1のホモポリマーと、前記第2のホモポリマーの組成比が、前記ブロックコポリマー中の前記第1のブロックと、前記第2のブロックとの組成比と実質的に同じであることを特徴とする相分離構造形成用樹脂組成物。 【選択図】なし
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种用于形成相分离结构的树脂组合物。解决方案:用于形成相分离结构的树脂组合物含有含有嵌段共聚物三种成分的树脂组分,与第一嵌段相容的第一均聚物 和嵌段共聚物中与第二嵌段相容的第二均聚物。 树脂组分中第一均聚物和第二均聚物的组成比基本上与嵌段共聚物中第一嵌段和第二嵌段的组成比相同。选择图:无
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公开(公告)号:JP5721164B2
公开(公告)日:2015-05-20
申请号:JP2010205890
申请日:2010-09-14
Applicant: 東京応化工業株式会社 , 国立研究開発法人理化学研究所
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