公开(公告)号：US07801415B2

公开(公告)日：2010-09-21

申请号：US12612503

申请日：2009-11-04

申请人： Wataru Ikeda ,  Tomoyuki Okada ,  Keiichi Tanaka ,  Masahiro Oashi

发明人： Wataru Ikeda ,  Tomoyuki Okada ,  Keiichi Tanaka ,  Masahiro Oashi

IPC分类号： H04N5/91

CPC分类号： H04N9/8205 ,  G11B20/0021 ,  G11B27/10 ,  G11B27/329 ,  G11B2020/1288 ,  G11B2220/213 ,  G11B2220/2541 ,  H04N5/765 ,  H04N5/775 ,  H04N5/85 ,  H04N9/8042 ,  H04N9/8063 ,  H04N9/8227

摘要： A BD-ROM contains PlayList information. The PlayList information defines a reproduction section for each of a plurality of AV Clips and contains MainPath information and SubPath information. The MainPath information specifies one of the AV Clips as the MainClip and defines a main reproduction section for the MainClip. The SubPath information specifies another one of the AV Clips as the SubClip and defines a sub-reproduction section to be synchronized with the main reproduction section for the SubClip. The BD-ROM contains those AV Clips specifies as SubClips while being correlated with EP_map. The EP_map correlates and indicates the entry time in the time axis of the SubClip with a plurality of entry positions in the SubClip.

摘要翻译： BD-ROM包含播放列表信息。 播放列表信息为多个AV剪辑中的每一个定义再现部分，并且包含MainPath信息和SubPath信息。 MainPath信息指定一个AV剪辑作为MainClip，并定义MainClip的主要复制部分。 子路径信息指定AV剪辑中的另一个作为子剪辑，并且定义要与子剪辑的主再现部分同步的子再现部分。 BD-ROM包含指定为子剪辑的AV剪辑，同时与EP_map相关。 EP_map在SubClip中与SubClip的时间轴上的多个入口位置相关并指示入口时间。

公开(公告)号：US20100141923A1

公开(公告)日：2010-06-10

申请号：US12525084

申请日：2008-01-25

申请人： Youichi Motomura ,  Toshiyuki Kono ,  Keiichi Tanaka

发明人： Youichi Motomura ,  Toshiyuki Kono ,  Keiichi Tanaka

IPC分类号： G03B27/58

CPC分类号： F16F15/02 ,  F16F2224/0275 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70766

摘要： There is provided a stage apparatus at low cost by constituting a counter mass constituting a movable portion of the stage apparatus at low cost.In a stage apparatus used for fabrication or for inspection, by fastening two pieces of first frames (1) and two pieces of second frames (2) by bolts in a positional relationship of making the first frames (1) and the second frames (2) respectively opposed to each other, a counter mass constituting a movable portion of the stage apparatus is constituted, by attaching ceramic-made air pads (4) to air pad attaching faces respectively formed at upper faces and lower faces of two pieces of the first frames (1) on both sides in a length direction, four air bearings are constituted at four corners of the counter mass of the stage apparatus, and the counter mass is floated up by the four air bearings.

摘要翻译： 通过以低成本构成构成舞台装置的可动部分的计数器块，以低成本提供了舞台装置。 在用于制造或检查的平台装置中，通过以使第一框架（1）和第二框架（2）的位置关系用螺栓紧固两个第一框架（1）和两个第二框架（2） ），通过将陶瓷制的气垫（4）附接到分别形成在两个第一部分的两个第一部分的上表面和下表面上的气垫安装面，构成台架装置的可移动部分的反质量块 在长度方向两侧的框架（1）中，四个空气轴承构成在平台装置的反质量块的四个角处，并且对质量由四个空气轴承浮起。

公开(公告)号：US20100046921A1

公开(公告)日：2010-02-25

申请号：US12609137

申请日：2009-10-30

申请人： Keiichi Tanaka ,  Masahiro Oashi ,  Tomokazu Kanamaru

发明人： Keiichi Tanaka ,  Masahiro Oashi ,  Tomokazu Kanamaru

IPC分类号： H04N7/00 ,  H04N5/00

CPC分类号： G11B20/10 ,  G11B27/034 ,  G11B27/105 ,  G11B27/11 ,  G11B27/329 ,  G11B27/34 ,  G11B2220/213 ,  G11B2220/2541 ,  H04N5/85

摘要： When a plurality of AVClips recorded on a BD-ROM and Local Storage 18 constitute one stream sequence, a Playback Control Engine 32 starts playback if at least one AVClip of the stream sequence is in an enable status, even when the stream sequence also includes an AVClip which is in a disable status. While one AVClip is being played back, a Virtual FileSystem unit 38 changes a remaining AVClip to the enable status of being recognizable by the Playback Control Engine 32 or the disable status of being unrecognizable by the Playback Control Engine 32, according to a method call by an application.

摘要翻译： 当记录在BD-ROM和本地存储器18上的多个AVClip构成一个流序列时，如果流序列的至少一个AVClip处于使能状态，则回放控制引擎32即使当流序列也包括 处于禁用状态的AVClip。 当一个AVClip正在被回放时，虚拟文件​​系统单元38将剩余的AVClip改变为可由播放控制引擎32识别的启用状态或者由播放控制引擎32无法识别的禁用状态，根据方法调用 一个应用程序。

公开(公告)号：US20090114619A1

公开(公告)日：2009-05-07

申请号：US12094103

申请日：2006-11-17

申请人： Ryuji Sotoaka ,  Keiichi Tanaka ,  Tomoyuki Azuma

发明人： Ryuji Sotoaka ,  Keiichi Tanaka ,  Tomoyuki Azuma

IPC分类号： B44C1/22 ,  C23F1/08

CPC分类号： C23F1/02 ,  C23F1/18 ,  C23F1/38 ,  H01J9/025 ,  H01J9/148 ,  H01J31/127 ,  H01L21/32134 ,  H01L21/67086 ,  H01L21/67115

摘要： A fine pattern is formed on a surface of a processing object without using photoresist. A wet etching for the processing object in an area to which ultraviolet light is applied is performed by bringing a solution in which nitrous oxide (N2O) is dissolved into contact with the processing object and applying the ultraviolet light to the solution in a vicinity of an area to the processing object other than portions shielded with a mask whereupon a light shielding pattern is formed.

摘要翻译： 在不使用光致抗蚀剂的情况下，在加工对象的表面上形成精细图案。 在施加紫外线的区域中的处理对象的湿法蚀刻是通过使其中溶解有一氧化二氮（N 2 O）的溶液与处理对象接触并将紫外光施加到溶液附近的 除了形成有屏蔽图案的掩模之外的除了部分之外的处理对象的区域。

公开(公告)号：US20090015810A1

公开(公告)日：2009-01-15

申请号：US12206720

申请日：2008-09-08

申请人： Noriyuki Hirayanagi ,  Keiichi Tanaka

发明人： Noriyuki Hirayanagi ,  Keiichi Tanaka

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70783 ,  G03F9/7026 ,  G03F9/7034

摘要： A method to measure the height-direction position of a mask M in an exposure device having a function to irradiate the mask M with light emitted from a light source and transfer a pattern formed on the mask M onto a photosensitive substrate such as a wafer by a projection optical system, a mask surface height-direction position measurement method characterized by moving, before measuring the height-direction position of the mask M, an exposure area defining member 1 which is installed between the mask M and the projection optical system and defines an exposure area at the time of exposure.

摘要翻译： 一种用于测量具有从光源发出的光照射掩模M的功能的曝光装置中的掩模M的高度方向位置的方法，并且将形成在掩模M上的图案转印到诸如晶片的感光基板上， 投影光学系统，掩模表面高度方向位置测量方法，其特征在于在测量掩模M的高度方向位置之前移动曝光区域限定部件1，该曝光区域限定部件1安装在掩模M和投影光学系统之间并且限定 曝光时的曝光区域。

公开(公告)号：US07433017B2

公开(公告)日：2008-10-07

申请号：US11312389

申请日：2005-12-21

申请人： Noriyuki Hirayanagi ,  Keiichi Tanaka

发明人： Noriyuki Hirayanagi ,  Keiichi Tanaka

IPC分类号： G03B27/42

CPC分类号： G03F7/70358 ,  G03F7/70783 ,  G03F9/7026 ,  G03F9/7034

摘要： A method to measure the height-direction position of a mask M in an exposure device having a function to irradiate the mask M with light emitted from a light source and transfer a pattern formed on the mask M onto a photosensitive substrate such as a wafer by a projection optical system, a mask surface height-direction position measurement method characterized by moving, before measuring the height-direction position of the mask M, an exposure area defining member 1 which is arranged between the mask M and the projection optical system and defines an exposure area at the time of exposure.

摘要翻译： 一种用于测量具有从光源发出的光照射掩模M的功能的曝光装置中的掩模M的高度方向位置的方法，并且将形成在掩模M上的图案转印到诸如晶片的感光基板上， 投影光学系统，掩模表面高度方向位置测量方法，其特征在于在测量掩模M的高度方向位置之前移动曝光区域限定部件1，曝光区域限定部件1布置在掩模M和投影光学系统之间并且限定 曝光时的曝光区域。

公开(公告)号：US20080145031A1

公开(公告)日：2008-06-19

申请号：US10597614

申请日：2005-06-02

申请人： Keiichi Tanaka ,  Masahiro Oashi ,  Hidetaka Ohto ,  Hiroaki Iwamoto

发明人： Keiichi Tanaka ,  Masahiro Oashi ,  Hidetaka Ohto ,  Hiroaki Iwamoto

IPC分类号： H04N7/26

CPC分类号： H04N5/783 ,  G11B27/005 ,  G11B27/10 ,  G11B27/11 ,  G11B27/34 ,  G11B2220/2541 ,  H04N5/85 ,  H04N9/7921 ,  H04N9/8042 ,  H04N9/8205

摘要： A playback device plays back a digital stream and executes an application. A Java™ module 414 is a platform unit, executes the application, and performs playback control based on a result of the execution. When performing this playback, the playback device has a plurality of real parameters specific to the playback device, for the playback control. The Java™ module 414 provides a function using a real parameter to the application, in response to a method call from the application.

摘要翻译： 播放设备播放数字流并执行应用。 Java TM模块414是平台单元，执行应用，并且基于执行结果执行重放控制。 当进行该播放时，回放装置具有多个对回放装置特有的实际参数，用于重放控制。 响应于来自应用的方法调用，Java TM模块414向应用程序提供使用实参的功能。

公开(公告)号：US20080047577A1

公开(公告)日：2008-02-28

申请号：US11849857

申请日：2007-09-04

申请人： Hideto Goto ,  Kenji Furusawa ,  Satoshi Joya ,  Ryuji Sotoaka ,  Keiichi Tanaka ,  Yoshiya Kimura ,  Tomoyuki Azuma

发明人： Hideto Goto ,  Kenji Furusawa ,  Satoshi Joya ,  Ryuji Sotoaka ,  Keiichi Tanaka ,  Yoshiya Kimura ,  Tomoyuki Azuma

IPC分类号： B08B3/12

CPC分类号： B08B7/0035 ,  B08B3/10 ,  H01L21/02052 ,  H01L21/67051 ,  H01L21/67115

摘要： A substrate cleaning device includes a rotating table that rotatably holds a silicon substrate. A light irradiation device is capable of irradiating at least a portion of a surface of the held silicon substrate with light. A nozzle is capable of selectively supplying at least N2O water and a hydrofluoric acid solution onto the substrate. A control unit controls the supply of the light irradiation device and the nozzle and enables light irradiation by the light irradiation device when the N2O water is supplied onto the silicon substrate.

摘要翻译： 一种基板清洁装置，包括可旋转地保持硅基板的旋转台。 光照射装置能够用光照射被保持的硅衬底的表面的至少一部分。 喷嘴能够选择性地将至少N 2 O 2 O水和氢氟酸溶液供应到基底上。 控制单元控制光照射装置和喷嘴的供给，并且当N 2 O 2水被供应到硅基板上时，能够通过光照射装置进行光照射。

公开(公告)号：US20070273860A1

公开(公告)日：2007-11-29

申请号：US11712243

申请日：2007-02-27

申请人： Keiichi Tanaka

发明人： Keiichi Tanaka

IPC分类号： G03B27/58

CPC分类号： G03F7/70858 ,  G03F7/70716 ,  G03F7/70758 ,  H01L21/67109

摘要： Movable-body apparatus, notably configured as stages, are disclosed that include at least one movable body and at least one respective actuator. The actuator drives the movable body in the direction of at least one axis in a predetermined plane. A waste-heat member is situated in a non-contacting manner with the movable body. The waste-heat member absorbs heat radiated from the movable body. Thus, adverse thermal influences of the movable body are suppressed without a need to connect a coolant conduit to the movable body, which eliminates decreases in movement accuracy conventionally caused by tension of such a conduit on the movable body.

摘要翻译： 公开了包括至少一个可移动体和至少一个相应的致动器的可移动体装置，特别地构造为阶段。 致动器沿预定平面中的至少一个轴线的方向驱动可移动体。 废热构件以与移动体非接触的方式设置。 废热部件吸收从可移动体辐射的热量。 因此，可以抑制可移动体的不利的热影响，而不需要将冷却剂导管连接到可移动体，这消除了通常由可移动体上的这种导管的张力引起的移动精度的降低。

公开(公告)号：US07279270B2

公开(公告)日：2007-10-09

申请号：US10779795

申请日：2004-02-18

申请人： Keiichi Tanaka ,  Satoru Kishimoto

发明人： Keiichi Tanaka ,  Satoru Kishimoto

IPC分类号： G03F7/26

CPC分类号： G02B5/223 ,  B41J2202/09 ,  G02B5/201

摘要： A color filter includes a black matrix and a color section. The black matrix has a plurality of partition sections extended alongside each other with a gap region therebetween. The color section is in a gap region of the black matrix. The color section is formed by applying a film material into the gap region of the black matrix by the ink-jet method, and then curing the film material thus applied. The black matrix has a protrusion section by which the gap region is partially narrowed. In applying the film material, the protrusion section functions as a barrier against the film material flowing, in the gap region. This prevents color mixing and uneven color density while maintaining high productivity.

摘要翻译： 滤色器包括黑色矩阵和颜色部分。 黑矩阵具有多个彼此间隔开间隔的分隔部。 颜色部分在黑矩阵的间隙区域中。 通过喷墨法将薄膜材料涂覆到黑色基体的间隙区域中，然后固化所施加的薄膜材料，形成彩色部分。 黑色矩阵具有突出部分，间隙区域通过该突出部分变窄。 在施加薄膜材料时，突出部分在间隙区域中用作阻挡膜材料流动的屏障。 这可以防止混色和不均匀的颜色浓度，同时保持高的生产率。