公开(公告)号：US20120129101A1

公开(公告)日：2012-05-24

申请号：US13303423

申请日：2011-11-23

申请人： Osamu Onishi ,  Haruo Ikeda ,  Larry F. Rhodes ,  Pramod Kandanarachchi

发明人： Osamu Onishi ,  Haruo Ikeda ,  Larry F. Rhodes ,  Pramod Kandanarachchi

IPC分类号： G03F7/20 ,  G03F7/075 ,  G03F7/027 ,  G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0382 ,  C08F222/06 ,  C08F232/08 ,  G03F7/0233 ,  G03F7/0395

摘要： Polymers and compositions for forming self-imageable films encompassing such polymers that encompass norbornene-type repeating unit having at least one phenolic functionality and maleic anhydride-type repeating unit, which can be formulated to be either positive tone imaging or negative tone imaging. The films formed thereby are useful as self-imageable layers in the manufacture of microelectronic, such as semiconductor, and optoelectronic devices.

摘要翻译： 用于形成包含包含具有至少一个酚官能度的降冰片烯型重复单元和马来酸酐型重复单元的聚合物的聚合物和组合物，其可被配制为正色调成像或负色调成像。 由此形成的膜可用作微电子制造中的自可成像层，例如半导体和光电器件。

公开(公告)号：US20120056183A1

公开(公告)日：2012-03-08

申请号：US13223884

申请日：2011-09-01

申请人： David Christoph Mueller ,  Toby Cull ,  Pawel Miskiewicz ,  Miguel Carrasco-Orozco ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

发明人： David Christoph Mueller ,  Toby Cull ,  Pawel Miskiewicz ,  Miguel Carrasco-Orozco ,  Andrew Bell ,  Edmund Elce ,  Larry F. Rhodes ,  Kazuyoshi Fujita ,  Hendra Ng ,  Pramod Kandanarachchi ,  Steven Smith

IPC分类号： H01L29/786 ,  H01L21/336 ,  H01L29/04

CPC分类号： H01L51/052 ,  C08F32/04 ,  C08F232/00 ,  C08L45/00 ,  H01L51/0035 ,  H01L51/004 ,  H01L51/0043 ,  H01L51/0537 ,  H01L51/0541 ,  H01L51/0545 ,  H01L51/107

摘要： Embodiments in accordance with the present invention provide for the use of polycycloolefins in electronic devices and more specifically to the use of such polycycloolefins as gate insulator layers used in the fabrication of electronic devices, the electronic devices that encompass such polycycloolefin gate insulator and processes for preparing such polycycloolefin gate insulator layers and electronic devices encompassing such layers.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案提供了聚环烯烃在电子器件中的用途，更具体地说，涉及使用这种聚环烯烃作为用于制造电子器件的栅极绝缘体层，包括这种聚环烯烃栅极绝缘体的电子器件以及用于制备 这种多环烯烃栅极绝缘体层和包含这些层的电子器件。

公开(公告)号：US07875686B2

公开(公告)日：2011-01-25

申请号：US11204685

申请日：2005-08-16

申请人： Ramakrisha Ravikiran ,  Hendra Ng ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Linda Zhang ,  Dino Amoroso ,  Brian Knapp ,  Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes

发明人： Ramakrisha Ravikiran ,  Hendra Ng ,  Rajesh Raja Puthenkovilakom ,  Linda Zhang ,  Dino Amoroso ,  Brian Knapp ,  Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes

IPC分类号： C08F232/04 ,  C08F232/08 ,  C08K3/36 ,  C08F4/80

CPC分类号： C08K5/0091 ,  C08G61/06 ,  C08K3/36 ,  C08K5/5425 ,  C08L65/00 ,  C08L45/00

摘要： Polymeric compositions for semiconductor applications comprising 10 to 99 wt. % of norbornene-type cycloolefin monomers represented by one or more of Formula I(a), I(b), and optionally I(c) and/or I(d), 0.0005 to 0.5 wt. % of an addition polymerization procatalyst, and optionally: up to 0.5 wt. % of a cocatalyst, up to 59 wt. % of a crosslinking monomer, up to 50 wt. % of a viscosifier, up to 20 wt. % of a thixotropic additive(s), up to 80 wt. % of a filler, up to 10 wt. % of an antioxidant, and up to 0.6 wt. % of an antioxidant synergist, the total of the components of the formulation adding up to 100%. Such formulations are mass polymerized, or cured, to form polymeric compositions that have properties desirable for a variety of specific electronic, microelectronic, optoelectronic and micro-optoelectronic applications such as die attach adhesives, underfill materials, prepreg binders, encapsulants, protective layers, and other related applications.

摘要翻译： 用于半导体应用的聚合物组合物包含10至99wt。 由式I（a），I（b）和任选的I（c）和/或I（d）中的一种或多种表示的降冰片烯型环烯烃单体的百分比为0.0005至0.5wt。 ％的加成聚合前催化剂，以及任选地：至多0.5wt。 ％的助催化剂，高达59wt。 交联单体的％，至多50wt。 ％的增粘剂，高达20wt。 触变添加剂的％，至多80重量％ ％的填料，最多10wt。 ％的抗氧化剂，和高达0.6wt。 ％的抗氧化增效剂，配方的配方总量可达100％。 这样的制剂是大量聚合或固化的，以形成具有对于各种特定电子，微电子，光电子和微光电子应用所需的性质的聚合物组合物，例如芯片附着粘合剂，底部填充材料，预浸料粘合剂，密封剂，保护层和 其他相关应用。

公开(公告)号：US20110009578A1

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：US12838641

申请日：2010-07-19

申请人： Larry F. Rhodes ,  Steven Smith ,  Pramod Kandanarachchi ,  Chun Chang ,  Patrick Bradley

发明人： Larry F. Rhodes ,  Steven Smith ,  Pramod Kandanarachchi ,  Chun Chang ,  Patrick Bradley

IPC分类号： C08F4/26

CPC分类号： C08F4/70 ,  C08F2/38

摘要： A method of controlling the molecular weight of poly(cyclic) olefin (norbornene-type) polymers and activating the polymerization thereof with a single material is provided. Such method include adding a chain transfer/activating agent to a mixture of monomer(s), catalyst, solvent and an optional cocatalyst and polymerizing the mixture to form a polymer. It is shown that the amount of chain transfer/activating agent in the mixture can serve to control the molecular weight of the resulting polymer, its percent conversion or both, and in some embodiments the optical density of the resulting polymer.

摘要翻译： 提供了一种控制聚（环状）烯烃（降冰片烯型）聚合物的分子量并用单一材料活化其聚合的方法。 这种方法包括向单体，催化剂，溶剂和任选的助催化剂的混合物中加入链转移/活化剂并使混合物聚合以形成聚合物。 显示混合物中链转移/活化剂的量可用于控制所得聚合物的分子量，其转化百分率或两者，并且在一些实施方案中可用于所得聚合物的光密度。

公开(公告)号：US20080124651A1

公开(公告)日：2008-05-29

申请号：US11981617

申请日：2007-10-31

申请人： Larry F. Rhodes ,  Chun Chang ,  Leah J. Langsdorf ,  Howard A. Sidaway ,  Hiroshi Ito

发明人： Larry F. Rhodes ,  Chun Chang ,  Leah J. Langsdorf ,  Howard A. Sidaway ,  Hiroshi Ito

IPC分类号： G03F7/004

CPC分类号： G03F7/0395 ,  G03F7/30 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108

摘要： A photoresist composition encompassing a polymer having at least one polycyclic olefin repeat unit having a desired exo mole percent is provided, where the repeat unit is derived from a polycyclic olefin monomer having the desired exo mole percent. Such polymers having such repeat units having a desired exo mole percent offer control of differential dissolution rate and hence provide enhanced imaging properties. Exemplary monomers having a desired exo mole percent are also provided

摘要翻译： 提供了包含具有至少一个具有所需外摩尔百分数的多环烯烃重复单元的聚合物的光致抗蚀剂组合物，其中重复单元衍生自具有所需外摩尔百分数的多环烯烃单体。 具有所需外加摩尔百分比的这种重复单元的这种聚合物提供了差异溶解速率的控制，因此提供增强的成像性能。 还提供了具有所需外用摩尔百分数的示例性单体

公开(公告)号：US07087691B2

公开(公告)日：2006-08-08

申请号：US10614502

申请日：2003-07-07

申请人： Larry F. Rhodes ,  Larry Seger ,  Ayusman Sen ,  April Hennis Marchetti

发明人： Larry F. Rhodes ,  Larry Seger ,  Ayusman Sen ,  April Hennis Marchetti

IPC分类号： G03C1/492

CPC分类号： C08F32/08 ,  C08F4/80 ,  C08F20/12 ,  C08F232/08 ,  C08G61/08 ,  C08F2220/1825 ,  C08F220/14

摘要： Embodiments in accordance with the present invention encompass photo-imageable compositions that include polymers of acrylate-type monomers and norbornene-type monomers. In some embodiments a catalyst system comprising a cationic or a neutral Pd(II) dimer component having the formula (Allyl)Pd(P(R21)3) or (L′)[(L)Pd(R)(X)]2, respectively is employed to effect polymerization. In other embodiments a free radical or living free radical catalyst is employed to effect polymerization. At least one of the acrylate-type monomers and norbornene-type monomers of the polymer embodiments of the present invention encompass an acid labile moiety. Some polymer embodiments of the present invention include more than one type of acrylate-type monomer and norbornene-type monomer. Embodiments of the present invention include forming a patterned layer on a substrate and some embodiments include transferring the patterned structure to a material layer first formed on the substrate.

摘要翻译： 根据本发明的实施方案包括可包含丙烯酸酯类单体和降冰片烯型单体的聚合物的光可成像组合物。 在一些实施方案中，包含具有式（烯丙基）Pd（P（R 21）3））的阳离子或中性Pd（II）二聚体组分的催化剂体系或（L '）[（L）Pd（R）（X）] 2 N 2分别用于进行聚合。 在其它实施方案中，使用自由基或活性自由基催化剂来进行聚合。 本发明的聚合物实施方案中的至少一种丙烯酸酯类单体和降冰片烯型单体包括酸不稳定部分。 本发明的一些聚合物实施方案包括多于一种类型的丙烯酸酯型单体和降冰片烯型单体。 本发明的实施例包括在衬底上形成图案化层，并且一些实施例包括将图案化结构转移到首先形成在衬底上的材料层。

公开(公告)号：US06350832B1

公开(公告)日：2002-02-26

申请号：US09456780

申请日：1999-12-08

申请人： Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  John C. Fondran

发明人： Andrew Bell ,  Larry F. Rhodes ,  Brian L. Goodall ,  John C. Fondran

IPC分类号： C08F480

CPC分类号： C08F232/08 ,  C08F32/00 ,  C08F232/00

摘要： A catalyst system and a process for the bulk addition polymerization or of polycyclic olefins, such as norbornene, methylnorbornene, ethylnorbornene, butylnorbornene or hexylnorbornene, 1,2,3,4,4a,5,8,8a-octahydro-1,4:5,8-dimethanonapthalene, 5,5′-(1,2-ethanediyl)bisbicyclo[2.2.1]hept-2-ene, and 1,4,4a,4b,5,8,8a,8b-octahydro-1,4:5,8-dimethanobiphenylene are disclosed. The catalyst includes an organonickel or organopalladium transition metal procatalyst and an activator compound. Polymerization can be carried out in a reaction injection molding process to yield thermoplastic and thermoset molded polymeric articles possessing high glass transition temperatures.

摘要翻译： 催化剂体系和本体加成聚合方法或降冰片烯，甲基降冰片烯，乙基降冰片烯，丁基降冰片烯或己基降冰片烯等多环烯烃，1,2,3,4,4a，5,8,8a-八氢-1,4： 5,8-二甲基萘，5,5' - （1,2-乙二基）双双环[2.2.1]庚-2-烯和1,4,4a，4b，5,8,8a，8b-八氢-1 ，4：5,8-二甲基亚二苯基。 催化剂包括有机金属或有机钯过渡金属前催化剂和活化剂化合物。 可以在反应注射成型工艺中进行聚合以产生具有高玻璃化转变温度的热塑性和热固性模塑聚合物制品。