公开(公告)号：US06963595B2

公开(公告)日：2005-11-08

申请号：US10356168

申请日：2003-01-31

申请人： John A. Rule ,  Richard C. Morton ,  Vladimir V. Fleurov ,  Fedor Trintchouk ,  Toshihiko Ishihara ,  Alexander I. Ershov ,  James A. Carmichael

发明人： John A. Rule ,  Richard C. Morton ,  Vladimir V. Fleurov ,  Fedor Trintchouk ,  Toshihiko Ishihara ,  Alexander I. Ershov ,  James A. Carmichael

IPC分类号： H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  H01S20060101 ,  H01S3/036 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08 ,  H01S3/134 ,  H01S3/22 ,  H01S3/223 ,  H01S3/225 ,  H01S3/23

CPC分类号： H01S3/225 ,  G03F7/70025 ,  H01S3/036 ,  H01S3/041 ,  H01S3/08009 ,  H01S3/09702 ,  H01S3/2258 ,  H01S3/2333

摘要： An automatic F2 laser gas control, for a modular high repetition rate ultraviolet gas discharge laser. The laser gas control includes techniques, monitors, and processor for monitoring the F2 consumption rates through the operating life of the laser system. These consumption rates are used by a processor programmed with an algorithm to determine F2 injections needed to maintain laser beam quality within a delivery range. Preferred embodiments include F2 controls for a two-chamber MOPA laser system.

摘要翻译： 用于模块化高重复率紫外线气体放电激光器的自动F 2激光气体控制。 激光气体控制包括技术，监视器和处理器，用于在激光系统的使用寿命期间监视F 2消耗率。 这些消耗速率由用算法编程的处理器用于确定在输送范围内保持激光束质量所需的F 2注射。 优选实施例包括用于两室MOPA激光系统的F 2控制。