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    METHODS AND SYSTEMS FOR DESIGNING AND VALIDATING OPERATION OF ABATEMENT SYSTEMS
    2.
    发明申请
    METHODS AND SYSTEMS FOR DESIGNING AND VALIDATING OPERATION OF ABATEMENT SYSTEMS 审中-公开
    用于设计和确认退休系统操作的方法和系统

    公开(公告)号：US20090018688A1

    公开(公告)日：2009-01-15

    申请号：US12139472

    申请日：2008-06-14

    申请人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Charles Murray

    发明人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Charles Murray

    IPC分类号： G06F19/00

    CPC分类号： B01D53/346 ,  B01D2258/0216

    摘要： A method of developing an integrated abatement system is provided, including the steps: a) determining whether an integrated abatement system meets a destruction removal efficiency standard wherein the determination includes the steps: i) operating an electronic device manufacturing process tool using a best known method, whereby effluent containing a target species is produced; ii) abating the target species to form abated effluent, using an abatement system which is coupled to the process tool; and iii) calculating a destruction removal efficiency for the target species; and b) modifying the abatement system by altering at least one of a design parameter and an operating parameter of the abatement system to improve the destruction removal efficiency. Numerous other aspects are provided.

    摘要翻译： 提供了一种开发集成减排系统的方法，包括步骤：a）确定综合减排系统是否满足销毁去除效率标准，其中确定包括以下步骤：i）使用最佳已知方法操作电子设备制造工艺工具 由此产生含有目标物种的流出物; ii）使用与处理工具相连的减排系统来减轻目标物种以形成减排的流出物; 和iii）计算目标物种的破坏去除效率; 以及b）通过改变所述减排系统的设计参数和操作参数中的至少一个来改进所述减排系统，以提高所述破坏去除效率。 提供了许多其他方面。

    Methods and apparatus for assembling and operating electronic device manufacturing systems
    8.
    发明授权
    Methods and apparatus for assembling and operating electronic device manufacturing systems 失效
    组装和操作电子设备制造系统的方法和装置

    公开(公告)号：US08455368B2

    公开(公告)日：2013-06-04

    申请号：US12126922

    申请日：2008-05-25

    申请人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Jay J. Jung ,  Roger M. Johnson ,  Youssef A. Loldj ,  James L. Smith

    发明人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Jay J. Jung ,  Roger M. Johnson ,  Youssef A. Loldj ,  James L. Smith

    IPC分类号： H01L21/00

    CPC分类号： G05B19/4184 ,  G05B2219/31386 ,  G05B2219/45026 ,  Y02P90/04 ,  Y02P90/14 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T29/53048

    摘要： A method for operating one or more electronic device manufacturing systems is provided, including the steps 1) performing a series of electronic device manufacturing process steps with a process tool, wherein the process tool produces effluent as a byproduct of performing the series of process steps; 2) abating the effluent with an abatement tool; 3) supplying an abatement resource to the abatement tool from a first abatement resource supply; 4) changing an abatement resource supply from the first abatement resource supply to a second abatement resource supply, wherein changing the abatement resource supply comprises: i) interrupting a flow of the abatement resource from the first abatement resource supply; and ii) beginning a flow of the abatement resource from the second abatement resource supply; and 5) continuing to perform the series of process steps with the process tool, while changing, and after changing, the abatement resource supply.

    摘要翻译： 提供了一种用于操作一个或多个电子设备制造系统的方法，包括以下步骤：1）使用工艺工具执行一系列电子设备制造工艺步骤，其中所述工艺工具产生流出物作为执行所述一系列工艺步骤的副产品; 2）用减排工具减轻废水; 3）从第一减排资源提供给减排工具的减排资源; 4）将减排资源供应从第一减排资源供应改为第二减排资源供应，其中改变减排资源供应包括：i）中断来自第一减排资源供应的减排资源的流动; 和ii）从第二减排资源供应开始减排资源的流动; 5）在改变和改变减排资源供应的同时，继续与流程工具一起执行一系列流程步骤。

    METHODS AND APPARATUS FOR ASSEMBLING AND OPERATING ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS
    9.
    发明申请
    METHODS AND APPARATUS FOR ASSEMBLING AND OPERATING ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEMS 失效
    组装和操作电子设备制造系统的方法和装置

    公开(公告)号：US20080289167A1

    公开(公告)日：2008-11-27

    申请号：US12126922

    申请日：2008-05-25

    申请人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Jay J. Jung ,  Roger M. Johnson ,  Youssef A. Loldj ,  James L. Smith

    发明人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Jay J. Jung ,  Roger M. Johnson ,  Youssef A. Loldj ,  James L. Smith

    IPC分类号： B23P11/00

    CPC分类号： G05B19/4184 ,  G05B2219/31386 ,  G05B2219/45026 ,  Y02P90/04 ,  Y02P90/14 ,  Y10T29/49826 ,  Y10T29/53048

    摘要： A method for operating one or more electronic device manufacturing systems is provided, including the steps 1) performing a series of electronic device manufacturing process steps with a process tool, wherein the process tool produces effluent as a byproduct of performing the series of process steps; 2) abating the effluent with an abatement tool; 3) supplying an abatement resource to the abatement tool from a first abatement resource supply; 4) changing an abatement resource supply from the first abatement resource supply to a second abatement resource supply, wherein changing the abatement resource supply comprises: i) interrupting a flow of the abatement resource from the first abatement resource supply; and ii) beginning a flow of the abatement resource from the second abatement resource supply; and 5) continuing to perform the series of process steps with the process tool, while changing, and after changing, the abatement resource supply.

    摘要翻译： 提供了一种用于操作一个或多个电子设备制造系统的方法，包括以下步骤：1）使用工艺工具执行一系列电子设备制造工艺步骤，其中所述工艺工具产生流出物作为执行所述一系列工艺步骤的副产品; 2）用减排工具减轻废水; 3）从第一减排资源提供给减排工具的减排资源; 4）将减排资源供应从第一减排资源供应改为第二减排资源供应，其中改变减排资源供应包括：i）中断来自第一减排资源供应的减排资源的流动; 和ii）从第二减排资源供应开始减排资源的流动; 5）在改变和改变减排资源供应的同时，继续与流程工具一起执行一系列流程步骤。