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公开(公告)号:KR102222776B1
公开(公告)日:2021-03-05
申请号:KR1020180005978A
申请日:2018-01-17
Applicant: 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼
CPC classification number: C25D17/08 , C25D17/001 , G01R27/08 , G01R27/02 , C25D17/005 , C25D17/06 , C25D21/12 , G01R1/0408 , G01R1/203 , G01R27/20 , G01R31/2831 , H01L21/4846 , H01L21/67011 , H01L21/6723 , H01L21/68785 , C25D17/00 , C25D17/004
Abstract: 기판 홀더에 발생한 원인에 의한 전기 저항의 이상을 검출할 수 있도록 한다.
기판 홀더의 전기 저항을 측정하기 위한 저항 측정 모듈이 제공되고, 상기 기판 홀더는, 보유 지지된 기판에 전류를 공급하기 위한, 기판에 접촉 가능한 전기 접점을 갖고, 상기 기판 홀더는, 상기 기판 홀더의 전기 저항을 측정하기 위한 검사용 기판을 보유 지지할 수 있으며, 검사용 기판을 보유 지지한 상태에 있어서, 상기 전기 접점이 상기 검사용 기판에 접촉하도록 구성되고, 상기 저항 측정 모듈은, 상기 기판 홀더로 보유 지지된 검사용 기판에 접촉 가능한 검사 프로브와, 검사용 기판을 통해 상기 전기 접점과 상기 프로브와의 사이에 흐르는 전류의 저항값을 측정하기 위한 저항 측정기를 갖는다. 형태 1에 따른 저항 측정 모듈에 의하면, 기판 홀더의 전기 저항을 측정할 수 있어, 기판 홀더의 전기 접점 또는 전기 경로의 이상을 검출할 수 있다.-
公开(公告)号:JP6263210B2
公开(公告)日:2018-01-17
申请号:JP2016040801
申请日:2016-03-03
Applicant: 株式会社荏原製作所
IPC: C25D7/12 , H01L21/288 , H01L21/28 , C25D5/02
CPC classification number: C25D17/001 , B08B7/0057 , C25D5/022 , C25D7/123 , C25D17/00 , C25D17/004 , C25D17/06 , H01L21/02068 , H01L21/67057 , H01L21/67115 , H01L21/6723
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公开(公告)号:JP6149640B2
公开(公告)日:2017-06-21
申请号:JP2013195805
申请日:2013-09-20
Applicant: アイシン精機株式会社
Inventor: 小林 大之
CPC classification number: C25F7/00 , C25D11/022 , C25D17/00 , C25D17/004
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公开(公告)号:JP5847832B2
公开(公告)日:2016-01-27
申请号:JP2013539447
申请日:2011-10-19
Applicant: 株式会社JCU
CPC classification number: C25D17/06 , C25D17/001 , C25D17/004 , C25D17/005 , C25D7/123
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公开(公告)号:JP2015535891A
公开(公告)日:2015-12-17
申请号:JP2015534948
申请日:2013-09-16
Applicant: アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングAtotech Deutschland GmbH , アトテツク・ドイチユラント・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツングAtotech Deutschland GmbH
Inventor: ラウエンブッシュ ラルフ , ラウエンブッシュ ラルフ , トーマス クリスティアン , トーマス クリスティアン , ヴァインホルト レイ , ヴァインホルト レイ , クリングル ハインツ , クリングル ハインツ
IPC: C25D17/06 , C25D7/12 , C25D17/08 , H01L21/683
CPC classification number: C25D17/06 , C25D7/12 , C25D17/001 , C25D17/004 , H05K3/007 , Y10T29/49117
Abstract: 製品の電気めっき処理、特に製品の両面の処理のための保持装置であって、保持装置は、製品の第1の面とのコンタクトを確立する少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材を有する第1の保持部と、第1の面とは反対側の製品の第2の面とのコンタクトを確立する少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材を有する第2の保持部と、を備え、第1の保持部および第2の保持部は、製品を保持するために分離可能に互いに結合可能に構成されており、処理状態において、製品シールおよびケーシングシールが、少なくとも1つの第1の電気コンタクト部材および少なくとも1つの第2の電気コンタクト部材への流体の浸入を防ぐ封止構成を提供する。
Abstract translation: 电镀过程的产品,特别是保持装置用于双面处理的产品中,保持装置,所述第一具有至少一个第一电接触的产品的第一表面之间建立接触构件 保持部,并具有从所述第一表面的至少一个第二电接触件,以建立与相对侧产品的第二表面上的接触的第二保持部,包括:第一的 保持部和第二保持部,该产品被可拆卸地可连接配置在一起以保持,在处理状态,密封产品和外壳密封件,所述第一电接触构件和至少所述至少一个 设置密封装置,以防止流体进入所述第二电接触部件中的一个。
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公开(公告)号:JP2015132017A
公开(公告)日:2015-07-23
申请号:JP2014252621
申请日:2014-12-15
Applicant: ハウメット コーポレイション , Howmet Corporation
Inventor: ウィル エヌ.カーケンドール , スコット エイ.ミード , ドナルド アール.クレメンス
IPC: C25D17/10 , C23C28/02 , F01D25/12 , F01D25/00 , F01D5/18 , F01D9/02 , F02C7/00 , F02C7/18 , C25D5/02
CPC classification number: F01D5/286 , C25D17/004 , C25D17/10 , C25D17/12 , C25D5/022 , C25D5/08 , C25D5/48 , C25D7/00 , C25D7/04 , F01D5/186 , F01D9/02 , C25D3/50 , F05D2230/31 , F05D2300/143 , F05D2300/1431 , F05D2300/175 , F05D2300/177
Abstract: 【課題】ガスタービンエンジンのエアフォイル部品の冷却通路又はキャビティを画定する内壁の表面領域を電気めっきする方法及び装置を提供する。 【解決手段】電気めっきは、電気めっき溶液が入れられたタンクTの中で行われ、ベーンセグメントは、電流供給部固定具又はツーリング27上にて、電気めっき溶液の中に浸漬される。細長いアノード30は、マスク25を通って延びて、電流供給バス31を通じて電流を受ける。電流供給バスは、ツーリング上の適当なあらゆる位置に配置されることができ、電力供給部29に接続される。ベーンセグメントは、マスクを通ってシュラウド領域12に接触する電気カソードバス33により電解セルのカソードとなる。 【選択図】図3
Abstract translation: 要解决的问题:提供用于电镀在燃气涡轮发动机翼型部件中限定冷却通道或空腔的内壁的表面积的方法和装置。解决方案:电镀发生在包含电镀溶液的罐T中,其具有叶片 片段被浸没在电镀溶液中的电流供应部件固定装置或工具27上。细长的阳极30延伸穿过掩模25并通过电流供应总线31接收电流。电流供应总线可以位于任何合适的 位于工具上,并且连接到电源29.通过延伸穿过掩模以接触护罩区域12的电气阴极总线33,将叶片段制成电解池的阴极。
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公开(公告)号:JP2015059265A
公开(公告)日:2015-03-30
申请号:JP2013195805
申请日:2013-09-20
Applicant: アイシン精機株式会社 , Aisin Seiki Co Ltd
Inventor: KOBAYASHI HIROYUKI
CPC classification number: C25F7/00 , C25D11/022 , C25D17/00 , C25D17/004
Abstract: 【課題】表面処理の能率向上を図り易く、加圧機構の破損などが生じ難い。【解決手段】外周面Bに周溝A1を形成した被処理物Aに接続される第1電極部材と、被処理物Aに対して対向する内周面31を形成した第2電極部材17と、周溝A1の両側で外周面Bと内周面31との隙間Cをシール可能な一対の環状弾性シール材40と、環状弾性シール材40の夫々を縮径方向に移動可能に収容する周溝部41と、環状弾性シール材40を外周面Bに圧接可能、かつ、圧接を解除自在な加圧機構51と、一対の環状弾性シール材40でシールされた外周面Bと内周面31との間に電解液を供給する流路とを備え、環状弾性シール材40が、周溝部41の溝側面45に対して摺接可能な一対の環状側壁部分および当該一対の環状側壁部分の内周側どうしを一連に接続する環状先端部分を有し、周方向一箇所に外周側の縁部から内周側に向けて延出する切り込みを形成してある。【選択図】図5
Abstract translation: 要解决的问题:为了促进表面处理的效率提高和减轻压缩机构的断裂等。解决方案:所提供的装置配备有:连接到处理对象A的第一电极构件,其中周边 槽A1形成在其外周面B上; 在其上形成有与处理对象A相对的内周面31的第二电极部件17; 能够在外周面A1的两侧密封外周面B和内周面31的间隙C的一对循环弹性密封材料40; 周边槽单元41沿着直径方向以可移动的方式存储各个循环弹性密封材料40; 压缩机构51,其能够在压力下与循环弹性密封材料40与外周面B接触并抵消其加压接触; 以及在循环弹性密封材料40具有可滑动于槽的一对循环侧壁部的状态下,在由一对循环弹性密封材料40密封的外周面B与内周面31之间供给电解液的流路 周缘槽单元41的轮廓表面45和用于连续地连接一对循环侧壁部的各个内周侧的周向端部以及从外周侧的边缘向内周侧延伸的切口为 沿着周边方向形成在一个位置。
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公开(公告)号:JP2014040633A
公开(公告)日:2014-03-06
申请号:JP2012183261
申请日:2012-08-22
Applicant: Jtekt Corp , 株式会社ジェイテクト
Inventor: STOIMENOV BOYKO , YAMAKAWA KAZUYOSHI , SUZUKI MASAHIRO , MATSUO KAZUAKI
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To enable the reduction of the number of steps in a case where films of different types are formed respectively within multiple regions on the surface F of a workpiece W and where a specified film pattern is obtained from these films.SOLUTION: The provided pattern formation apparatus includes multiple tanks 11 through 19 and a power supply device 10. The tanks 11 through 19 possess aperture edges having shapes identical respectively to contour shapes of multiple regions in which films of mutually different types are scheduled to be formed, and electrodeposition liquids for forming films of different types are stocked respectively therein in a state where the aperture edges thereof are being contacted with the surface F of a workpiece W. The power supply device 10 impresses a specified voltage between the workpiece W serving as a first electrode and each of second electrodes positioned respectively within the multiple tanks 11 through 19.
Abstract translation: 要解决的问题:为了能够在工件W的表面F上的多个区域内分别形成不同类型的膜的情况下的步骤数目的减少,并且从这些膜获得指定的膜图案。解决方案: 所提供的图案形成装置包括多个容器11至19和电源装置10.容器11至19具有孔边缘,其具有与其中预定形成彼此不同类型的膜的多个区域的轮廓形状相同的形状;以及 用于形成不同类型薄膜的电沉积液分别在其孔边缘与工件W的表面F接触的状态下放置。电源装置10在作为第一电极的工件W之间施加指定的电压 并且每个第二电极分别位于多个罐11至19内。
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公开(公告)号:JP5332416B2
公开(公告)日:2013-11-06
申请号:JP2008225262
申请日:2008-09-02
Applicant: スズキ株式会社
CPC classification number: C25D7/04 , C25D5/02 , C25D17/004 , C25D17/12
Abstract: A cylinder block plate processing apparatus in which one end side of an inner peripheral surface of a cylinder of a cylinder block is sealed to circulate a process liquid to perform pre-plating or plating processing of the cylinder inner peripheral surface. The apparatus includes: an apparatus body having a workpiece mount table on which the cylinder block is placed; a workpiece holding tool that is provided on the workpiece mount table so as to be vertically movable; an electrode support member including an electrode cylinder mounted to the apparatus body; a processing solution supply member that supplies a processing solution to the electrode support member; an electrode operated by the electrode cylinder; a sealing jig provided to one end of the electrode; a driving mechanism that drives the sealing jig; and a control circuit that controls operations of the processing solution supply member and the driving mechanism.
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