具微機電元件之封裝結構之製法
    6.
    发明专利
    具微機電元件之封裝結構之製法 审中-公开
    具微机电组件之封装结构之制法

    公开(公告)号:TW201304023A

    公开(公告)日:2013-01-16

    申请号:TW100124413

    申请日:2011-07-11

    IPC分类号: H01L21/60 H01L23/535

    摘要: 一種具微機電元件之封裝結構之製法,係於具有微機電元件與第二對位鍵的晶圓上方罩設板體,並切割該板體,以形成露出該第二對位鍵的板體開口,然後進行打線製程,再將複數塊體對應設於各該第二對位鍵上,並覆蓋封裝層,且從該封裝層的頂面移除部分厚度的該封裝層與部分該塊體,最後,利用對準儀藉由該第二對位鍵來對位,並於該封裝層上形成複數金屬導線。本發明之具微機電元件之封裝結構之製法無需製作貫穿矽基板之開孔,因此能節省生產成本,又板體僅罩設該微機電元件,且移除部分該封裝層,所以更能降低整體厚度與體積。

    简体摘要: 一种具微机电组件之封装结构之制法,系于具有微机电组件与第二对位键的晶圆上方罩设板体,并切割该板体,以形成露出该第二对位键的板体开口,然后进行打线制程,再将复数块体对应设于各该第二对位键上,并覆盖封装层,且从该封装层的顶面移除部分厚度的该封装层与部分该块体,最后,利用对准仪借由该第二对位键来对位,并于该封装层上形成复数金属导线。本发明之具微机电组件之封装结构之制法无需制作贯穿硅基板之开孔,因此能节省生产成本,又板体仅罩设该微机电组件,且移除部分该封装层,所以更能降低整体厚度与体积。