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公开(公告)号：KR20210031522A
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：KR1020217006620A
申请日：2019-08-15
Applicant: 사이머 엘엘씨
Inventor： 안드레이 도로반투 , 제이컵 아서 코헨 , 라주 쿠마르 라자 고빈단 , 월터 데일 길스피 , 에릭 숀 그로스 , 리차드 칼 우야즈도브스키
IPC: H01S3/034 , H01S3/00 , H01S3/0971 , H01S3/101
CPC classification number: H01S3/0014 , H01S3/03 , H01S3/101 , H01S3/034 , H01S3/0971
Abstract: 광원 장치는 에너지 원과 상호작용하도록 구성된 캐비티가 형성된 3 차원 바디를 포함하는 가스 방전 스테이지 - 상기 바디는 자외선 범위의 파장을 갖는 광빔에 대해 투과성인 적어도 2 개의 포트를 포함함 -; 복수의 센서를 포함하는 센서 시스템 - 각각의 센서는 해당 센서에 대한 가스 방전 스테이지의 바디의 각각의 개별 영역의 물리적 양태를 측정하도록 구성됨 -; 및 센서 시스템과 연통하는 제어 장치를 포함한다. 제어 장치는 센서로부터 측정된 물리적 양태를 분석하여 X 축에 의해 정의되는 XYZ 좌표계에서 가스 방전 스테이지의 바디의 위치를 결정하며, 여기서 X 축은 가스 방전 스테이지의 기하학적 형상에 의해 정의된다.
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公开(公告)号：JP2018184849A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：JP2017085731
申请日：2017-04-24
Applicant: 大学共同利用機関法人自然科学研究機構
CPC classification number: H01S3/1115 , F02P23/04 , H01S3/0014 , H01S3/0612 , H01S3/0627 , H01S3/094053 , H01S3/094076 , H01S3/09415 , H01S3/10038 , H01S3/1022 , H01S3/113 , H01S3/1611 , H01S3/1643
Abstract: 【課題】レーザのパルス時間幅の最適化を行い、点火に必要なレーザパルスエネルギーの最小化と点火効率の向上を図ったレーザ点火装置を提供すること。 【解決手段】波長λ[μm]、ビーム品質M 2 のビームを出力するパルスレーザ発振器1と、パルスレーザ発振器1から出力されるパルスレーザのエネルギーを制御するエネルギー制御器2と、パルスレーザ発振器1から出力されるパルスレーザを集光する焦点距離f[mm]のレンズ3と、パルスレーザの時間幅を制御するパルス時間幅制御器14を有するレーザ点火装置であって、パルス時間幅制御器14は、パルスレーザの時間幅を0.6〜2nsに制御することを特徴とする。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6382883B2
公开(公告)日：2018-08-29
申请号：JP2016086430
申请日：2016-04-22
Applicant: ファナック株式会社
IPC: H01S3/0941 , H01S5/042
CPC classification number: H01S5/0021 , G09G1/005 , G09G3/02 , G09G2360/14 , H01S3/0014 , H01S3/0941 , H01S3/10 , H01S5/042 , H01S5/0683 , H01S5/2201 , H01S5/4025 , H04N9/3194
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公开(公告)号：JP6364476B2
公开(公告)日：2018-07-25
申请号：JP2016508374
申请日：2014-03-18
Applicant: ギガフォトン株式会社
CPC classification number: H01S3/038 , G03F7/70025 , H01S3/0014 , H01S3/036 , H01S3/08009 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/1305 , H01S3/134 , H01S3/225
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公开(公告)号：JP6283767B2
公开(公告)日：2018-02-21
申请号：JP2017508678
申请日：2015-08-14
Applicant: サイマー リミテッド ライアビリティ カンパニー
Inventor： オブライエン,ケビン , ソーンズ,ジョシュア , ボレロ,マイケル
IPC: H01S3/225
CPC classification number: H01S3/036 , H01S3/0014 , H01S3/104 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/225 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/2308
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：JP2017191833A
公开(公告)日：2017-10-19
申请号：JP2016079692
申请日：2016-04-12
Applicant: ファナック株式会社
CPC classification number: H01S3/0407 , B23K26/703 , H01S3/0014 , H01S5/06804 , H01S3/1305 , H01S3/1306 , H01S3/1317 , H01S5/02423
Abstract: 【課題】入力し、設定されたレーザ加工条件に従って加工すると、レーザ発振器等の発熱により、各部の部品や冷却液の温度が許容最大温度を超える場合に、レーザ加工を開始する前に警告すること。 【解決手段】計算部9は、記録部10に記録されているチラー2の冷却能力、チラー2の水槽容量、レーザ発振器による発熱量、レーザ装置1の被冷却部の熱容量等、および温度検出部6で測定した各部の温度等に基づいて、入力し、設定されたレーザ加工条件に従って加工した場合に、各部の部品や冷却液が到達する到達最大温度を計算する。到達最大温度が、許容最大温度を超える場合に、レーザ加工を開始する前に警告する。 【選択図】図1
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公开(公告)号：JP6204363B2
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：JP2014534385
申请日：2013-09-04
Applicant: ギガフォトン株式会社
IPC: H01S3/00
CPC classification number: H01S3/0014 , G01J1/4257 , G01J11/00 , H01S3/034 , H01S3/038 , H01S3/134 , H01S3/2251 , H01S3/2256 , H01S3/005 , H01S3/08009 , H01S3/0971 , H01S3/10069 , H01S3/225 , H01S3/2308
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公开(公告)号：JP2017167006A
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：JP2016053114
申请日：2016-03-16
Applicant: 東芝メモリ株式会社
Inventor： ホアン・フェリペ トーレス , 加納 宏弥 , 白土 昌孝 , 立田 真一
CPC classification number: G01R31/311 , G01R31/2874 , H01S3/0014 , H01S3/0071 , G01R31/2875
Abstract: 【課題】テストオブジェクトにおける欠陥を検出すること。 【解決手段】レーザビームを出力するレーザ光源と、レーザビームを変更し、前記変更されたレーザビームをテストオブジェクトへ導く光学システムと、前記テストオブジェクトを前記変更されたレーザビームで照射する過程で生じた信号の変化を検出する信号検出器と、前記信号検出器で検出された前記変化に基づいて欠陥解析を実行するコンピュータシステムと、を備え、前記光学システムは、ピーク強度が照射軸近傍にある第1強度成分とピーク強度が前記照射軸周囲にある第2強度成分とを含む照射領域を前記変更されたレーザビームが生成するように、前記レーザビームを変更する。 【選択図】図2
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公开(公告)号：JP6189883B2
公开(公告)日：2017-08-30
申请号：JP2015015609
申请日：2015-01-29
Applicant: ファナック株式会社
CPC classification number: H01S3/09705 , H01S3/0014 , H01S3/036 , H01S3/134 , H01S3/2232
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公开(公告)号：JP6031870B2
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：JP2012163629
申请日：2012-07-24
Applicant: 富士通株式会社
Inventor： 伊藤 洋之
CPC classification number: H01S3/10007 , H01S3/0014 , H01S3/06754 , H01S3/10023 , H01S3/1301 , H04B10/0797 , H01S2301/04
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