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公开(公告)号：KR101959417B1
公开(公告)日：2019-03-18
申请号：KR1020177015513
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈슬러,우베 , 로프,안드레아스 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘
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12.发明公开유기 재료를 위한 증발 소스, 유기 재료를 위한 증발 소스를 갖는 진공 챔버에서 유기 재료를 증착하기 위한 증착 장치, 및 유기 재료를 증발시키기 위한 방법 审中-实审用于在真空室中沉积有机材料的有机材料沉积装置的蒸发源和用于蒸发有机材料的方法
公开(公告)号：KR1020170007545A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：KR1020177000782
申请日：2013-12-10
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈외쓸러,우베 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘 , 하아스,디에터
CPC classification number: C23C14/243 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/246 , C23C14/50 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/56
Abstract: 유기재료를위한증발소스가설명된다. 증발소스는, 증발도가니― 증발도가니는유기재료를증발시키도록구성됨―; 하나또는그 초과의배출구들을갖는분배파이프― 분배파이프는증발도가니와유체소통하고, 분배파이프는, 증발동안에, 축을중심으로회전가능함―; 및분배파이프를위한지지부를포함하며, 지지부는제 1 드라이브에연결가능하거나, 또는제 1 드라이브를포함하고, 제 1 드라이브는분배파이프및 지지부의병진이동에대해구성된다.
Abstract translation: 描述了有机材料的蒸发源。 蒸发源包括蒸发坩埚，其中蒸发坩埚构造成蒸发有机材料; 具有一个或多个出口的分配管，其中所述分配管与所述蒸发坩埚流体连通，并且其中所述分配管可以在蒸发期间围绕轴线旋转; 以及对所述分配管的支撑件，其中所述支撑件可连接到第一驱动器或包括所述第一驱动器，其中所述第一驱动器构造成用于所述支撑件和所述分配管的平移运动。
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公开(公告)号：KR101433336B1
公开(公告)日：2014-08-22
申请号：KR1020127010405
申请日：2010-09-20
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01M10/0585 , H01M10/0525 , H01M10/04
CPC classification number: H01M10/0404 , H01M4/621 , H01M6/40 , H01M10/052 , H01M10/0585 , Y02E60/122 , Y02P70/54 , Y10T29/52
Abstract: 박막 배터리를 제조하기 위한 방법들 및 팩토리들이 설명된다. 방법은 박막 배터리를 제조하기 위한 공정들을 포함한다. 팩토리는 박막 배터리를 제조하기 위한 하나 또는 그 이상의 툴 세트들을 포함한다.
Abstract translation: 描述了薄膜电池制造的方法和工厂。 一种方法包括制造薄膜电池的操作。 工厂包括用于制造薄膜电池的一个或多个工具组。
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公开(公告)号：KR1020140013070A
公开(公告)日：2014-02-04
申请号：KR1020137032784
申请日：2010-09-20
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01M10/0585 , H01M10/04
CPC classification number: H01M10/0404 , H01M4/621 , H01M6/40 , H01M10/052 , H01M10/0585 , Y02E60/122 , Y02P70/54 , Y10T29/52
Abstract: 박막 배터리를 제조하기 위한 방법들 및 팩토리들이 설명된다. 방법은 박막 배터리를 제조하기 위한 공정들을 포함한다. 팩토리는 박막 배터리를 제조하기 위한 하나 또는 둘 이상의 툴 세트들을 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020120101662A
公开(公告)日：2012-09-14
申请号：KR1020127013722
申请日：2010-10-18
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
IPC: H01M10/04 , H01M4/13 , H01M4/02 , H01M4/139 , H01M4/58 , H01M4/62 , H01M4/66 , H01M6/40 , C23C14/04
CPC classification number: H01M6/40 , C23C14/042 , H01M4/02 , H01M4/13 , H01M4/139 , H01M4/5825 , H01M4/621 , H01M4/623 , H01M4/663 , H01M2004/028 , Y02E60/122 , Y10T29/49002 , Y10T29/5313 , H01M10/0404
Abstract: 처리 상태로의 노출에 대해 가공물의 상부를 덮도록 섀도우 마스크를 조립 및 해체하기 위한, 기판의 박막 처리를 위한 자기 조작 어셈블리, 시스템, 및 방법이 개시된다. 어셈블리는 자기 조작 캐리어와, 섀도우 마스크를 포함하고, 상기 섀도우 마스크는 처리 상태에 노출시 상기 섀도우 마스크와 상기 자기 조작 캐리어 사이에 배치될 가공물의 상부를 덮도록 상기 자기 조작 캐리어 위에 배치되며 상기 조작 캐리어에 자기적으로 결합된다. 시스템은 제 1 챔버를 포함하고, 상기 제 1 챔버는 상기 섀도우 마스크를 유지하는 제 1 지지부, 조작 캐리어를 유지하는 제 2 지지부, 및 상기 캐리어와 섀도우 마스크 사이에 배치될 가공물에 대해 상기 섀도우 마스크를 정렬하는 정렬 시스템을 포함한다. 제 1 및 제 2 지지부는 서로에 대해 이동 가능하다.
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Patent Agency Ranking
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公开(公告)号：KR102082192B1
公开(公告)日：2020-02-27
申请号：KR1020177019747
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
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公开(公告)号：KR101927925B1
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：KR1020177000782
申请日：2013-12-10
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈외쓸러,우베 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘 , 하아스,디에터
Abstract: 유기 재료를 위한 증발 소스가 설명된다. 증발 소스는, 증발 도가니(crucible) ― 증발 도가니는 상기 유기 재료를 증발시키도록 구성됨 ―; 하나 또는 그 초과의 배출구들을 갖는 분배 파이프(distribution pipe) ― 분배 파이프는 증발 도가니와 유체 소통하고, 분배 파이프는, 증발 동안에, 축을 중심으로 회전가능함 ―; 및 유기 재료를 실딩(shielding)하기 위한 적어도 하나의 측면 실드(shield)를 포함한다.
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19.发明公开
公开(公告)号：KR1020170086679A
公开(公告)日：2017-07-26
申请号：KR1020177019747
申请日：2014-11-07
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 로프,안드레아스 , 게베레,토마스 , 슈슬러,우베 , 디게츠-캄포,요제마누엘
CPC classification number: C23C14/12 , C23C14/042 , C23C14/24 , C23C16/45578 , C23C14/243 , H01L51/001
Abstract: 진공챔버(110)에서기판(121) 상에증발된재료들을증착하기위한장치가설명된다. 장치는, 분배파이프(106a, 106b) 및하나또는그 초과의노즐들(712)을각각갖는 2개의재료증착소스들(100a, 100b)을포함한다. 추가로, 증발된재료를증착하기위한장치를포함하는진공증착챔버, 및진공증착챔버에서기판상에증발된재료를증착하기위한방법이설명된다.
Abstract translation: 描述了用于在真空室110中的基板121上沉积蒸发材料的设备。 装置包括一个分配管（106A，106B）和一个或两个材料沉积源与喷嘴每个过量（100A，100B）中的712。 此外，将描述一种用于在真空沉积腔室在衬底上沉积所述蒸发的材料的方法，和真空沉积室包括用于沉积蒸发的材料的装置。
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公开(公告)号：KR1020170081714A
公开(公告)日：2017-07-12
申请号：KR1020177018039
申请日：2014-02-04
Applicant: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드
Inventor： 뱅거트,슈테판 , 슈외클러,우베 , 디에구에츠-챔포,요제마누엘 , 하아스,디에터
CPC classification number: H01L51/56 , B05D1/60 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/505 , C23C14/56 , C23C14/562 , C23C14/564 , C23C14/566 , C23C14/568 , H01L21/67173 , H01L21/67196 , H01L21/67271 , H01L21/67712 , H01L21/67718 , H01L21/67727 , H01L21/67742 , H01L21/67748 , H01L21/6776 , H01L51/001 , H01L51/0011 , C23C14/50
Abstract: 하나또는그 초과의층들, 특히층들에유기재료들을포함하는층들을증착하기위한시스템이설명된다. 시스템은, 프로세싱될기판을로딩하기위한로드락 챔버, 기판을운송하기위한이송챔버, 이송챔버와로드락 챔버사이에제공된진공스윙모듈, 적어도하나의증착장치― 적어도하나의증착장치는, 적어도하나의증착챔버의진공챔버에서재료를증착하기위한것이고, 적어도하나의증착장치는이송챔버에연결됨―, 프로세싱된기판을언로딩하기위한추가적인로드락 챔버, 기판을운송하기위한추가적인이송챔버, 추가적인이송챔버와추가적인로드락 챔버사이에제공된추가적인진공스윙모듈, 및추가적인진공스윙모듈로부터진공스윙모듈로의캐리어리턴트랙을포함하며, 여기에서, 캐리어리턴트랙은, 진공조건들하에서, 그리고/또는제어되는비활성분위기하에서, 캐리어를운송하도록구성된다.
Abstract translation: 描述了用于沉积一个或多个层，特别是层中包含有机材料的层的系统。 该系统包括用于装载待处理基板的装载锁定室，用于传送基板的传送室，设置在传送室与装载锁定室之间的真空摆动模块，至少一个沉积装置， 至少一个沉积设备连接到传送室，用于卸载处理后的衬底的附加负载锁定室，用于传送衬底的附加传送室，用于传送衬底的附加传送室， 在腔室和附加负载锁定腔室之间提供附加的真空摆动模块，以及从附加真空摆动模块到真空摆动模块的载体返回轨道，其中载体返回轨道处于真空条件下和/ 在惰性气氛下运输载体。
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