公开(公告)号：US20130284373A1

公开(公告)日：2013-10-31

申请号：US13687512

申请日：2012-11-28

Applicant: APPLIED MATERIALS, INC.

Inventor： Jennifer Y. Sun ,  Biraja P. Kanungo ,  Ren-Guan Duan ,  Hamid Noobakhsh ,  Junhan Yuh ,  Dmitry Lubomirsky

IPC: C23F1/08 ,  B23K10/00 ,  H05K1/05 ,  B05D3/00

CPC classification number: C23F1/08 ,  B05D3/002 ,  B23K10/00 ,  B32B18/00 ,  C04B5/00 ,  C04B7/32 ,  C04B18/023 ,  C04B28/06 ,  C04B35/44 ,  C04B41/009 ,  C04B41/50 ,  C04B41/5045 ,  C04B41/87 ,  C22C29/12 ,  C22C32/00 ,  C22C32/0015 ,  C22C32/0021 ,  C22C32/0026 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32467 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32495 ,  H05K1/053

Abstract: To manufacture a ceramic coated article, at least one surface of a conductive article is roughened to a roughness of approximately 100 micro-inches (μin) to approximately 300 μin. The conductive article may then be heated and coated with a ceramic coating comprising a yttrium containing oxide to a thickness of approximately 10-40 mil.

Abstract translation: 为了制造陶瓷涂层制品，将导电制品的至少一个表面粗糙化至约100微英寸（μin）至约300μm的粗糙度。 然后可以将导电制品加热并用包含含钇的氧化物的陶瓷涂层涂覆至约10-40密耳的厚度。

公开(公告)号：US09394615B2

公开(公告)日：2016-07-19

申请号：US13687512

申请日：2012-11-28

Applicant: Applied Materials, Inc.

Inventor： Jennifer Y. Sun ,  Biraja P. Kanungo ,  Ren-Guan Duan ,  Hamid Noorbakhsh ,  Junhan Yuh ,  Dmitry Lubomirsky

IPC: C23F1/08 ,  B05D3/00 ,  B23K10/00 ,  H05K1/05 ,  H01J37/32 ,  C04B41/87 ,  C04B5/00 ,  C04B7/32 ,  C04B18/02 ,  C04B28/06 ,  C04B35/44 ,  C22C32/00 ,  C22C29/12 ,  B32B18/00 ,  C04B41/50 ,  C04B41/00

CPC classification number: C23F1/08 ,  B05D3/002 ,  B23K10/00 ,  B32B18/00 ,  C04B5/00 ,  C04B7/32 ,  C04B18/023 ,  C04B28/06 ,  C04B35/44 ,  C04B41/009 ,  C04B41/50 ,  C04B41/5045 ,  C04B41/87 ,  C22C29/12 ,  C22C32/00 ,  C22C32/0015 ,  C22C32/0021 ,  C22C32/0026 ,  H01J37/321 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32458 ,  H01J37/32467 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32495 ,  H05K1/053

Abstract: To manufacture a ceramic coated article, at least one surface of a conductive article is roughened to a roughness of approximately 100 micro-inches (μin) to approximately 300 μin. The conductive article may then be heated and coated with a ceramic coating comprising a yttrium containing oxide to a thickness of approximately 10-40 mil.

Abstract translation: 为了制造陶瓷涂层制品，将导电制品的至少一个表面粗糙化至约100微英寸（μin）至约300μin的粗糙度。 然后可以将导电制品加热并用包含含钇的氧化物的陶瓷涂层涂覆至约10-40密耳的厚度。