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公开(公告)号：US6122963A
公开(公告)日：2000-09-26
申请号：US235731
申请日：1999-01-22
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125
摘要： An electronic component includes a support substrate (101), a fixed electrode (113) overlying the support substrate (101), a movable electrode (123, 423) overlying the support substrate and the first electrode (113) wherein the first and second electrodes (113, 123, and 423) form a capacitor with a sensing area, an anchor (122, 422) coupled to the support substrate (101), and beams (125, 425) coupling different attachment points (129) of the second electrode (123, 423) to the anchor (122, 422) wherein the different attachment points (129) form a simply connected polygon and wherein a portion of the sensing area is located within the simply connected polygon.
摘要翻译： 电子部件包括支撑基板（101），覆盖支撑基板（101）的固定电极（113），覆盖支撑基板的可动电极（123,423）和第一电极（113），其中第一和第二电极 （113,123和423）形成具有感测区域的电容器，耦合到支撑衬底（101）的锚固件（122,422）和耦合第二电极的不同连接点（129）的梁（125,425） （123,423）到锚定器（122,422），其中不同的附接点（129）形成简单连接的多边形，并且其中感测区域的一部分位于简单连接的多边形内。
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公开(公告)号：US5888412A
公开(公告)日：1999-03-30
申请号：US610033
申请日：1996-03-04
CPC分类号： G01L9/0042
摘要： A sculptured diaphragm of a sensor is fabricated by providing a semiconductor material, forming at least one cavity on the front side of the semiconductor material, forming a diaphragm layer over the semiconductor material, and the etching a cavity on the back side of the semiconductor material. If a sensor having a diaphragm with a central boss is desired, then the diaphragm layer is planarized to form a thick and a thin portion in the diaphragm layer.
摘要翻译： 通过提供半导体材料制造传感器的雕刻隔膜，在半导体材料的正面上形成至少一个空腔，在半导体材料上形成隔膜层，并且蚀刻半导体材料背面的空腔 。 如果需要具有带有中心凸台的隔膜的传感器，则隔膜层被平坦化以在隔膜层中形成厚而薄的部分。
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公开(公告)号：US08555719B2
公开(公告)日：2013-10-15
申请号：US13012643
申请日：2011-01-24
申请人： Andrew C. McNeil , Gary G. Li
发明人： Andrew C. McNeil , Gary G. Li
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0831 , G01P2015/086
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (40) includes a substrate (46) and a suspension anchor (54) formed on a planar surface (48) of the substrate (46). A first folded torsion spring (58) and a second folded torsion spring (60) interconnect the movable element (56) with the suspension anchor (54) to suspend the movable element (56) above the substrate (46). The folded torsion springs (58, 60) are each formed from multiple segments (76) that are linked together by bar elements (78) in a serpentine fashion. The folded torsion springs (58, 60) have an equivalent shape and are oriented relative to one another in rotational symmetry about a centroid (84) of the suspension anchor (54).
摘要翻译： 微机电系统（MEMS）传感器（40）包括形成在基板（46）的平面（48）上的基板（46）和悬挂锚（54）。 第一折叠扭簧（58）和第二折叠扭簧（60）将可移动元件（56）与悬挂锚固件（54）相互连接，以将可移动元件（56）悬置在基板（46）上方。 折叠的扭转弹簧（58,60）各自由多个段（76）形成，所述多个段（76）通过杆元件（78）以蛇形方式连接在一起。 折叠的扭转弹簧（58,60）具有等效的形状并且相对于彼此以悬挂锚定件（54）的重心（84）为中心的旋转对称定向。
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公开(公告)号：US07005193B2
公开(公告)日：2006-02-28
申请号：US10426148
申请日：2003-04-29
申请人： Andrew C. McNeil , Gary Li , Gary J. O'Brien
发明人： Andrew C. McNeil , Gary Li , Gary J. O'Brien
CPC分类号： B81B3/0078 , B81B2201/025 , G01P15/08 , G01P15/0802 , G01P15/0888 , G01P2015/0814 , Y10T428/24917
摘要： A proof mass (11) for a MEMS device is provided herein. The proof mass comprises a base (13) comprising a semiconductor material, and at least one appendage (15) adjoined to said base by way of a stem (21). The appendage (15) comprises a metal (17) or other such material that may be disposed on a semiconductor material (19). The metal increases the total mass of the proof mass (11) as compared to a proof mass of similar dimensions made solely from semiconductor materials, without increasing the size of the proof mass. At the same time, the attachment of the appendage (15) by way of a stem (21) prevents stresses arising from CTE differentials in the appendage from being transmitted to the base, where they could contribute to temperature errors.
摘要翻译： 本文提供了用于MEMS器件的检测质量（11）。 检测质量块包括一个包括半导体材料的基底（13）和至少一个通过杆（21）与所述底座邻接的附属物（15）。 附件（15）包括可以设置在半导体材料（19）上的金属（17）或其他这样的材料。 与仅由半导体材料制成的类似尺寸的检验质量相比，金属与总体质量（11）相比增加，而不增加检测质量。 同时，通过杆（21）附接附件（15）可防止附件中产生的CTE差异的应力传输到基座，在那里它们可能导致温度误差。
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公开(公告)号：US09103705B2
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：US13406439
申请日：2012-02-27
申请人： Dubravka Bilic , Andrew C. McNeil
发明人： Dubravka Bilic , Andrew C. McNeil
CPC分类号： G01D21/02 , G01D1/00 , G01L11/025 , G01L19/14 , G01L2019/0053 , G01N19/10
摘要： A combination sensor and corresponding method of measuring a plurality of environmental parameters uses a pressure sensor disposed on an integrated circuit die; a humidity sensor disposed on the integrated circuit die; and a circuit coupled to and shared by the pressure sensor and the humidity sensor to facilitate pressure and humidity sensing.
摘要翻译： 组合传感器和测量多个环境参数的相应方法使用设置在集成电路管芯上的压力传感器; 设置在集成电路管芯上的湿度传感器; 以及耦合到压力传感器和湿度传感器并共享的电路，以便于压力和湿度感测。
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公开(公告)号：US08539836B2
公开(公告)日：2013-09-24
申请号：US13012671
申请日：2011-01-24
申请人： Andrew C. McNeil
发明人： Andrew C. McNeil
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0831 , G01P2015/0837
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (20) includes a substrate (26) and suspension anchors (34, 36) formed on a planar surface (28) of the substrate (26). The MEMS sensor (20) further includes a first movable element (38) and a second movable element (40) suspended above the substrate (26). Compliant members (42, 44) interconnect the first movable element (38) with the suspension anchor 34 and compliant members (46, 48) interconnect the second movable element (40) with the suspension anchor (36). The movable elements (38, 40) have an equivalent shape. The movable elements may be generally rectangular movable elements (38, 40) or L-shaped movable elements (108, 110) in a nested configuration. The movable elements (38, 40) are oriented relative to one another in rotational symmetry about a point location (94) on the substrate (26).
摘要翻译： 微机电系统（MEMS）传感器（20）包括衬底（26）和形成在衬底（26）的平坦表面（28）上的悬挂锚固件（34,36）。 MEMS传感器（20）还包括悬挂在衬底（26）上方的第一可移动元件（38）和第二可移动元件（40）。 第一可移动元件（38）与悬挂锚固件34相互连接的合规构件（42,44）以及将第二可移动元件（40）与悬挂锚固件（36）相互连接的顺应构件（46,48）。 可移动元件（38,40）具有等效的形状。 可移动元件可以是嵌套构造的大致为矩形的可移动元件（38,40）或L形可移动元件（108,110）。 可移动元件（38,40）相对于彼此以关于基底（26）上的点位置（94）的旋转对称的方式定向。
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公开(公告)号：US20120186346A1
公开(公告)日：2012-07-26
申请号：US13012643
申请日：2011-01-24
申请人： Andrew C. McNeil , Gary G. Li
发明人： Andrew C. McNeil , Gary G. Li
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0831 , G01P2015/086
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (40) includes a substrate (46) and a suspension anchor (54) formed on a planar surface (48) of the substrate (46). A first folded torsion spring (58) and a second folded torsion spring (60) interconnect the movable element (56) with the suspension anchor (54) to suspend the movable element (56) above the substrate (46). The folded torsion springs (58, 60) are each formed from multiple segments (76) that are linked together by bar elements (78) in a serpentine fashion. The folded torsion springs (58, 60) have an equivalent shape and are oriented relative to one another in rotational symmetry about a centroid (84) of the suspension anchor (54).
摘要翻译： 微机电系统（MEMS）传感器（40）包括形成在基板（46）的平面（48）上的基板（46）和悬挂锚（54）。 第一折叠扭簧（58）和第二折叠扭簧（60）将可移动元件（56）与悬挂锚固件（54）相互连接，以将可移动元件（56）悬置在基板（46）上方。 折叠的扭转弹簧（58,60）各自由多个段（76）形成，所述多个段（76）通过杆元件（78）以蛇形方式连接在一起。 折叠的扭转弹簧（58,60）具有等效的形状并且相对于彼此以悬挂锚定件（54）的重心（84）为中心的旋转对称定向。
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公开(公告)号：US20090293617A1
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：US12130702
申请日：2008-05-30
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2203/0136 , G01P1/006 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0814 , G01P2015/082
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (52) includes a substrate (62) a movable element (58) spaced apart from the substrate (62), suspension anchors (66, 68, 70, 72) formed on the substrate (62), and compliant members (74) interconnecting the movable element (58) with the suspension anchors. The MEMS sensor (52) further includes fixed fingers (76) and fixed finger anchors (78) attaching the fixed fingers (76) to the substrate (62). The movable element (58) includes openings (64). At least one of the suspension anchors resides in at least one of the multiple openings (64) and pairs (94) of the fixed fingers (76) reside in other multiple openings (64). The MEMS sensor (52) is symmetrically formed, and a location of the fixed finger anchors (78) defines an anchor region (103) within which the suspension anchors (66, 68, 70, 72) are positioned.
摘要翻译： 微机电系统（MEMS）传感器（52）包括基板（62），与基板（62）间隔开的可移动元件（58），形成在基板（62）上的悬挂锚固件（66,68,70,72） 以及将可移动元件（58）与悬挂锚固件互连的柔性构件（74）。 MEMS传感器（52）还包括将固定指状物（76）附接到基底（62）的固定指状物（76）和固定指状锚（78）。 可移动元件（58）包括开口（64）。 悬挂锚中的至少一个驻留在多个开口（64）中的至少一个中，固定指状物（76）的对（94）位于其它多个开口（64）中。 MEMS传感器（52）对称地形成，并且固定指状物锚定件（78）的位置限定了锚定区域（103），悬挂锚固件（66,68,70,72）定位在锚定区域内。
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49.发明授权公开(公告)号：US07528468B2
公开(公告)日：2009-05-05
申请号：US11526971
申请日：2006-09-25
IPC分类号： H01L23/552
CPC分类号： G01L9/0073 , H01L27/0629 , H01L27/0805
摘要： A capacitor assembly (82) is formed on a substrate (20). The capacitor assembly a first conductive plate (38) and a second conductive plate (60) formed over the substrate such that the second conductive plate is separated from the first conductive plate by a distance. A conductive trace (40) is formed over the substrate that is connected to the first conductive plate and extends away from the capacitor assembly. A conductive shield (62) is formed over at least a portion of the conductive trace that is separated from the first and second conductive plates to control a fringe capacitance between the second conductive plate and the conductive trace.
摘要翻译： 电容器组件（82）形成在衬底（20）上。 所述电容器组件形成在所述基板上方的第一导电板（38）和第二导电板（60），使得所述第二导电板与所述第一导电板分离一定距离。 导电迹线（40）形成在衬底上，其连接到第一导电板并且远离电容器组件延伸。 导电屏蔽（62）形成在导电迹线的至少一部分上，其与第一和第二导电板分离，以控制第二导电板和导电迹线之间的边缘电容。
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公开(公告)号：US07487661B2
公开(公告)日：2009-02-10
申请号：US11580419
申请日：2006-10-11
申请人： Akihiro Ueda , Andrew C. McNeil
发明人： Akihiro Ueda , Andrew C. McNeil
IPC分类号： G01P15/125 , G01P21/00
CPC分类号： G01P21/00 , G01P15/0891 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082 , G01P2015/0831 , G11B19/043
摘要： A transducer (20) includes a movable element (24), a self-test actuator (22), and a sensing element (56, 58). The sensing element (56, 58) detects movement of the movable element (24) from a first position (96) to a second position (102) along an axis perpendicular to a plane of the sensing element (56, 58). The second position (102) results in an output signal (82) that simulates a free fall condition. A method (92) for testing a protection feature of a device (70) having the transducer (20) entails moving the movable element (24) to the first position (102) to produce a negative gravitational force detectable at the sensing element (56, 68), applying a signal (88) to the actuator (22) to move the movable element (24) to the second position (102) by the electrostatic force (100) , and ascertaining an enablement of the protection feature in response to the simulated free fall.
摘要翻译： 传感器（20）包括可移动元件（24），自检致动器（22）和感测元件（56,58）。 感测元件（56,58）沿着垂直于感测元件（56,58）的平面的轴线检测可动元件（24）从第一位置（96）到第二位置（102）的移动。 第二位置（102）产生模拟自由落体状态的输出信号（82）。 用于测试具有换能器（20）的装置（70）的保护特征的方法（92）需要将可移动元件（24）移动到第一位置（102）以产生在感测元件（56）处可检测到的负重力 ，68），通过静电力（100）将信号（88）施加到致动器（22）以将可移动元件（24）移动到第二位置（102），并且确定响应于 模拟自由落体。
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