公开(公告)号：US5725746A

公开(公告)日：1998-03-10

申请号：US408022

申请日：1995-03-21

申请人： Eric R. Dickey ,  Erik J. Bjornard

发明人： Eric R. Dickey ,  Erik J. Bjornard

IPC分类号： C23C14/34 ,  C23C14/35 ,  H01J37/34

CPC分类号： C23C14/3407 ,  C23C14/3414 ,  H01J37/3405 ,  H01J2237/0206

摘要： A cathode body for a rotating cylindrical magnetron wherein the magnetron provides a sputtering zone extending along the length of the cathode body and circumferentially along a relatively narrow region thereof. The cathode body includes an elongated tubular member having a target material at the outer surface thereof. A collar of electrically-conductive material is located at at least one end of the tubular member, and extends along the tubular member from that one end into the erosion zone. A sleeve of electrically-conductive material may extend circumferentially around the collar.

公开(公告)号：US5270858A

公开(公告)日：1993-12-14

申请号：US755669

申请日：1991-09-06

申请人： Eric R. Dickey

发明人： Eric R. Dickey

IPC分类号： C03C17/34 ,  G02B1/11 ,  G02B1/10

CPC分类号： G02B1/116 ,  C03C17/3411 ,  G02B1/115

摘要： A multilayer antireflection coating designed for deposition in in-line coating machines by DC reactive sputtering. About half of the total thickness of the coating may be formed from zinc oxide which has a high sputtering rate. Conductive transparent materials including aluminum doped zinc oxide, antimony doped tin oxide, cadmium tin oxide, and indium tin oxide may be included in the coating.

摘要翻译： 一种多层抗反射涂层，设计用于通过直流反应溅射沉积在在线涂布机中。 涂层总厚度的大约一半可以由具有高溅射速率的氧化锌形成。 可以在涂层中包括导电透明材料，包括掺铝的氧化锌，掺锑的氧化锡，氧化镉锡和氧化铟锡。

公开(公告)号：US5156727A

公开(公告)日：1992-10-20

申请号：US596853

申请日：1990-10-12

申请人： Erik J. Bjornard ,  Michael J. Valiska ,  Clifford L. Taylor

发明人： Erik J. Bjornard ,  Michael J. Valiska ,  Clifford L. Taylor

IPC分类号： C23C14/04 ,  H01J37/34

CPC分类号： H01J37/32623 ,  C23C14/044 ,  H01J37/34

摘要： A mask arrangement is located between the cathode and substrate in an in-line sputtering system. The relative shape of the mask may be changed from outside the system. Thus, film thickness uniformity can be modified and controlled without interrupting the sputtering process.

摘要翻译： 掩模布置位于阴极和衬底之间的在线溅射系统中。 掩模的相对形状可以从系统外部改变。 因此，可以改变和控制膜厚均匀性而不中断溅射工艺。

公开(公告)号：US5147125A

公开(公告)日：1992-09-15

申请号：US398136

申请日：1989-08-24

申请人： R. Russel Austin

发明人： R. Russel Austin

IPC分类号： C03C17/34 ,  G02B1/11

CPC分类号： C03C17/3417 ,  C03C17/3452 ,  G02B1/115

摘要： A multilayer, thin-film, broad-band, anti-reflection structure applicable to transparent substrates. The present invention makes use of the UV absorption properties of zinc oxide to provide UV rejection for wavelengths shorter than 380 nm, while providing anti-reflection properties in the visible region of the spectrum. The structure provides a reflection value less than 0.25% in the visible region of the spectrum, and blocks 99 percent of UV radiation below 380 nm.

摘要翻译： 适用于透明基板的多层，薄膜，宽带，抗反射结构。 本发明利用氧化锌的紫外线吸收特性，为波长短于380nm的紫外线抑制，同时在光谱可见光区域提供抗反射性能。 该结构在光谱的可见光区域提供小于0.25％的反射值，并阻止低于380nm的99％的紫外线辐射。

公开(公告)号：US5105310A

公开(公告)日：1992-04-14

申请号：US595552

申请日：1990-10-11

申请人： Eric R. Dickey

发明人： Eric R. Dickey

IPC分类号： G02B5/28 ,  C03C17/34 ,  G02B1/11

CPC分类号： C03C17/3411 ,  G02B1/115 ,  G02B1/116

摘要： A multilayer antireflection coating designed for deposition in in-line coating machines by DC reactive sputtering. About half of the total thickness of the coating may be formed from zinc oxide which has a high sputtering rate.

摘要翻译： 一种多层抗反射涂层，设计用于通过直流反应溅射在直线涂布机中沉积。 涂层的总厚度的大约一半可以由具有高溅射速率的氧化锌形成。

公开(公告)号：US5768471A

公开(公告)日：1998-06-16

申请号：US567927

申请日：1995-12-06

申请人： William A. Meredith, Jr.

发明人： William A. Meredith, Jr.

IPC分类号： G01N21/55 ,  G01N21/89

CPC分类号： G01N21/55 ,  G01N21/89

摘要： An optical analyzer measuring the reflectivity of a moving article in an in-line sputtering deposition system. The optical analyzer includes a light source which provides a light beam. Light is reflected from an optical coating of a moving article into a concentrator, which captures and directs the reflected light to a detector. The analyzer may be mounted in an evacuable chamber in which the end walls have openings to allow passage of the article.

摘要翻译： 测量在线溅射沉积系统中的移动物品的反射率的光学分析仪。 光学分析仪包括提供光束的光源。 光从移动物品的光学涂层反射成聚光器，其将捕获并将反射光引导到检测器。 分析器可以安装在可抽空的室中，其中端壁具有开口以允许物品通过。

公开(公告)号：US5688389A

公开(公告)日：1997-11-18

申请号：US485214

申请日：1995-06-07

申请人： Erik J. Bjornard ,  Eric W. Kurman ,  Debra M. Steffenhagen ,  Clifford L. Taylor

发明人： Erik J. Bjornard ,  Eric W. Kurman ,  Debra M. Steffenhagen ,  Clifford L. Taylor

IPC分类号： G02B1/11 ,  B05D5/06 ,  C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  G02B1/10 ,  H01J9/20 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/042 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  C23C14/566 ,  C23C14/568 ,  H01J37/3411 ,  H01J9/20

摘要： A method, apparatus and carrier for coating a CRT screen after assembly. The method and apparatus includes isolating a surface portion of the CRT to be coated from the remaining surface to prevent or minimize coating problems resulting from outgassing or difficulty in controlling coating process parameters and to isolate noncompatible components from the deposition environment.

摘要翻译： 组装后用于涂覆CRT屏幕的方法，装置和载体。 所述方法和装置包括将待涂覆的CRT的表面部分与剩余表面隔离，以防止或最小化由排气引起的涂层问题或难以控制涂覆工艺参数并将不相容的组分与沉积环境分离。

公开(公告)号：US5571393A

公开(公告)日：1996-11-05

申请号：US295324

申请日：1994-08-24

申请人： Clifford L. Taylor ,  Daniel T. Crowley

发明人： Clifford L. Taylor ,  Daniel T. Crowley

IPC分类号： C23C14/34 ,  H01J37/34

CPC分类号： H01J37/3455 ,  C23C14/3407 ,  H01J37/3405

摘要： A magnetron cathode having a magnet housing which encloses a magnet array and has a cooling fluid passage therethrough. The magnet housing fills a significant portion of the cathode leaving a passage of relatively low cross-section for cooling fluid flow between the magnet housing and a cathode wall. The magnet housing may be hermetically sealed to prevent magnet corrosion and may be provided with rollers which engage the cathode wall to prevent magnet housing deformation due to magnetic forces.

摘要翻译： 一种磁控管阴极，其具有包围磁体阵列并具有穿过其中的冷却流体通道的磁体壳体。 磁体壳体填充阴极的重要部分，留下相对低的横截面的通道，用于在磁体壳体和阴极壁之间冷却流体流动。 磁体壳体可以被气密地密封以防止磁体腐蚀，并且可以设置有与阴极壁接合的辊，以防止磁体壳体由于磁力而变形。

公开(公告)号：US5567289A

公开(公告)日：1996-10-22

申请号：US285869

申请日：1994-08-04

申请人： Clifford L. Taylor ,  Daniel T. Crowley

发明人： Clifford L. Taylor ,  Daniel T. Crowley

IPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/35

CPC分类号： H01J37/3441 ,  H01J37/3405

摘要： A rotatable magnetron cathode having at least one supported end adapted for attachment to a spindle. At least one dark space shield is attached to the cathode at a supported end to rotate therewith, and is electrically floating relative to the cathode. If the cathode is cantilever mounted, a floating cone end shield, facing away from the gas discharge and not overlapping the cylindrical cathode wall, is used at the free end.

摘要翻译： 一种可旋转的磁控阴极，具有至少一个适于附接到主轴的支撑端。 至少一个暗空间屏蔽件在支撑端附接到阴极以与其一起旋转，并且相对于阴极电浮动。 如果阴极是悬臂安装的，则在自由端使用浮动锥形端盖，其背离气体排出并且不与圆柱形阴极壁重叠。

公开(公告)号：US5489369A

公开(公告)日：1996-02-06

申请号：US142638

申请日：1993-10-25

申请人： Erik J. Bjornard ,  Eric W. Kurman ,  Debra M. Steffenhagen

发明人： Erik J. Bjornard ,  Eric W. Kurman ,  Debra M. Steffenhagen

IPC分类号： G02B1/11 ,  B05D5/06 ,  C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  G02B1/10 ,  H01J9/20 ,  C23C16/00

CPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/042 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  C23C14/566 ,  C23C14/568 ,  H01J37/3411 ,  H01J9/20

摘要： A method and apparatus for coating a CRT screen after assembly. The method and apparatus includes isolating a surface portion of the CRT to be coated from the remaining surface to prevent or minimize coating problems resulting from outgassing and to isolate noncompatible components from the deposition environment.

摘要翻译： 组装后涂覆CRT屏幕的方法和装置。 该方法和装置包括将待涂覆的CRT的表面部分从剩余表面分离，以防止或最小化由脱气引起的涂层问题并将不相容的组分与沉积环境分离。