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    Method and apparatus for switching high frequency signals
    4.
    发明授权
    Method and apparatus for switching high frequency signals 有权
    用于切换高频信号的方法和装置

    公开(公告)号：US06391675B1

    公开(公告)日：2002-05-21

    申请号：US09394997

    申请日：1999-09-13

    申请人： John C. Ehmke ,  Charles L. Goldsmith ,  Zhimin J. Yao ,  Susan M. Eshelman

    发明人： John C. Ehmke ,  Charles L. Goldsmith ,  Zhimin J. Yao ,  Susan M. Eshelman

    IPC分类号： H01L2100

    CPC分类号： H01P1/127 ,  H01G5/16 ,  H01G5/40 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0018

    摘要： A switch includes a conductive region, a membrane, and a dielectric region. The dielectric region is formed from a dielectric material and is disposed between the membrane and the conductive region. When a sufficient voltage is applied between the conductive region and the membrane, a capacitive coupling between the membrane and the conductive region is effected. The dielectric material has a resistivity sufficiently low to inhibit charge accumulation in the dielectric region during operation of the switch.

    摘要翻译： 开关包括导电区域，膜和电介质区域。 电介质区域由电介质材料形成，并且设置在膜与导电区域之间。 当在导电区域和膜之间施加足够的电压时，实现膜与导电区域之间的电容耦合。 电介质材料具有足够低的电阻以在开关的操作期间阻止电介质区域中的电荷累积。

    Wafer level interconnection
    6.
    发明授权
    Wafer level interconnection 有权
    晶圆级互连

    公开(公告)号：US06633079B2

    公开(公告)日：2003-10-14

    申请号：US10241062

    申请日：2002-09-10

    申请人： James L. Cheever ,  Charles L. Goldsmith ,  John C. Ehmke ,  Billy D. Ables

    发明人： James L. Cheever ,  Charles L. Goldsmith ,  John C. Ehmke ,  Billy D. Ables

    IPC分类号： H01L2314

    CPC分类号： B81B7/0006 ,  H01L23/04 ,  H01L25/0657 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/0652 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2225/06586 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    摘要： RF MicroElectroMechanical Systems (MEMS) circuitry (15) on a first high resistivity substrate (17) is combined with circuitry (11) on a second low resistivity substrate (13) by overlapping the first high resistivity substrate (17) and MEMS circuitry (15) with the low resistivity substrate (13) and circuitry (11) with the MEMS circuitry (15) facing the second circuitry (11). A dielectric lid (19) is placed over the MEMS circuitry (15) and between the first substrate (17) and second substrate (13) with an inert gas in a gap (21) over the MEMS circuitry (15). Interconnecting conductors (25,31,35,37,39,41) extend perpendicular and through the high resistivity substrate (17) and through the dielectric lid (19) to make electrical connection with the low resistivity substrate (13).

    摘要翻译： 在第一高电阻率衬底（ 17 ）上的RF微电子机械系统（MEMS）电路（ 15 ）与电路 通过重叠第一高电阻率衬底（ ），在第二低电阻率衬底（ 13 ）上 11 ）和具有低电阻率衬底（ 13 ）的MEMS电路（ 15 ） 以及面向第二电路（ 11）的MEMS电路（ 15 ）的电路（ 11 ） ）。 将电介质盖（ 19 ）置于MEMS电路（ 15 ）之间，并在第一衬底（ 和<第二衬底（ 13 ）与间隙中的惰性气体（ 21 ）通过MEMS电路（ 15 ）。 互连导体（ 25,31,35,37,39,41 ）垂直延伸并穿过高电阻率衬底（ 17 ）并通过电介质盖（ 19 ）与低电阻率基板（ 13 ）进行电连接。 / PTEXT>

    Water level interconnection
    7.
    发明授权
    Water level interconnection 有权
    晶圆级互连

    公开(公告)号：US06512300B2

    公开(公告)日：2003-01-28

    申请号：US09756801

    申请日：2001-01-10

    申请人： James L. Cheever ,  Charles L. Goldsmith ,  John C. Ehmke ,  Billy D. Ables

    发明人： James L. Cheever ,  Charles L. Goldsmith ,  John C. Ehmke ,  Billy D. Ables

    IPC分类号： H01L2348

    CPC分类号： B81B7/0006 ,  H01L23/04 ,  H01L25/0657 ,  H01L2225/06517 ,  H01L2225/0652 ,  H01L2225/06572 ,  H01L2225/06586 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

    摘要： RF MicroElectroMechanical Systems (MEMs) circuitry(15) on a first high resistivity substrate (17)is combined with circuitry (11) onsecond low-resisitivity substrate (13) by overlapping the first high resisitivity substrate (17)and MEMs circuitry (15) with the low resisitivity substrate(13) and circuitry (11) with the MEMs circuitry (15)facing the second circuitry (11). A dielectric lid (19) is placed over the MEMs circuitry (15)and between the first substrate (17)and second substrate (13)with an inert gas in a gap (21)over the MEMs circuitry (15). Interconnecting conductors (25,31,35,37,39,41) extend perpendicular and through the high resistivity substrate (17)and through the dielectric lid (19) to make electrical connection with the low resisitivity substrate (13).

    摘要翻译： 第一高电阻率衬底（17）上的RF微电子机械系统（MEM）电路（15）通过与第一高电阻衬底（17）和MEM电路（15）重叠而与第二低电阻衬底（13）上的电路（11）组合， 其中低电阻衬底（13）和电路（11）与MEM电路（15）面对第二电路（11）。 电介质盖（19）通过MEMs电路（15）上的间隙（21）中的惰性气体放置在MEMs电路（15）上并且在第一衬底（17）和第二衬底（13）之间。 互连导体（25,31,35,37,39,41）垂直延伸穿过高电阻率基板（17）并穿过电介质盖（19）以与低电阻基板（13）电连接。

    Method and apparatus for switching high frequency signals
    8.
    发明授权
    Method and apparatus for switching high frequency signals 有权
    用于切换高频信号的方法和装置

    公开(公告)号：US06700172B2

    公开(公告)日：2004-03-02

    申请号：US10004666

    申请日：2001-12-04

    申请人： John C. Ehmke ,  Charles L. Goldsmith ,  Zhimin J. Yao ,  Susan M. Eshelman

    发明人： John C. Ehmke ,  Charles L. Goldsmith ,  Zhimin J. Yao ,  Susan M. Eshelman

    IPC分类号： H01L2982

    CPC分类号： H01P1/127 ,  H01G5/16 ,  H01G5/40 ,  H01H59/0009 ,  H01H2059/0018

    摘要： A switch includes a conductive region, a membrane, and a dielectric region. The dielectric region is formed from a dielectric material and is disposed between the membrane and the conductive region. When a sufficient voltage is applied between the conductive region and the membrane, a capacitive coupling between the membrane and the conductive region is effected. The dielectric material has a resistivity sufficiently low to inhibit charge accumulation in the dielectric region during operation of the switch.

    摘要翻译： 开关包括导电区域，膜和电介质区域。 电介质区域由电介质材料形成，并且设置在膜与导电区域之间。 当在导电区域和膜之间施加足够的电压时，实现膜与导电区域之间的电容耦合。 电介质材料具有足够低的电阻以在开关的操作期间阻止电介质区域中的电荷累积。

    Tunable cavity filters using electronically connectable pieces
    10.
    发明授权
    Tunable cavity filters using electronically connectable pieces 有权
    使用电子连接件的可调谐空腔滤波器

    公开(公告)号：US07456711B1

    公开(公告)日：2008-11-25

    申请号：US11270768

    申请日：2005-11-09

    申请人： Charles L. Goldsmith

    发明人： Charles L. Goldsmith

    IPC分类号： H01P1/208

    CPC分类号： H01P1/207 ,  H01P1/2016 ,  H01P7/06

    摘要： An apparatus and a method are provided for electronically tuning cavity filters. A tunable cavity comprises at least two pieces of material, such as metal plates or metal traces, and MEMS circuitry interconnecting the pieces of material. Multiple tunable cavities can be combined to create a tunable cavity filter. In one embodiment, a waveguide cavity filter comprises a metal insert attached to a substrate. At least two pieces of material and MEMS circuitry reside within the cavities produced by the metal insert. The MEMS circuitry can be controlled to connect or disconnect the pieces of material, which alters the electric and magnetic fields inside the cavities. In another embodiment, a MEMS positioner inside the cavity filter can physically deform or move a piece of material within the cavity. By altering the electric and magnetic fields within the cavities the resonant frequency of the cavity filter can be tuned.

    摘要翻译： 提供了一种用于电子调谐空腔滤波器的装置和方法。 可调谐腔包括至少两片材料，例如金属板或金属迹线，以及将电路片连接在一起的MEMS电路。 可以组合多个可调谐空腔以产生可调谐空腔滤波器。 在一个实施例中，波导腔滤波器包括附接到基板的金属插入件。 至少两块材料和MEMS电路位于由金属插入件产生的空腔内。 可以控制MEMS电路以连接或断开材料片，其改变空腔内的电场和磁场。 在另一个实施例中，空腔过滤器内部的MEMS定位器可以在空腔内物理地变形或移动一块材料。 通过改变空腔内的电场和磁场，可以调谐空腔滤波器的谐振频率。