公开(公告)号：US20050233077A1

公开(公告)日：2005-10-20

申请号：US10515610

申请日：2003-05-09

申请人： Michael Lizenberg ,  Frank Lewi ,  Hartwig Muller ,  Klaus Vogel ,  Gregor Arnold ,  Stephan Behle ,  Andreas Luttinghaus-Henkel ,  Matthias Bicker ,  Jurgen Klein ,  Marten Walther

发明人： Michael Lizenberg ,  Frank Lewi ,  Hartwig Muller ,  Klaus Vogel ,  Gregor Arnold ,  Stephan Behle ,  Andreas Luttinghaus-Henkel ,  Matthias Bicker ,  Jurgen Klein ,  Marten Walther

IPC分类号： H05H1/46 ,  B05D7/24 ,  B08B7/00 ,  B08B9/42 ,  B29C49/42 ,  B65D1/00 ,  B65D23/02 ,  B65G29/00 ,  C03C17/00 ,  C08J9/00 ,  C23C14/04 ,  C23C14/50 ,  C23C14/56 ,  C23C16/04 ,  C23C16/40 ,  C23C16/44 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511 ,  C23C16/54 ,  C23C16/00

CPC分类号： C23C16/4409 ,  B05D1/62 ,  B08B7/00 ,  B08B9/426 ,  B29C49/421 ,  B29C2049/026 ,  B29C2049/027 ,  B29C2049/4221 ,  B29C2791/001 ,  B29K2077/00 ,  B29K2995/0067 ,  B65D23/02 ,  B65G29/00 ,  B65G2201/0244 ,  C08J9/0004 ,  C08J2300/14 ,  C23C14/046 ,  C23C14/505 ,  C23C14/56 ,  C23C16/045 ,  C23C16/401 ,  C23C16/455 ,  C23C16/458 ,  C23C16/50 ,  C23C16/511 ,  C23C16/54 ,  H01J37/32733

摘要： Disclosed are a method and a device for plasma treating workpieces (5). Said workpiece is inserted into a chamber (7) of a treatment station (3), which can be at least partly evacuated, and is positioned within the treatment station by means of a holding element. In order to simultaneously supply at least two chambers with at least one operating means, a flow of the operating means is branched at least once so as to form at least two partial flows (55).

摘要翻译： 公开了一种等离子体处理工件（5）的方法和装置。 所述工件被插入处理台（3）的腔室（7）中，其可被至少部分抽真空，并通过保持元件定位在处理站内。 为了同时供给具有至少一个操作装置的至少两个室，操作装置的流动至少分支一次以形成至少两个部分流（55）。