公开(公告)号：US07242537B2

公开(公告)日：2007-07-10

申请号：US10944135

申请日：2004-09-17

申请人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer

发明人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B7/003 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

摘要： In a holding and positioning apparatus for an optical element, the optical element is mounted in a mounting ring and the mounting ring is mounted via at least one manipulator unit. The manipulator unit has a linear actuating element. The manipulator unit has a manipulator head, a movable manipulator part and a manipulator foot, the manipulator head being connected to the movable manipulator part via a solid body joint. The movable manipulator part is connected to the manipulator foot via an actuator and at least one solid body joint, the linear actuating element being coupled to the manipulator foot and the actuator.

摘要翻译： 在用于光学元件的保持和定位装置中，光学元件安装在安装环中，并且安装环经由至少一个操纵器单元安装。 操纵器单元具有线性致动元件。 操纵器单元具有操纵器头，可移动操纵器部分和操纵脚，操纵器头经由固体接头连接到可动操纵器部分。 可移动操纵器部分经由致动器和至少一个实体接头连接到操纵器脚，所述线性致动元件联接到操纵器脚和致动器。

公开(公告)号：US06744574B2

公开(公告)日：2004-06-01

申请号：US10247964

申请日：2002-09-20

申请人： Ulrich Weber ,  Jochen Becker ,  Hubert Holderer ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler

发明人： Ulrich Weber ,  Jochen Becker ,  Hubert Holderer ,  Bernhard Gellrich ,  Jens Kugler

IPC分类号： G02B702

CPC分类号： G02B7/02

摘要： A mount for an optical element in an optical imaging device, in particular in a lens system (4) for semiconductor lithography, has at least one mounting ring (2) which bears the optical element (6). The mounting ring (2) is of at least partially hollow design in cross section.

摘要翻译： 用于光学成像装置中的光学元件的安装件，特别是在用于半导体光刻的透镜系统（4）中，具有至少一个承载光学元件（6）的安装环（2）。 安装环（2）的截面至少部分为中空设计。

公开(公告)号：US20070223116A1

公开(公告)日：2007-09-27

申请号：US11804467

申请日：2007-05-18

申请人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer

发明人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer

IPC分类号： G02B9/00

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B7/003 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

摘要： In a holding and positioning apparatus for an optical element, the optical element is mounted in a mounting ring and the mounting ring is mounted via at least one manipulator unit. The manipulator unit has a linear actuating element. The manipulator unit has a manipulator head, a movable manipulator part and a manipulator foot, the manipulator head being connected to the movable manipulator part via a solid body joint. The movable manipulator part is connected to the manipulator foot via an actuator and at least one solid body joint, the linear actuating element being coupled to the manipulator foot and the actuator.

公开(公告)号：US07251086B2

公开(公告)日：2007-07-31

申请号：US11262360

申请日：2005-10-28

申请人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer ,  Dirk Rexhaeuser

发明人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer ,  Dirk Rexhaeuser

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B7/003 ,  G03F7/70825

摘要： In an apparatus for positioning an optical element in a structure, particularly in an objective housing of a projection objective for microlithography, the optical element is connected to the structure via fastening elements. The position of the optical element is set by means of adjusting fasteners. The fastening elements are arranged in such a way and the adjusting fasteners can be actuated in such a way that the optical element can be tilted about three mutually independent axes and can additionally be displaced in a translatory fashion in one axial direction.

摘要翻译： 在用于将光学元件定位在结构中的装置中，特别是在用于微光刻的投影物镜的物镜外壳中，光学元件通过紧固元件连接到结构。 光学元件的位置通过调整紧固件来设定。 紧固元件以这种方式布置，并且调节紧固件可以以这样的方式致动，使得光学元件可以围绕三个相互独立的轴线倾斜，并且可以在一个轴向方向上以平移方式另外移位。

公开(公告)号：US20060007563A1

公开(公告)日：2006-01-12

申请号：US10944135

申请日：2004-09-17

申请人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer

发明人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B7/003 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/70825 ,  G03F7/70833 ,  G03F7/709

摘要： In a holding and positioning apparatus for an optical element, the optical element is mounted in a mounting ring and the mounting ring is mounted via at least one manipulator unit. The manipulator unit has a linear actuating element. The manipulator unit has a manipulator head, a movable manipulator part and a manipulator foot, the manipulator head being connected to the movable manipulator part via a solid body joint. The movable manipulator part is connected to the manipulator foot via an actuator and at least one solid body joint, the linear actuating element being coupled to the manipulator foot and the actuator.

摘要翻译： 在用于光学元件的保持和定位装置中，光学元件安装在安装环中，并且安装环经由至少一个操纵器单元安装。 操纵器单元具有线性致动元件。 操纵器单元具有操纵器头，可移动操纵器部分和操纵脚，操纵器头经由固体接头连接到可动操纵器部分。 可移动操纵器部分经由致动器和至少一个实体接头连接到操纵器脚，所述线性致动元件联接到操纵器脚和致动器。

公开(公告)号：US06967792B2

公开(公告)日：2005-11-22

申请号：US10458968

申请日：2003-06-11

申请人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer ,  Dirk Rexhaeuser

发明人： Ulrich Weber ,  Hubert Holderer ,  Dirk Rexhaeuser

IPC分类号： G02B7/18 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  G02B7/02

CPC分类号： G03F7/70258 ,  G02B7/003 ,  G03F7/70825

摘要： In an apparatus for positioning an optical element in a structure, particularly in an objective housing of a projection objective for microlithography, the optical element is connected to the structure via fastening elements. The position of the optical element is set by means of adjusting fasteners. The fastening elements are arranged in such a way and the adjusting fasteners can be actuated in such a way that the optical element can be tilted about three mutually independent axes and can additionally be displaced in a translatory fashion in one axial direction.

摘要翻译： 在用于将光学元件定位在结构中的装置中，特别是在用于微光刻的投影物镜的物镜外壳中，光学元件通过紧固元件连接到结构。 光学元件的位置通过调整紧固件来设定。 紧固元件以这种方式布置，并且调节紧固件可以以这样的方式致动，使得光学元件可以围绕三个相互独立的轴线倾斜，并且可以在一个轴向方向上以平移方式另外移位。

公开(公告)号：US08035903B2

公开(公告)日：2011-10-11

申请号：US12768286

申请日：2010-04-27

申请人： Ulrich Weber ,  Jens Kugler

发明人： Ulrich Weber ,  Jens Kugler

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B7/005 ,  G02B7/003 ,  G02B7/004 ,  G02B7/02 ,  G02B7/023 ,  G02B7/1822 ,  G03F7/7015 ,  G03F7/70258 ,  G03F7/70825

摘要： The invention relates to a positioning unit for an optical element in a microlithographic projection exposure installation. Said unit comprises a first connection region (A, 22) for connecting to the optical elements, and a second connection region (B, 20) for connecting to an object in the vicinity of the optical elements. At least two levers are connected to the second connection region by means of the respective lever bearing thereof, and the respective load arm thereof is connected to the first connection region by an articulation by means of an intermediate element (31, 33, 36) applied to said articulations. Regulating devices (28, 29) or actuators are arranged on the respective power arms of the levers. In a first position, the first connection region and the second connection region are arranged in relation to each other in such a way that the lever bearings of at least two levers and the articulations associated with said levers have approximately parallel rotational axes that are located approximately in a plane in the first position.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于微光刻投影曝光装置中的光学元件的定位单元。 所述单元包括用于连接到光学元件的第一连接区域（A，22）和用于连接到光学元件附近的物体的第二连接区域（B，20）。 至少两个杠杆通过其相应的杠杆轴承连接到第二连接区域，并且其相应的负载臂通过借助于施加的中间元件（31,33,36）的铰接而连接到第一连接区域 到所说的关节。 调节装置（28,29）或致动器布置在杠杆的相应动力臂上。 在第一位置，第一连接区域和第二连接区域彼此相对布置，使得至少两个杠杆的杠杆轴承和与所述杠杆相关联的铰接件具有近似平行的旋转轴线，其大致位于 在一架飞机中处于第一位。

公开(公告)号：US06683318B1

公开(公告)日：2004-01-27

申请号：US09786698

申请日：2001-07-10

申请人： Thomas Haberer ,  Michael Kraemer ,  Gerhard Kraft ,  Wilma Kraft-Weyrather ,  Dieter Schardt ,  Michael Scholz ,  Ulrich Weber ,  Aleksiy Dolinski ,  Hartmut Eickhoff ,  Bernhard Franczak ,  Udo Krause ,  Juergen Klabunde ,  Ludwig Dahl ,  Marius Pavlovic ,  Ulrich Ratzinger ,  Bernhard Schlitt ,  Joerg Pawelke ,  Rainer Hinz ,  Wolfgang Enghardt

发明人： Thomas Haberer ,  Michael Kraemer ,  Gerhard Kraft ,  Wilma Kraft-Weyrather ,  Dieter Schardt ,  Michael Scholz ,  Ulrich Weber ,  Aleksiy Dolinski ,  Hartmut Eickhoff ,  Bernhard Franczak ,  Udo Krause ,  Juergen Klabunde ,  Ludwig Dahl ,  Marius Pavlovic ,  Ulrich Ratzinger ,  Bernhard Schlitt ,  Joerg Pawelke ,  Rainer Hinz ,  Wolfgang Enghardt

IPC分类号： A61N501

CPC分类号： A61N5/1079 ,  A61N5/10 ,  A61N5/1043 ,  A61N5/1081 ,  A61N2005/1052 ,  A61N2005/1087 ,  G21K5/10

摘要： An ion beam therapy system and method for operating the system includes a source of ions (300), an accelerator system (400) and an ion beam transport system (60) for directing an ion beam to a plurality of treatment stations (100) to treat patients. The ion beam transport system (60) includes a gantry (8) carrying a vertical deflection system (45) and horizontal deflection system (55) positioned upstream from a last bending magnet (65) so as to provide a parallel scanning mode by an edge focusing effect.

摘要翻译： 用于操作该系统的离子束治疗系统和方法包括离子源（300），加速器系统（400）和离子束传输系统（60），用于将离子束引导到多个处理站（100）至 治疗病人。 离子束输送系统（60）包括承载垂直偏转系统（45）的台架（8）和位于最后弯曲磁体（65）上游的水平偏转系统（55），以便通过边缘 聚焦效果。

公开(公告)号：US5367000A

公开(公告)日：1994-11-22

申请号：US186189

申请日：1994-01-24

申请人： Rolf Wiedermann ,  Stephan Wendel ,  Ulrich Weber

发明人： Rolf Wiedermann ,  Stephan Wendel ,  Ulrich Weber

IPC分类号： C08G18/08 ,  C08G18/00 ,  C08G18/79 ,  C08G101/00 ,  C08J9/02 ,  C08J9/14

CPC分类号： C08J9/141 ,  C08J2375/04

摘要： Rigid foams containing urethane and isocyanurate groups are obtained by using of mixtures of i) n-pentane and/or isopentane and ii) cyclopentane as blowing agents.

摘要翻译： 通过使用i）正戊烷和/或异戊烷和ii）环戊烷作为发泡剂的混合物获得含有氨基甲酸酯和异氰脲酸酯基团的刚性泡沫。

公开(公告)号：US08351139B2

公开(公告)日：2013-01-08

申请号：US12708034

申请日：2010-02-18

申请人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Dirk Schaffer

发明人： Jens Kugler ,  Ulrich Weber ,  Dirk Schaffer

IPC分类号： G02B7/02

CPC分类号： G02B7/02 ,  G02B7/021 ,  G03F7/70825

摘要： An optical element module is provided. The optical module includes an optical element unit that includes an optical element and a support structure that supports the optical element unit. The support structure includes a support device and a contact device mounted to the support device. The contact device exerts a force on the optical element unit in a first direction via a first contact surface of the contact device. The first contact surface contacts a second contact surface of the optical element unit. The contact device includes a first linking section and a second linking section extending along a second direction running transverse to the first direction and arranged kinematically in series between the first contact surface and the support device. The first linking section and the second linking section are elastically deformed in response to a bending moment resulting from the force. The first linking section and the second linking section are arranged on opposite sides of a reference plane. The reference plane includes the force and runs transverse to the second direction.

摘要翻译： 提供了一种光学元件模块。 光学模块包括光学元件单元，其包括光学元件和支撑光学元件单元的支撑结构。 支撑结构包括支撑装置和安装到支撑装置的接触装置。 接触装置经由接触装置的第一接触面沿第一方向在光学元件单元上施加力。 第一接触表面接触光学元件单元的第二接触表面。 接触装置包括第一连接部分和第二连接部分，该第二连接部分沿着横向于第一方向的第二方向延伸并且在运动学上串联布置在第一接触表面和支撑装置之间。 第一连接部分和第二连接部分响应于由力产生的弯矩而弹性变形。 第一连接部分和第二连接部分布置在参考平面的相对侧上。 参考平面包括力并横向于第二方向延伸。