公开(公告)号：US4454221A

公开(公告)日：1984-06-12

申请号：US366646

申请日：1982-04-08

申请人： Cheng-Hsuan Chen ,  Edith C. Ong ,  James C. Phillips ,  King L. Tai

发明人： Cheng-Hsuan Chen ,  Edith C. Ong ,  James C. Phillips ,  King L. Tai

IPC分类号： H01L21/306 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20 ,  G03F7/32 ,  H01L21/027 ,  H01L21/311 ,  G03C5/00

CPC分类号： G03F7/0043 ,  G03F7/32 ,  H01L21/31111

摘要： A method for enhancing linewidth control during the patterning of a substrate with a resist is disclosed. Resists used in the invention have chemically separated structures characterized by two types of regions of different chemical composition, which different types of regions are interspersed among each other. Because the resists used in the present invention have chemically separated structures, anisotropic wet development of these resists is achievable with an appropriate bicomponent wet developer. Consequently, after exposure, the image formed in a thin, upper layer of the resist is transferred with vertical walls through the thickness of the resist.

摘要翻译： 公开了一种在用抗蚀剂图案化衬底的过程中增强线宽控制的方法。 用于本发明的抗蚀剂具有化学分离的结构，其特征在于两种不同化学组成的区域，其中不同类型的区域彼此散布。 因为本发明中使用的抗蚀剂具有化学分离的结构，所以用适当的双组分湿式显影剂可以实现这些抗蚀剂的各向异性湿法显影。 因此，在曝光之后，形成在抗蚀剂的较薄上层的图像通过抗蚀剂的厚度以垂直壁转印。

公开(公告)号：US5622305A

公开(公告)日：1997-04-22

申请号：US438296

申请日：1995-05-10

申请人： Donald D. Bacon ,  Cheng-Hsuan Chen ,  Ho S. Chen ,  Avishay Katz ,  King L. Tai

发明人： Donald D. Bacon ,  Cheng-Hsuan Chen ,  Ho S. Chen ,  Avishay Katz ,  King L. Tai

IPC分类号： B23K35/00 ,  H01L21/58 ,  H01L23/14 ,  H01L23/373 ,  B23K31/02 ,  B23K1/20

CPC分类号： H01L24/83 ,  B23K35/001 ,  H01L23/147 ,  H01L23/3732 ,  H01L24/29 ,  B23K2035/008 ,  B23K35/007 ,  H01L2224/04026 ,  H01L2224/2908 ,  H01L2224/29101 ,  H01L2224/29109 ,  H01L2224/29111 ,  H01L2224/29144 ,  H01L2224/83193 ,  H01L2224/8385 ,  H01L2924/01004 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01024 ,  H01L2924/01029 ,  H01L2924/01032 ,  H01L2924/01041 ,  H01L2924/01047 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/0105 ,  H01L2924/01073 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01078 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/0132 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/014 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/07802 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/14 ,  Y10T428/12819

摘要： A method for bonding one body to another, such as a laser device to a submount, uses a metallic layer composed of a Group VB metal, such as niobium, sandwiched between a non-metallic layer and solder layer formed by an approximate Au-Sn eutectic layer. Advantageously the Group VB layer is formed at a submount temperature of less than approximately 201.degree. C., advantageously less than approximately 125.degree. C., and preferably less than approximately 101.degree. C.--advantageously to a thickness in the approximate range 0.05 .mu.m to 0.2 .mu.m, or even thinner if pinholes do not develop. The non-metallic layer is located on one of the bodies, and the other body has a metallic coating advantageously capped with an Au layer.

摘要翻译： 将一体与另一体接合的方法，例如激光装置到基台，使用由诸如铌的VB族金属组成的金属层，夹在非金属层和由近似Au-Sn形成的焊料层之间 共晶层。 有利地，VB族VB层形成在小于约201℃，有利地小于约125℃，优选小于约101℃的底层温度下，有利地为约0.05μm的厚度 至0.2μm，如果针孔不发展，甚至更薄。 非金属层位于其中一个主体上，另一个主体具有有利于用Au层覆盖的金属涂层。

公开(公告)号：US07062142B2

公开(公告)日：2006-06-13

申请号：US10699091

申请日：2003-10-31

申请人： Cheng-Hsuan Chen ,  Shu Yang

发明人： Cheng-Hsuan Chen ,  Shu Yang

IPC分类号： G02B6/10

CPC分类号： C08G77/04 ,  C08G77/06 ,  Y10T428/31663

摘要： A solid includes crosslinked amphiphilic organosilicate precursors. The amphiphilic organosilicate precursors form a matrix with an array of micro-structures dispersed in the matrix.

摘要翻译： 固体包括交联的两亲性有机硅酸盐前体。 两亲性有机硅酸盐前体形成具有分散在基质中的微结构阵列的基质。

公开(公告)号：US06747123B2

公开(公告)日：2004-06-08

申请号：US10098286

申请日：2002-03-15

申请人： Cheng-Hsuan Chen ,  Shu Yang

发明人： Cheng-Hsuan Chen ,  Shu Yang

IPC分类号： C08G7706

CPC分类号： C08G77/04 ,  C08G77/06 ,  Y10T428/31663

摘要： Template-based methods fabricate organosilicate materials with mesoscopic structures. The methods include providing solutions of amphiphilic template molecules, mixing amphiphilic organosilicate precursors into the solutions to form mixtures, and evaporating solvent from the mixtures. The evaporation steps produce composites in which the amphiphilic organosilicate precursors have nontrivial mesoscopic structures.

摘要翻译： 基于模板的方法用介观结构制造有机硅酸盐材料。 这些方法包括提供两亲模板分子的溶液，将两亲性有机硅酸盐前体混合到溶液中形成混合物，并从混合物中蒸发溶剂。 蒸发步骤产生复合材料，其中两亲性有机硅酸盐前体具有非平凡的介观结构。