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公开(公告)号：US08056415B2
公开(公告)日：2011-11-15
申请号：US12130702
申请日：2008-05-30
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2203/0136 , G01P1/006 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0814 , G01P2015/082
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (52) includes a substrate (62) a movable element (58) spaced apart from the substrate (62), suspension anchors (66, 68, 70, 72) formed on the substrate (62), and compliant members (74) interconnecting the movable element (58) with the suspension anchors. The MEMS sensor (52) further includes fixed fingers (76) and fixed finger anchors (78) attaching the fixed fingers (76) to the substrate (62). The movable element (58) includes openings (64). At least one of the suspension anchors resides in at least one of the multiple openings (64) and pairs (94) of the fixed fingers (76) reside in other multiple openings (64). The MEMS sensor (52) is symmetrically formed, and a location of the fixed finger anchors (78) defines an anchor region (103) within which the suspension anchors (66, 68, 70, 72) are positioned.
摘要翻译： 微机电系统（MEMS）传感器（52）包括基板（62），与基板（62）间隔开的可移动元件（58），形成在基板（62）上的悬挂锚固件（66,68,70,72） 以及将可移动元件（58）与悬挂锚固件互连的柔性构件（74）。 MEMS传感器（52）还包括将固定指状物（76）附接到基底（62）的固定指状物（76）和固定指状锚（78）。 可移动元件（58）包括开口（64）。 悬挂锚中的至少一个驻留在多个开口（64）中的至少一个中，固定指状物（76）的对（94）位于其它多个开口（64）中。 MEMS传感器（52）对称地形成，并且固定指状物锚定件（78）的位置限定了锚定区域（103），悬挂锚固件（66,68,70,72）定位在锚定区域内。
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公开(公告)号：US20090293617A1
公开(公告)日：2009-12-03
申请号：US12130702
申请日：2008-05-30
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： B81B3/0072 , B81B2201/0235 , B81B2203/0109 , B81B2203/0136 , G01P1/006 , G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/0814 , G01P2015/082
摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (52) includes a substrate (62) a movable element (58) spaced apart from the substrate (62), suspension anchors (66, 68, 70, 72) formed on the substrate (62), and compliant members (74) interconnecting the movable element (58) with the suspension anchors. The MEMS sensor (52) further includes fixed fingers (76) and fixed finger anchors (78) attaching the fixed fingers (76) to the substrate (62). The movable element (58) includes openings (64). At least one of the suspension anchors resides in at least one of the multiple openings (64) and pairs (94) of the fixed fingers (76) reside in other multiple openings (64). The MEMS sensor (52) is symmetrically formed, and a location of the fixed finger anchors (78) defines an anchor region (103) within which the suspension anchors (66, 68, 70, 72) are positioned.
摘要翻译： 微机电系统（MEMS）传感器（52）包括基板（62），与基板（62）间隔开的可移动元件（58），形成在基板（62）上的悬挂锚固件（66,68,70,72） 以及将可移动元件（58）与悬挂锚固件互连的柔性构件（74）。 MEMS传感器（52）还包括将固定指状物（76）附接到基底（62）的固定指状物（76）和固定指状锚（78）。 可移动元件（58）包括开口（64）。 悬挂锚中的至少一个驻留在多个开口（64）中的至少一个中，固定指状物（76）的对（94）位于其它多个开口（64）中。 MEMS传感器（52）对称地形成，并且固定指状物锚定件（78）的位置限定了锚定区域（103），悬挂锚固件（66,68,70,72）定位在锚定区域内。
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公开(公告)号：US07637160B2
公开(公告)日：2009-12-29
申请号：US11479792
申请日：2006-06-30
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , B81B3/0094 , B81B2201/0235 , G01C19/5719 , G01P15/08 , G01P15/135 , G01P2015/0814
摘要： A MEMS device that has a sensitivity to a stimulus in at least one sensing direction includes a substrate, a movable mass with corner portions suspended in proximity to the substrate, at least one suspension structure coupled approximately to the corner portions of the movable mass for performing a mechanical spring function, and at least one anchor for coupling the substrate to the at least one suspension structure. The at least one anchor is positioned approximately on a center line in the at least one sensing direction.
摘要翻译： 对至少一个感测方向上的刺激具有敏感性的MEMS器件包括基底，具有悬挂在基底附近的拐角部分的可移动物体，至少一个悬挂结构，其大致耦合到可移动块的角部，用于执行 机械弹簧功能，以及用于将衬底耦合到至少一个悬挂结构的至少一个锚固件。 所述至少一个锚固件大致位于所述至少一个感测方向上的中心线上。
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公开(公告)号：US07628072B2
公开(公告)日：2009-12-08
申请号：US11489789
申请日：2006-07-19
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/0802 , B81B3/001 , G01P15/125 , G01P2015/0814
摘要： A MEMS device includes a substrate; a movable mass suspended in proximity to the substrate; and at least one suspension structure coupled to the movable mass for performing a mechanical spring function. The at least one suspension structure has portions that move in tandem when the MEMS device is subject to at least one stimulus in a sensing direction, and further includes at least one link between the portions that move in tandem.
摘要翻译： MEMS器件包括衬底; 悬挂在基板附近的可动块; 以及耦合到所述可移动质量块的至少一个悬架结构，用于执行机械弹簧功能。 所述至少一个悬架结构具有当MEMS装置在感测方向上受到至少一个刺激时串联移动的部分，并且还包括在串联移动的部分之间的至少一个连杆。
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公开(公告)号：US06936492B2
公开(公告)日：2005-08-30
申请号：US11009109
申请日：2004-12-10
申请人： Andrew C. McNeil , Gary Li , Daniel N. Koury, Jr.
发明人： Andrew C. McNeil , Gary Li , Daniel N. Koury, Jr.
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18 , H01G5/18
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/082 , G01P2015/0831
摘要： A transducer is provided herein which comprises an unbalanced proof mass (51), and which is adapted to sense acceleration in at least two mutually orthogonal directions. The proof mass (51) has first (65) and second (67) opposing sides that are of unequal mass.
摘要翻译： 本文提供了一种传感器，其包括不平衡证明块（51），并且适于在至少两个相互正交的方向上感测加速度。 证明物质（51）具有不等质量的第一（65）和第二（67）相对的侧面。
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公开(公告)号：US06845670B1
公开(公告)日：2005-01-25
申请号：US10615328
申请日：2003-07-08
申请人： Andrew C. McNeil , Gary Li , Daniel N. Koury, Jr.
发明人： Andrew C. McNeil , Gary Li , Daniel N. Koury, Jr.
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18
CPC分类号： G01P15/18 , G01P15/125 , G01P2015/082 , G01P2015/0831
摘要： A transducer is provided herein which comprises an unbalanced proof mass (51), and which is adapted to sense acceleration in at least two mutually orthogonal directions. The proof mass (51) has first (65) and second (67) opposing sides that are of unequal mass.
摘要翻译： 本文提供了一种传感器，其包括不平衡证明质量块（51），并且适于在至少两个相互正交的方向上感测加速度。 证明物质（51）具有不等质量的第一（65）和第二（67）相对的侧面。
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公开(公告)号：US6122963A
公开(公告)日：2000-09-26
申请号：US235731
申请日：1999-01-22
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125
摘要： An electronic component includes a support substrate (101), a fixed electrode (113) overlying the support substrate (101), a movable electrode (123, 423) overlying the support substrate and the first electrode (113) wherein the first and second electrodes (113, 123, and 423) form a capacitor with a sensing area, an anchor (122, 422) coupled to the support substrate (101), and beams (125, 425) coupling different attachment points (129) of the second electrode (123, 423) to the anchor (122, 422) wherein the different attachment points (129) form a simply connected polygon and wherein a portion of the sensing area is located within the simply connected polygon.
摘要翻译： 电子部件包括支撑基板（101），覆盖支撑基板（101）的固定电极（113），覆盖支撑基板的可动电极（123,423）和第一电极（113），其中第一和第二电极 （113,123和423）形成具有感测区域的电容器，耦合到支撑衬底（101）的锚固件（122,422）和耦合第二电极的不同连接点（129）的梁（125,425） （123,423）到锚定器（122,422），其中不同的附接点（129）形成简单连接的多边形，并且其中感测区域的一部分位于简单连接的多边形内。
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公开(公告)号：US20100223997A1
公开(公告)日：2010-09-09
申请号：US12400441
申请日：2009-03-09
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0814
摘要： An accelerometer (50, 100, 120, 130) includes a substrate (58) and a proof mass (54) spaced apart from a surface (56) of the substrate (58). Compliant members (62) are coupled to the proof mass (54) and enable the proof mass (54) to move parallel to the surface (56) of the substrate (58) in a sense direction (68). Proof mass anchors (60) interconnect the compliant members (62) with the surface (56). The accelerometer (50, 100, 120, 130) includes an over-travel stop structure (52, 102, 122, 132) having stop anchors (70, 72) coupled to the substrate (58). The stop anchors (70, 72) are coupled to the substrate (58) at positions (76) on the surface (56) residing at least partially within an anchor attach area (71) bounded in the sense direction (68) by locations (78) of the proof mass anchors (60) on the surface (56).
摘要翻译： 加速度计（50,100,120,130）包括与衬底（58）的表面（56）间隔开的衬底（58）和校准质量块（54）。 合格构件（62）被耦合到检验质量块（54），并且使检测质量块（54）能够在感测方向（68）上平行于衬底（58）的表面（56）移动。 证明质量锚（60）将顺应构件（62）与表面（56）相互连接。 加速度计（50,100,120,130）包括具有联接到基底（58）的止动锚（70,72）的过度行进止动结构（52,102,122,132）。 停止锚固件（70,72）在表面（56）上的位置（76）处联接到基底（58），所述位置（76）至少部分地位于沿着感测方向（68）限定的锚定附着区域（71）中的位置（ 表面（56）上的检验质量锚（60）的表面（78）。
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公开(公告)号：US08186220B2
公开(公告)日：2012-05-29
申请号：US12400441
申请日：2009-03-09
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P2015/0814
摘要： An accelerometer (50, 100, 120, 130) includes a substrate (58) and a proof mass (54) spaced apart from a surface (56) of the substrate (58). Compliant members (62) are coupled to the proof mass (54) and enable the proof mass (54) to move parallel to the surface (56) of the substrate (58) in a sense direction (68). Proof mass anchors (60) interconnect the compliant members (62) with the surface (56). The accelerometer (50, 100, 120, 130) includes an over-travel stop structure (52, 102, 122, 132) having stop anchors (70, 72) coupled to the substrate (58). The stop anchors (70, 72) are coupled to the substrate (58) at positions (76) on the surface (56) residing at least partially within an anchor attach area (71) bounded in the sense direction (68) by locations (78) of the proof mass anchors (60) on the surface (56).
摘要翻译： 加速度计（50,100,120,130）包括与衬底（58）的表面（56）间隔开的衬底（58）和校准质量块（54）。 合格构件（62）被耦合到检验质量块（54），并且使检测质量块（54）能够在感测方向（68）上平行于衬底（58）的表面（56）移动。 证明质量锚（60）将顺应构件（62）与表面（56）相互连接。 加速度计（50,100,120,130）包括具有联接到基底（58）的止动锚（70,72）的过度行进止动结构（52,102,122,132）。 停止锚固件（70,72）在表面（56）上的位置（76）处联接到基底（58），所述位置（76）至少部分地位于沿着感测方向（68）限定的锚定附着区域（71）中的位置（ 表面（56）上的检验质量锚（60）的表面（78）。
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公开(公告)号：US08925384B2
公开(公告)日：2015-01-06
申请号：US13482332
申请日：2012-05-29
申请人： Andrew C. McNeil , Gary G. Li , Lisa Z. Zhang , Yizhen Lin
发明人： Andrew C. McNeil , Gary G. Li , Lisa Z. Zhang , Yizhen Lin
IPC分类号： G01P15/125
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0831
摘要： A MEMS sensor (20, 86) includes a support structure (26) suspended above a surface (28) of a substrate (24) and connected to the substrate (24) via spring elements (30, 32, 34). A proof mass (36) is suspended above the substrate (24) and is connected to the support structure (26) via torsional elements (38). Electrodes (42, 44), spaced apart from the proof mass (36), are connected to the support structure (26) and are suspended above the substrate (24). Suspension of the electrodes (42, 44) and proof mass (36) above the surface (28) of the substrate (24) via the support structure (26) substantially physically isolates the elements from deformation of the underlying substrate (24). Additionally, connection via the spring elements (30, 32, 34) result in the MEMS sensor (22, 86) being less susceptible to movement of the support structure (26) due to this deformation.
摘要翻译： MEMS传感器（20,86）包括悬挂在基板（24）的表面（28）上方并通过弹簧元件（30,32,34）连接到基板（24）的支撑结构（26）。 证明物质（36）悬挂在基底（24）上方，并通过扭转元件（38）连接到支撑结构（26）。 与证明物质（36）间隔开的电极（42,44）连接到支撑结构（26）并悬挂在基底（24）上方。 通过支撑结构（26）将基片（24）的表面（28）上方的电极（42,44）和检验质量块（36）悬挂在基本上物理上隔离下面的基底（24）的变形。 此外，通过弹簧元件（30,32,34）的连接导致MEMS传感器（22,86）由于这种变形而不易受支撑结构（26）的移动的影响。
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