Abstract:
PURPOSE: A resist underlayer formed by using a resist underlayer forming composition containing a silicon-containing compound formed of a silicon compound prevents the pattern collapse by having excellent adhesion with the resist underlayer even in a negative phenomenon (organic solvent phenomenon) and a positive phenomenon (alkali phenomenon). CONSTITUTION: A silicon compound is represented by general formula (A-1) or (A-2). A silicon-containing compound contains at least one or more of repeating units represented by general formulas B, C, D, and E. a silicon-containing resist underlayer-forming composition includes the silicon-containing compound and a solvent. A pattern forming method forms an organic underlayer material to form an organic underlayer. A silicon-containing resist underlayer is formed on the organic underlayer by using the composition for forming the resist underlayer. A photoresist film is formed on the silicon-containing resist underlayer by using a chemically amplifiable resist composition. After a heat-treatment, the photoresist film is exposed by high energy rays, and the exposed part of the photoresist film is dissolved to form a positive pattern. The photoresist film, as a mask is transcribed to the underlayer by a dry etching. The pattern-transcribed resist under layer, as a mask, is dry-etched to the organic underlayer. The organic under layer, as a mask, is dry-etched to an object.
Abstract:
본 발명은 18 F에 의한 표지에 적합한 신규 화합물 및 상응하는 18 F-표지된 화합물 그 자체, 그의 19 F-플루오린화된 유사체 및 참조 기준으로서 그들의 용도, 상기 화합물의 제조 방법, 상기 화합물을 포함하는 조성물, 상기 화합물 또는 조성물을 포함하는 키트 및 양전자 방출 단층촬영술 (PET)에 의한 진단 영상화를 위한 상기 화합물, 조성물 또는 키트의 용도에 관한 것이다.
[식 중, A환 및 B환은 벤젠환, 2 내지 4개의 환을 포함하는 방향족 축합환, 복소 방향족환 또는 2 내지 4개의 환을 포함하는 복소 방향족 축합환을 나타내고, R 1a 는 -CHR 2a -CHR 2b R 2c 로 표시되는 기를 나타내고, R 1b , R 1c 및 R 1d 는 수소 원자, 아릴기 또는 -CHR 2d -CHR 2e R 2f 로 표시되는 기를 나타내되, 단 R 1b , R 1c 및 R 1d 중 적어도 2개는 수소 원자가 아니고, R 2a , R 2b 및 R 2c 는 수소 원자, 알킬기, 아릴기 또는 치환 실릴기를 나타내고, R 2a 와 R 2b 는 서로 결합하여 환을 형성할 수도 있고, R 2d , R 2e 및 R 2f 는 수소 원자, 알킬기, 아릴기 또는 치환 실릴기를 나타내고, R 2d 와 R 2e 는 서로 결합하여 환을 형성할 수도 있다.]
Abstract:
본 발명의 화학 기상 성장법용 재료는, 하기 화학식 1로 표시되는 유기 실란 화합물을 포함한다.
(식 중, R 1 및 R 2 는 동일하거나 상이하고, 수소 원자, 탄소수 1 내지 4의 알킬기, 비닐기 또는 페닐기를 나타내고, R 3 및 R 4 는 동일하거나 상이하고, 탄소수 1 내지 4의 알킬기, 아세틸기 또는 페닐기를 나타내고, m은 0 내지 2의 정수를 나타내고, n은 1 내지 3의 정수를 나타냄)
Abstract:
The present invention is a siloxane-based resin composition including a siloxane-based resin and an imidosilane compound having a specific structure. Moreover, the present invention is a siloxane-based resin composition including a siloxane-based resin which is a reactive product to be obtained by hydrolyzing an alkoxysilane compound and an imidosilane compound having a specific structure and then making the resulting hydrolysate undergo a condensation reaction. According to the present invention, it is possible to form a cured film excellent in adhesion.
Abstract:
본 발명은, 비극성 플루오르화 알킬 그룹이 하나 이상 존재하는 표면 활성 벤조일 화합물을 포함하는 조성물의 이중 경화에 의한 내스크래칭성 피막의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 피막의 표면에서 이들 표면 활성 광개시제를 농축시키는 방법, 비극성 플루오르화 알킬 그룹이 하나 이상 존재하는 신규한 표면 활성 벤조일 화합물, 신규한 표면 활성 플루오르화 광개시제가 존재하는 조성물 및 기판 위에서 경화 조성물의 유동성을 개선시키는 방법에 관한 것이다. 비극성 플루오르화 알킬 그룹, 벤조일 화합물, 이중 경화, 광개시제 및 내스크래칭성