公开(公告)号：US20120121857A1

公开(公告)日：2012-05-17

申请号：US13295652

申请日：2011-11-14

申请人： Akio Koike ,  Takahiro Mitsumori ,  Yasutomi Iwahashi ,  Tomonori Ogawa

发明人： Akio Koike ,  Takahiro Mitsumori ,  Yasutomi Iwahashi ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03C3/04 ,  B32B3/00 ,  C03B25/00

CPC分类号： C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24

摘要： The present invention relates to a process for production of a TiO2—SiO2 glass body, comprising a step of, when an annealing point of a TiO2—SiO2 glass body after transparent vitrification is taken as T1(° C.), holding the glass body after transparent vitrification in a temperature region of from T1−90(° C.) to T1−220(° C.) for 120 hours or more.

摘要翻译： 本发明涉及一种制备TiO 2 -SiO 2玻璃体的方法，包括以下步骤：当将透明玻璃化后的TiO 2 -SiO 2玻璃体的退火点作为T1（℃）时，将玻璃体 在从T1-90（℃）到T1-220（℃）的温度区域透明玻璃化120小时以上。

公开(公告)号：US08590342B2

公开(公告)日：2013-11-26

申请号：US13295652

申请日：2011-11-14

申请人： Akio Koike ,  Takahiro Mitsumori ,  Yasutomi Iwahashi ,  Tomonori Ogawa

发明人： Akio Koike ,  Takahiro Mitsumori ,  Yasutomi Iwahashi ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03B25/00 ,  C03B19/00

CPC分类号： C03B19/1453 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B32/00 ,  C03B2201/42 ,  C03C3/06 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/52 ,  G03F1/24

摘要： The present invention relates to a process for production of a TiO2—SiO2 glass body, comprising a step of, when an annealing point of a TiO2—SiO2 glass body after transparent vitrification is taken as T1(° C.), holding the glass body after transparent vitrification in a temperature region of from T1−90(° C.) to T1−220(° C.) for 120 hours or more.

摘要翻译： 本发明涉及一种制备TiO 2 -SiO 2玻璃体的方法，包括以下步骤：当将透明玻璃化后的TiO 2 -SiO 2玻璃体的退火点作为T1（℃）时，将玻璃体 在从T1-90（℃）到T1-220（℃）的温度区域透明玻璃化120小时以上。

公开(公告)号：US20120100341A1

公开(公告)日：2012-04-26

申请号：US13299475

申请日：2011-11-18

申请人： Akio KOIKE ,  Takahiro Mitsumori ,  Yasutomi Iwahashi ,  Tomonori Ogawa

发明人： Akio KOIKE ,  Takahiro Mitsumori ,  Yasutomi Iwahashi ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03C3/04 ,  C03B25/00

CPC分类号： C03B25/00 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/42 ,  G03F1/24 ,  Y02P40/57 ,  Y10T428/24355

摘要： The present invention relates to a process for production of a TiO2—SiO2 glass body, comprising: a step of, when an annealing point of a TiO2—SiO2 glass body after transparent vitrification is taken as T1 (° C.), heating the glass body after transparent vitrification at a temperature of T1+400° C. or more for 20 hours or more; and a step of cooling the glass body after the heating step up to T1−400 (° C.) from T1 (° C.) in an average temperature decreasing rate of 10° C./hr or less.

摘要翻译： 本发明涉及一种TiO 2 -SiO 2玻璃体的制造方法，其特征在于，在将透明玻璃化后的TiO 2 -SiO 2玻璃体的退火点作为T1（℃）时，将玻璃加热 在T1 + 400℃以上的温度下透明玻璃化后20个小时以上; 以及在10℃/小时以上的平均降温速度下，从T1（℃）加热至T1-400（℃）后将玻璃体冷却的工序。

公开(公告)号：US20120238434A1

公开(公告)日：2012-09-20

申请号：US13486485

申请日：2012-06-01

申请人： Akio Koike ,  Takahiro Mitsumori ,  Tomonori Ogawa

发明人： Akio Koike ,  Takahiro Mitsumori ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03C3/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/10 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/23 ,  C03B2201/28 ,  C03B2201/42 ,  C03B2201/50 ,  C03C2201/10 ,  C03C2201/20 ,  C03C2201/28 ,  C03C2201/42

摘要： The present invention relates to a TiO2-containing silica glass containing TiO2 in an amount of from 5 to 10 mass % and at least one of B2O3, P2O5 and S in an amount of from 50 ppb by mass to 5 mass % in terms of the total content.

摘要翻译： 本发明涉及含有5〜10质量％的TiO 2和B 2 O 3，P 2 O 5，S中的至少一种的含TiO 2的二氧化硅玻璃，其量为50ppb〜5质量％ 总内容

公开(公告)号：US08735308B2

公开(公告)日：2014-05-27

申请号：US12718776

申请日：2010-03-05

申请人： Akio Koike ,  Chikaya Tamitsuji ,  Kunio Watanabe ,  Tomonori Ogawa

发明人： Akio Koike ,  Chikaya Tamitsuji ,  Kunio Watanabe ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03C15/00 ,  C03C17/00 ,  C03C19/00 ,  C03C3/06

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/36 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/54

摘要： The present invention relates to an optical member including a TiO2-containing silica glass having: a TiO2 concentration of from 3 to 10% by mass; a Ti3+ concentration of 100 wt ppm or less; a thermal expansion coefficient at from 0 to 100° C., CTE0-100, of 0±150 ppb/° C.; and an internal transmittance in the wavelength range of 400 to 700 nm per a thickness of 1 mm, T400-700, of 80% or more, in which the optical member has a ratio of variation of Ti3+ concentration to an average value of the Ti3+ concentration, ΔTi3+/Ti3+, on an optical use surface, is 0.2 or less.

摘要翻译： 本发明涉及一种含有TiO2含量为3〜10质量％的含TiO 2的二氧化硅玻璃的光学构件， Ti3 +浓度为100重量ppm以下; 0-100℃的热膨胀系数，CTE0-100，为0±150ppb /℃。 并且在400〜700nm的波长范围内的内部透射率，每1mm厚度，T400〜700，为80％以上，其中光学部件具有Ti 3+浓度的变化比与Ti 3+的平均值的比值， 在光学用表面上的浓度＆Dgr; Ti 3+ / Ti 3+为0.2以下。

公开(公告)号：US20100179047A1

公开(公告)日：2010-07-15

申请号：US12718776

申请日：2010-03-05

申请人： Akio KOIKE ,  Chikaya Tamitsuji ,  Kunio Watanabe ,  Tomonori Ogawa

发明人： Akio KOIKE ,  Chikaya Tamitsuji ,  Kunio Watanabe ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03C10/00

CPC分类号： C03C3/06 ,  C03B19/1423 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B25/02 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/36 ,  C03C4/0085 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/54

摘要： The present invention relates to an optical member including a TiO2-containing silica glass having: a TiO2 concentration of from 3 to 10% by mass; a Ti3+ concentration of 100 wt ppm or less; a thermal expansion coefficient at from 0 to 100° C., CTE0-100, of 0±150 ppb/° C.; and an internal transmittance in the wavelength range of 400 to 700 nm per a thickness of 1 mm, T400-700, of 80% or more, in which the optical member has a ratio of variation of Ti3+ concentration to an average value of the Ti3+ concentration, ΔTi3+/Ti3+, on an optical use surface, is 0.2 or less.

摘要翻译： 本发明涉及一种含有TiO2含量为3〜10质量％的含TiO 2的二氧化硅玻璃的光学构件， Ti3 +浓度为100重量ppm以下; 0-100℃的热膨胀系数，CTE0-100，为0±150ppb /℃。 并且在400〜700nm的波长范围内的内部透射率，每1mm厚度，T400〜700，为80％以上，其中光学部件具有Ti 3+浓度的变化比与Ti 3+的平均值的比值， 在光学用表面上的浓度＆Dgr; Ti 3+ / Ti 3+为0.2以下。

公开(公告)号：US08546283B2

公开(公告)日：2013-10-01

申请号：US13531928

申请日：2012-06-25

申请人： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

发明人： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03C3/06 ,  C03C3/076 ,  C03C3/112

CPC分类号： C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  G02B5/0891 ,  G03F1/24

摘要： The present invention relates to a substrate for EUV lithography optical member, comprising a silica glass containing TiO2, in which the substrate has two opposite surfaces, and the substrate has temperatures at which a coefficient of linear thermal expansion (CTE) is 0 ppb/° C. (Cross-Over Temperature: COT), and in which the two opposite surfaces have difference in the COTs of 5° C. or more.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于EUV光刻光学部件的基板，其包括含有二氧化钛的二氧化硅玻璃，其中该基板具有两个相对的表面，该基板具有线性热膨胀系数（CTE）为0ppb /°的温度 C.（交叉温度：COT），其中两个相对表面的COT值在5℃以上有差异。

公开(公告)号：US20120264584A1

公开(公告)日：2012-10-18

申请号：US13531928

申请日：2012-06-25

申请人： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

发明人： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa

IPC分类号： C03C3/04

CPC分类号： C03C3/06 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  C03B19/1415 ,  C03B19/1453 ,  C03B19/1461 ,  C03B2201/075 ,  C03B2201/12 ,  C03B2201/42 ,  C03C2201/12 ,  C03C2201/23 ,  C03C2201/42 ,  C03C2203/44 ,  C03C2203/54 ,  G02B5/0891 ,  G03F1/24

摘要： The present invention relates to a substrate for EUV lithography optical member, comprising a silica glass containing TiO2, in which the substrate has two opposite surfaces, and the substrate has temperatures at which a coefficient of linear thermal expansion (CTE) is 0 ppb/° C. (Cross-Over Temperature: COT), and in which the two opposite surfaces have difference in the COTs of 5° C. or more.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于EUV光刻光学部件的基板，其包括含有二氧化钛的二氧化硅玻璃，其中该基板具有两个相对的表面，该基板具有线性热膨胀系数（CTE）为0ppb /°的温度 C.（交叉温度：COT），其中两个相对表面的COT值在5℃以上有差异。

公开(公告)号：US08567214B2

公开(公告)日：2013-10-29

申请号：US13169459

申请日：2011-06-27

申请人： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa ,  Masahiro Kawagishi

发明人： Junko Miyasaka ,  Akio Koike ,  Tomonori Ogawa ,  Masahiro Kawagishi

IPC分类号： C03B19/14

CPC分类号： C03B19/1423 ,  C03B2201/42 ,  C03B2207/06 ,  C03B2207/20 ,  Y02P40/57

摘要： The present invention relates to a method for producing a glass body containing: hydrolyzing a silicon compound and a compound containing a metal serving as a dopant, in a flame projected from a burner to form glass fine particles; and depositing and growing the formed glass fine particles on a base material, in which a raw material mixed gas containing a gas of the silicon compound, a gas of the compound containing a metal serving as a dopant, and either one of a combustible gas and a combustion supporting gas is fed into a central nozzle (A) positioning in the center of the burner; the other gas of the combustible gas and the combustion supporting gas is fed into a nozzle (B) different from the central nozzle (A) of the burner; a combustible gas or a combustion supporting gas is arbitrarily fed into a nozzle different from the nozzles (A) and (B); and a flow rate of the raw material mixed gas is 50% or more and not more than 90% of the largest flow rate among flow rate(s) of the combustible gas(ses) and the combustion supporting gas(ses) fed from other nozzle or nozzles than the central nozzle (A).

摘要翻译： 本发明涉及一种玻璃体的制造方法，其特征在于，在从燃烧器投射的火焰中，含有硅化合物和含有作为掺杂剂的金属的化合物，形成玻璃微粒; 并且将形成的玻璃微粒沉积并生长在基材上，其中含有硅化合物的气体的原料混合气体，含有作为掺杂剂的金属的化合物的气体，以及可燃性气体和 燃烧支持气体被供给到位于燃烧器中心的中心喷嘴（A）中; 可燃气体和燃烧辅助气体的其他气体被供给到与燃烧器的中心喷嘴（A）不同的喷嘴（B）中; 将可燃气体或燃烧性支持气体任意地供给到与喷嘴（A）和（B）不同的喷嘴中; 并且原料混合气体的流量在可燃气体（s）和从其他方式供给的燃烧负载气体（s））的流量之间的最大流量的50％以上且不大于90％ 喷嘴或喷嘴比中心喷嘴（A）。

公开(公告)号：US20120302674A1

公开(公告)日：2012-11-29

申请号：US13575778

申请日：2011-01-28

申请人： Tomonori Ogawa ,  Masanobu Shinohara ,  Tsutomu Yoshimura ,  Kei Sakamoto ,  Satoshi Kiriki

发明人： Tomonori Ogawa ,  Masanobu Shinohara ,  Tsutomu Yoshimura ,  Kei Sakamoto ,  Satoshi Kiriki

IPC分类号： C08L13/00 ,  C08K5/41 ,  C08K5/46

CPC分类号： C09K3/10 ,  C07D209/88 ,  C07D279/34 ,  C08K5/3417 ,  C08K5/46 ,  C09K2200/0625 ,  C08L21/00

摘要： An acrylic rubber composition which contains, with respect to 100 parts by weight of acrylic rubber, a compound which is expressed by the following general formula (1) in 0.1 to 50 parts by weight and a cross-linking agent in 0.05 to 20 parts by weight is provided. (where, in said general formula (1), Y indicates a chemical single bond or —SO2—. Ra and Rb respectively independently indicate substitutable C1 to C30 organic groups. Za and Zb respectively independently indicate chemical single bonds or —SO2—. n and m respectively independently are 0 or 1, at least one of n and m being 1)

摘要翻译： 丙烯酸类橡胶组合物，相对于100重量份的丙烯酸橡胶，将由以下通式（1）表示的化合物相对于0.1〜50重量份，交联剂为0.05〜20重量份 提供重量。 （其中，在所述通式（1）中，Y表示化学单键或-SO 2 - ，R a和R b分别独立地表示可取代的C 1至C 30有机基团，Z a和Z b分别独立地表示化学单键或-SO 2 - 和m分别独立地为0或1，n和m中的至少一个为1）