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    MEMS suspension and anchoring design
    3.
    发明授权
    MEMS suspension and anchoring design 失效
    MEMS悬挂和锚定设计

    公开(公告)号：US07637160B2

    公开(公告)日：2009-12-29

    申请号：US11479792

    申请日：2006-06-30

    申请人： Daniel N. Koury, Jr. ,  Andrew C. McNeil

    发明人： Daniel N. Koury, Jr. ,  Andrew C. McNeil

    IPC分类号： G01P15/125

    CPC分类号： G01P15/125 ,  B81B3/0094 ,  B81B2201/0235 ,  G01C19/5719 ,  G01P15/08 ,  G01P15/135 ,  G01P2015/0814

    摘要： A MEMS device that has a sensitivity to a stimulus in at least one sensing direction includes a substrate, a movable mass with corner portions suspended in proximity to the substrate, at least one suspension structure coupled approximately to the corner portions of the movable mass for performing a mechanical spring function, and at least one anchor for coupling the substrate to the at least one suspension structure. The at least one anchor is positioned approximately on a center line in the at least one sensing direction.

    摘要翻译： 对至少一个感测方向上的刺激具有敏感性的MEMS器件包括基底，具有悬挂在基底附近的拐角部分的可移动物体，至少一个悬挂结构，其大致耦合到可移动块的角部，用于执行 机械弹簧功能，以及用于将衬底耦合到至少一个悬挂结构的至少一个锚固件。 所述至少一个锚固件大致位于所述至少一个感测方向上的中心线上。

    Semiconductor device with reduced sensitivity to package stress
    4.
    发明授权
    Semiconductor device with reduced sensitivity to package stress 有权
    对封装应力敏感性降低的半导体器件

    公开(公告)号：US08056415B2

    公开(公告)日：2011-11-15

    申请号：US12130702

    申请日：2008-05-30

    申请人： Andrew C. McNeil ,  Aaron A. Geisberger ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Gary G. Li

    发明人： Andrew C. McNeil ,  Aaron A. Geisberger ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Gary G. Li

    IPC分类号： G01P15/125

    CPC分类号： B81B3/0072 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2203/0109 ,  B81B2203/0136 ,  G01P1/006 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/0814 ,  G01P2015/082

    摘要： A microelectromechanical systems (MEMS) sensor (52) includes a substrate (62) a movable element (58) spaced apart from the substrate (62), suspension anchors (66, 68, 70, 72) formed on the substrate (62), and compliant members (74) interconnecting the movable element (58) with the suspension anchors. The MEMS sensor (52) further includes fixed fingers (76) and fixed finger anchors (78) attaching the fixed fingers (76) to the substrate (62). The movable element (58) includes openings (64). At least one of the suspension anchors resides in at least one of the multiple openings (64) and pairs (94) of the fixed fingers (76) reside in other multiple openings (64). The MEMS sensor (52) is symmetrically formed, and a location of the fixed finger anchors (78) defines an anchor region (103) within which the suspension anchors (66, 68, 70, 72) are positioned.

    摘要翻译： 微机电系统（MEMS）传感器（52）包括基板（62），与基板（62）间隔开的可移动元件（58），形成在基板（62）上的悬挂锚固件（66,68,70,72） 以及将可移动元件（58）与悬挂锚固件互连的柔性构件（74）。 MEMS传感器（52）还包括将固定指状物（76）附接到基底（62）的固定指状物（76）和固定指状锚（78）。 可移动元件（58）包括开口（64）。 悬挂锚中的至少一个驻留在多个开口（64）中的至少一个中，固定指状物（76）的对（94）位于其它多个开口（64）中。 MEMS传感器（52）对称地形成，并且固定指状物锚定件（78）的位置限定了锚定区域（103），悬挂锚固件（66,68,70,72）定位在锚定区域内。

    MEMS device and method of reducing stiction in a MEMS device
    5.
    发明授权
    MEMS device and method of reducing stiction in a MEMS device 失效
    MEMS器件和减少MEMS器件中的静电的方法

    公开(公告)号：US07628072B2

    公开(公告)日：2009-12-08

    申请号：US11489789

    申请日：2006-07-19

    申请人： Daniel N. Koury, Jr. ,  Andrew C. McNeil

    发明人： Daniel N. Koury, Jr. ,  Andrew C. McNeil

    IPC分类号： G01P15/125

    CPC分类号： G01P15/0802 ,  B81B3/001 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

    摘要： A MEMS device includes a substrate; a movable mass suspended in proximity to the substrate; and at least one suspension structure coupled to the movable mass for performing a mechanical spring function. The at least one suspension structure has portions that move in tandem when the MEMS device is subject to at least one stimulus in a sensing direction, and further includes at least one link between the portions that move in tandem.

    摘要翻译： MEMS器件包括衬底; 悬挂在基板附近的可动块; 以及耦合到所述可移动质量块的至少一个悬架结构，用于执行机械弹簧功能。 所述至少一个悬架结构具有当MEMS装置在感测方向上受到至少一个刺激时串联移动的部分，并且还包括在串联移动的部分之间的至少一个连杆。

    Electronic component for measuring acceleration
    6.
    发明授权
    Electronic component for measuring acceleration 有权
    用于测量加速度的电子元件

    公开(公告)号：US6122963A

    公开(公告)日：2000-09-26

    申请号：US235731

    申请日：1999-01-22

    申请人： Jonathan H. Hammond ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Richard J. August ,  Andrew C. McNeil

    发明人： Jonathan H. Hammond ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Richard J. August ,  Andrew C. McNeil

    IPC分类号： G01P15/125

    CPC分类号： G01P15/125

    摘要： An electronic component includes a support substrate (101), a fixed electrode (113) overlying the support substrate (101), a movable electrode (123, 423) overlying the support substrate and the first electrode (113) wherein the first and second electrodes (113, 123, and 423) form a capacitor with a sensing area, an anchor (122, 422) coupled to the support substrate (101), and beams (125, 425) coupling different attachment points (129) of the second electrode (123, 423) to the anchor (122, 422) wherein the different attachment points (129) form a simply connected polygon and wherein a portion of the sensing area is located within the simply connected polygon.

    摘要翻译： 电子部件包括支撑基板（101），覆盖支撑基板（101）的固定电极（113），覆盖支撑基板的可动电极（123,423）和第一电极（113），其中第一和第二电极 （113,123和423）形成具有感测区域的电容器，耦合到支撑衬底（101）的锚固件（122,422）和耦合第二电极的不同连接点（129）的梁（125,425） （123,423）到锚定器（122,422），其中不同的附接点（129）形成简单连接的多边形，并且其中感测区域的一部分位于简单连接的多边形内。

    Differential capacitor structure
    7.
    发明授权
    Differential capacitor structure 失效
    差分电容结构

    公开(公告)号：US06215645B1

    公开(公告)日：2001-04-10

    申请号：US09071623

    申请日：1998-05-01

    申请人： Guang Xuan Li ,  Frank A. Shemansky, Jr. ,  Ronald James Gutteridge ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Zuoying Lisa Zhang

    发明人： Guang Xuan Li ,  Frank A. Shemansky, Jr. ,  Ronald James Gutteridge ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Zuoying Lisa Zhang

    IPC分类号： H01G700

    CPC分类号： B81B3/0072 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125

    摘要： A differential capacitor structure (10) formed overlying a substrate (12) having a middle layer (24) disposed between a lower layer (18) and an upper layer (28). The lower layer (18) is a static layer that is formed on the substrate (12), the middle layer (24) has a moveable component and is a dynamic layer attached to the substrate (12) using semi-circular tether supports (42), and the upper layer is a static layer that is anchored to the substrate (12). The semi-circular tether supports (42) are formed from a homogeneous material and provide structural stiffness to support the middle layer (24) in space and also provide stress relief.

    摘要翻译： 一种形成在衬底（12）上的差分电容器结构（10），该衬底具有设置在下层（18）和上层（28）之间的中间层（24）。 下层（18）是形成在基板（12）上的静电层，中间层（24）具有可移动部件，并且是使用半圆形系绳支架（42）附接到基板（12）的动态层 ），并且上层是锚定到基底（12）的静止层。 半圆形系绳支撑件（42）由均质材料形成并提供结构刚度以在空间中支撑中间层（24）并且还提供应力消除。

    Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures
    9.
    发明授权
    Method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS structures 有权
    向MEMS结构增加应力隔离质量的方法和结构

    公开(公告)号：US08710597B1

    公开(公告)日：2014-04-29

    申请号：US13090228

    申请日：2011-04-19

    申请人： Daniel N. Koury, Jr.

    发明人： Daniel N. Koury, Jr.

    IPC分类号： H01L29/84

    CPC分类号： B81C1/00134 ,  B81C1/00142 ,  G01P15/0802 ,  H01L27/14609 ,  H01L27/14643 ,  H01L2924/01013

    摘要： A method and structure for adding mass with stress isolation to MEMS. The structure has a thickness of silicon material coupled to at least one flexible element. The thickness of silicon material can be configured to move in one or more spatial directions about the flexible element(s) according to a specific embodiment. The apparatus also includes a plurality of recessed regions formed in respective spatial regions of the thickness of silicon material. Additionally, the apparatus includes a glue material within each of the recessed regions and a plug material formed overlying each of the recessed regions.

    摘要翻译： 一种将应力隔离加入MEMS的方法和结构。 该结构具有耦合到至少一个柔性元件的硅材料的厚度。 根据具体实施例，硅材料的厚度可被配置为围绕柔性元件在一个或多个空间方向上移动。 该设备还包括形成在硅材料厚度的相应空间区域中的多个凹陷区域。 此外，该设备包括在每个凹陷区域内的胶合材料和形成在每个凹陷区域上的塞子材料。

    Method of manufacturing a sensor
    10.
    发明授权
    Method of manufacturing a sensor 有权
    制造传感器的方法

    公开(公告)号：US06228275B1

    公开(公告)日：2001-05-08

    申请号：US09208924

    申请日：1998-12-10

    申请人： Daniel J. Koch ,  Jonathan H. Hammond ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Jonathan F. Gorrell

    发明人： Daniel J. Koch ,  Jonathan H. Hammond ,  Daniel N. Koury, Jr. ,  Jonathan F. Gorrell

    IPC分类号： H01L21302

    CPC分类号： G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0814

    摘要： A sensor has a support substrate (200), an electrode (110, 510, 710) movable relative to a surface (201) of the support substrate (200) and comprised of a first material, a structure (160, 460, 560, 760) over a portion of the electrode (110, 510, 710) to limit mobility of the electrode (110, 510, 710) and comprised of a second material different from the first material, and bonding pads (170, 470) outside a perimeter of the electrode (110, 510, 710) and comprised of the second material.

    摘要翻译： 传感器具有支撑衬底（200），可相对于支撑衬底（200）的表面（201）移动并且由第一材料，结构（160,460,560， 760）覆盖所述电极（110,510,710）的一部分以限制所述电极（110,510,710）的移动性，并且包括不同于所述第一材料的第二材料，以及在所述电极 电极（110,510,710）的周边并且由第二材料构成。