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公开(公告)号：TWI459469B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW097137493
申请日：2008-09-30
发明人： 勵敏華 , LI, MINHUA , 王琦 , WANG, QI , 西姆 葛登 , SIM, GORDON , 雷諾斯 馬修 , REYNOLDS, MATTHEW , 金素枯 , KIM, SUKU , 墨菲 詹姆斯J. , MURPHY, JAMES J. , 耶瑪茲 漢查 , YILMAZ, HAMZA
IPC分类号： H01L21/3205 , H01L21/304
CPC分类号： H01L21/78
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公开(公告)号：TWI430443B
公开(公告)日：2014-03-11
申请号：TW096110516
申请日：2007-03-27
发明人： 耶瑪茲 漢查 , YILMAZ, HAMZA , 卡拉福特 丹尼爾 , CALAFUT, DANIEL
IPC分类号： H01L29/00
CPC分类号： H01L29/7811 , H01L29/0646 , H01L29/0653 , H01L29/1095 , H01L29/402 , H01L29/407 , H01L29/41741 , H01L29/456 , H01L29/7803 , H01L29/7808 , H01L29/7813
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公开(公告)号：TW201330286A
公开(公告)日：2013-07-16
申请号：TW102107823
申请日：2006-06-09
发明人： 耶馬茲 漢薩 , YILMAZ, HAMZA , 卡拉福特 丹尼爾 , CALAFUT, DANIEL , 塞帕 史蒂芬P , SAPP, STEVEN P. , 克拉特 納森 , KRAFT, NATHAN , 查拉 亞索克 , CHALLA, ASHOK
IPC分类号： H01L29/94 , H01L21/8238 , H01L29/66
CPC分类号： H01L29/7813 , H01L21/26513 , H01L21/26586 , H01L29/0634 , H01L29/0653 , H01L29/0878 , H01L29/1095 , H01L29/407 , H01L29/41766 , H01L29/66666 , H01L29/66712 , H01L29/66727 , H01L29/66734 , H01L29/7827 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： 形成一電場場效電晶體之方法如下：提供一第一傳導類型之一半導體區，該半導體區具有在其上延伸之一第二傳導類型之一磊晶層。形成延伸穿過該磊晶層並終止於該半導體區內之一溝槽。以雙程斜角植入方式執行該第一傳導類型之摻質步驟，藉此沿該溝槽側壁形成該第一傳導類型之一區。以臨界電壓調整植入方式執行該第二傳導類型之摻質步驟，藉此將沿該溝槽上側壁延伸之該第一傳導類型區之一部分之一導體類型轉換成該第二傳導類型。形成側接該溝槽各側壁之該第一傳導類型之源極區。
简体摘要： 形成一电场场效应管之方法如下：提供一第一传导类型之一半导体区，该半导体区具有在其上延伸之一第二传导类型之一磊晶层。形成延伸穿过该磊晶层并终止于该半导体区内之一沟槽。以双程斜角植入方式运行该第一传导类型之掺质步骤，借此沿该沟槽侧壁形成该第一传导类型之一区。以临界电压调整植入方式运行该第二传导类型之掺质步骤，借此将沿该沟槽上侧壁延伸之该第一传导类型区之一部分之一导体类型转换成该第二传导类型。形成侧接该沟槽各侧壁之该第一传导类型之源极区。
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公开(公告)号：TWI395294B
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：TW095118598
申请日：2006-05-25
发明人： 耶瑪茲 漢查 , YILMAZ, HAMZA , 卡拉福特 丹尼爾 , CALAFUT, DANIEL , 柯康 克里斯多夫B. , KOCON, CHRISTOPHER BOGUSLAW , 莎普 史蒂芬P. , SAPP, STEVEN P. , 普洛斯特 迪恩E. , PROBST, DEAN E. , 克拉夫特 納山L. , KRAFT, NATHAN L. , 吉瑞伯斯 湯瑪斯E. , GREBS, THOMAS E. , 瑞德利 羅尼S. , RIDLEY, RODNEY S. , 多尼 蓋瑞M. , DOLNY, GARY M. , 瑪夏特 布魯斯D. , MARCHANT, BRUCE D. , 耶迪納克 約瑟芬A. , YEDINAK, JOSEPH A.
IPC分类号： H01L21/8232
CPC分类号： H01L29/7827 , H01L21/26586 , H01L29/0878 , H01L29/402 , H01L29/407 , H01L29/41766 , H01L29/4236 , H01L29/42368 , H01L29/66666 , H01L29/66727 , H01L29/66734 , H01L29/7806 , H01L29/7811 , H01L29/7813 , H01L29/872
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公开(公告)号：TWI416741B
公开(公告)日：2013-11-21
申请号：TW095120583
申请日：2006-06-09
发明人： 耶馬茲 漢薩 , YILMAZ, HAMZA , 卡拉福特 丹尼爾 , CALAFUT, DANIEL , 塞帕 史蒂芬P. , SAPP, STEVEN P. , 克拉特 納森 , KRAFT, NATHAN , 查拉 亞索克 , CHALLA, ASHOK
IPC分类号： H01L29/94 , H01L21/8238 , H01L29/66
CPC分类号： H01L29/7813 , H01L21/26513 , H01L21/26586 , H01L29/0634 , H01L29/0653 , H01L29/0878 , H01L29/1095 , H01L29/407 , H01L29/41766 , H01L29/66666 , H01L29/66712 , H01L29/66727 , H01L29/66734 , H01L29/7827 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI478217B
公开(公告)日：2015-03-21
申请号：TW096109912
申请日：2007-03-22
发明人： 耶瑪茲 漢查 , YILMAZ, HAMZA , 黃麒 , WANG, QI , 李明華 , LI, MINHUA , 吳崇林 , WU, CHUNG LIN
IPC分类号： H01L21/28
CPC分类号： H01L21/76251 , H01L21/6835 , H01L24/28 , H01L29/78603 , H01L2224/16 , H01L2224/29111 , H01L2224/2919 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01024 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01042 , H01L2924/01047 , H01L2924/0105 , H01L2924/01058 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/0132 , H01L2924/01322 , H01L2924/0133 , H01L2924/10253 , H01L2924/13055 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/14 , H01L2924/157 , H01L2924/19041 , H01L2924/19043 , H01L2924/3011 , H01L2924/351 , H01L2924/01026 , H01L2924/01028 , H01L2924/3512 , H01L2924/00 , H01L2924/00012 , H01L2924/0665
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公开(公告)号：TWI459506B
公开(公告)日：2014-11-01
申请号：TW097137710
申请日：2008-10-01
发明人： 安德魯 約翰T. , ANDREWS, JOHN T. , 耶瑪茲 漢查 , YILMAZ, HAMZA , 馬全特 布魯斯 , MARCHANT, BRUCE , 何易書 , HO, IHSIU
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/335
CPC分类号： H01L29/7811 , H01L24/12 , H01L29/0657 , H01L29/41741 , H01L29/41766 , H01L29/66734 , H01L29/7395 , H01L29/7397 , H01L29/7809 , H01L29/7813 , H01L29/872 , H01L2924/01055 , H01L2924/12032 , H01L2924/13055 , H01L2924/13091 , H01L2924/3025 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI434412B
公开(公告)日：2014-04-11
申请号：TW095112181
申请日：2006-04-06
发明人： 柯康 克里斯多夫B. , KOCON, CHRISTOPHER BOGUSLAW , 莎普 史蒂芬P. , SAPP, STEVEN P. , 瑟魯普 保羅 , THORUP, PAUL , 普洛斯特 迪恩E. , PROBST, DEAN E. , 赫理克 羅伯特 , HERRICK, ROBERT , 洛斯 貝基 , LOSEE, BECKY , 耶瑪茲 漢查 , YILMAZ, HAMZA , 雷克賽 克里斯多夫L. , REXER, CHRISTOPHER LAWRENCE , 卡拉福特 丹尼爾 , CALAFUT, DANIEL
IPC分类号： H01L29/772 , H01L29/872 , H01L29/66 , H01L21/00
CPC分类号： H01L29/7827 , H01L21/26586 , H01L27/0629 , H01L29/0619 , H01L29/0847 , H01L29/0869 , H01L29/1095 , H01L29/407 , H01L29/41766 , H01L29/42368 , H01L29/66666 , H01L29/66719 , H01L29/66727 , H01L29/66734 , H01L29/7806 , H01L29/7811 , H01L29/7813 , H01L29/7828 , H01L29/872 , H01L2924/13091
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公开(公告)号：TWI542020B
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：TW102107823
申请日：2006-06-09
发明人： 耶馬茲 漢薩 , YILMAZ, HAMZA , 卡拉福特 丹尼爾 , CALAFUT, DANIEL , 塞帕 史蒂芬P , SAPP, STEVEN P. , 克拉特 納森 , KRAFT, NATHAN , 查拉 亞索克 , CHALLA, ASHOK
IPC分类号： H01L29/94 , H01L21/8238 , H01L29/66
CPC分类号： H01L29/7813 , H01L21/26513 , H01L21/26586 , H01L29/0634 , H01L29/0653 , H01L29/0878 , H01L29/1095 , H01L29/407 , H01L29/41766 , H01L29/66666 , H01L29/66712 , H01L29/66727 , H01L29/66734 , H01L29/7827 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
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公开(公告)号：TWI440151B
公开(公告)日：2014-06-01
申请号：TW096110344
申请日：2007-03-26
发明人： 耶瑪茲 漢查 , YILMAZ, HAMZA , 莎普 史蒂芬 , SAPP, STEVEN , 王琦 , WANG, QI , 勵敏華 , LI, MINHUA , 墨菲 詹姆斯J. , MURPHY, JAMES J. , 迪洛爾 約翰R. , DIROLL, JOHN ROBERT
IPC分类号： H01L23/492 , H01L23/49 , H01L21/60
CPC分类号： H01L23/3114 , H01L23/481 , H01L24/13 , H01L24/14 , H01L24/81 , H01L25/072 , H01L2224/05568 , H01L2224/05573 , H01L2224/06102 , H01L2224/13 , H01L2224/13022 , H01L2224/13099 , H01L2224/1403 , H01L2224/14051 , H01L2224/1411 , H01L2224/8121 , H01L2224/81815 , H01L2924/00014 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01047 , H01L2924/01074 , H01L2924/01078 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/1305 , H01L2924/13055 , H01L2924/1306 , H01L2924/13091 , H01L2924/14 , H01L2924/1423 , H01L2924/30107 , H01L2924/00 , H01L2224/05599
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