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    Systems and methods for treating flammable effluent gases from manufacturing processes
    1.
    发明授权
    Systems and methods for treating flammable effluent gases from manufacturing processes 有权
    用于处理来自制造过程的易燃废气的系统和方法

    公开(公告)号：US09387428B2

    公开(公告)日：2016-07-12

    申请号：US12365886

    申请日：2009-02-04

    申请人： Daniel O. Clark ,  Mehran Moalem ,  Robbert M. Vermeulen ,  Phil Chandler

    发明人： Daniel O. Clark ,  Mehran Moalem ,  Robbert M. Vermeulen ,  Phil Chandler

    IPC分类号： B01D53/00 ,  B01D53/40

    CPC分类号： B01D53/005 ,  B01D53/40 ,  B01D2257/108 ,  B01D2258/0216

    摘要： A system for treating flammable effluent gas is provided. The system includes an exhaust conduit to carry the flammable effluent gas to an abatement unit, a control system coupled to the abatement unit to determine an operating parameter of the abatement unit, a bypass valve coupled to the exhaust conduit which is an operative responsive to the monitoring system, and a source of second gas to be mixed with the effluent gas diverted from the abatement unit when the bypass valve is operating in a bypass mode to provide a mixed gas having a flammability lower than the effluent gas. Methods of the invention as well as numerous other aspects are provided.

    摘要翻译： 提供了一种处理易燃废气的系统。 该系统包括用于将可燃性流出气体运送到减排单元的排气管道，耦合到减排单元以确定减排单元的操作参数的控制系统;联接到排气管道的旁通阀，该旁通阀是响应于 监测系统，以及当旁通阀以旁通模式操作时与从减排单元转移的废气混合的第二气体源，以提供具有低于废气的可燃性的混合气体。 提供了本发明的方法以及许多其它方面。

    METHODS AND APPARATUS FOR PROCESS ABATEMENT WITH RECOVERY AND REUSE OF ABATEMENT EFFLUENT
    2.
    发明申请
    METHODS AND APPARATUS FOR PROCESS ABATEMENT WITH RECOVERY AND REUSE OF ABATEMENT EFFLUENT 审中-公开
    回收再利用过程退出方法和装置

    公开(公告)号：US20110023908A1

    公开(公告)日：2011-02-03

    申请号：US12838146

    申请日：2010-07-16

    申请人： ANDREAS NEUBER ,  PHIL CHANDLER ,  CLIFFORD C. STOW ,  DANIEL O. CLARK ,  MICHAEL KIEFER

    发明人： ANDREAS NEUBER ,  PHIL CHANDLER ,  CLIFFORD C. STOW ,  DANIEL O. CLARK ,  MICHAEL KIEFER

    IPC分类号： B01D53/73 ,  B08B7/00 ,  H01L21/30 ,  B01J19/00 ,  B01D53/68

    CPC分类号： B08B7/0035 ,  B01D53/68 ,  B01D53/73 ,  B01D2257/2047 ,  C23C16/4405

    摘要： Methods and apparatus for recovering hydrogen fluoride (HF) are provided herein. In some embodiments, an apparatus includes a system for processing substrates, including a process chamber for processing a substrate; a fluorine generator coupled to the process chamber to provide fluorine (F2) thereto; an abatement system coupled to the process chamber to abate fluorine-containing effluents exhausted from the process chamber and to convert at least a portion of the fluorine-containing effluents into hydrogen fluoride (HF); an HF recovery system configured to at least one of collect, purify, or concentrate the HF converted by the abatement system; and a conduit for providing the recovered hydrogen fluoride (HF) to the fluorine generator or another application in the manufacturing process.

    摘要翻译： 本文提供了回收氟化氢（HF）的方法和装置。 在一些实施例中，一种装置包括用于处理衬底的系统，包括用于处理衬底的处理室; 耦合到所述处理室以向其提供氟（F2）的氟发生器; 耦合到处理室的减排系统以消除从处理室排出的含氟流出物并将至少一部分含氟流出物转化为氟化氢（HF）; HF回收系统，被配置为收集，净化或集中由减排系统转换的HF中的至少一个; 以及用于在制造过程中将回收的氟化氢（HF）提供给氟发生器或其他应用的导管。

    METHODS AND SYSTEMS FOR DESIGNING AND VALIDATING OPERATION OF ABATEMENT SYSTEMS
    3.
    发明申请
    METHODS AND SYSTEMS FOR DESIGNING AND VALIDATING OPERATION OF ABATEMENT SYSTEMS 审中-公开
    用于设计和确认退休系统操作的方法和系统

    公开(公告)号：US20090018688A1

    公开(公告)日：2009-01-15

    申请号：US12139472

    申请日：2008-06-14

    申请人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Charles Murray

    发明人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  Belynda Flippo ,  Mehran Moalem ,  Charles Murray

    IPC分类号： G06F19/00

    CPC分类号： B01D53/346 ,  B01D2258/0216

    摘要： A method of developing an integrated abatement system is provided, including the steps: a) determining whether an integrated abatement system meets a destruction removal efficiency standard wherein the determination includes the steps: i) operating an electronic device manufacturing process tool using a best known method, whereby effluent containing a target species is produced; ii) abating the target species to form abated effluent, using an abatement system which is coupled to the process tool; and iii) calculating a destruction removal efficiency for the target species; and b) modifying the abatement system by altering at least one of a design parameter and an operating parameter of the abatement system to improve the destruction removal efficiency. Numerous other aspects are provided.

    摘要翻译： 提供了一种开发集成减排系统的方法，包括步骤：a）确定综合减排系统是否满足销毁去除效率标准，其中确定包括以下步骤：i）使用最佳已知方法操作电子设备制造工艺工具 由此产生含有目标物种的流出物; ii）使用与处理工具相连的减排系统来减轻目标物种以形成减排的流出物; 和iii）计算目标物种的破坏去除效率; 以及b）通过改变所述减排系统的设计参数和操作参数中的至少一个来改进所述减排系统，以提高所述破坏去除效率。 提供了许多其他方面。

    METHODS AND APPARATUS FOR A COGENERATION ABATEMENT SYSTEM FOR ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING
    5.
    发明申请
    METHODS AND APPARATUS FOR A COGENERATION ABATEMENT SYSTEM FOR ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING 审中-公开
    用于电子设备制造的加密系统的方法和装置

    公开(公告)号：US20080310975A1

    公开(公告)日：2008-12-18

    申请号：US12126925

    申请日：2008-05-25

    申请人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  James L. Smith

    发明人： Phil Chandler ,  Daniel O. Clark ,  Robbert M. Vermeulen ,  James L. Smith

    IPC分类号： F04B17/00

    CPC分类号： G05B9/02 ,  Y02P80/15

    摘要： The present invention provides systems, methods, and apparatus for abating effluent from an electronic device manufacturing system using cogeneration. The invention includes a pump adapted to couple to a processing chamber and adapted to draw effluent from the processing chamber; a reaction chamber coupled to the pump and adapted to receive the effluent from the pump; and a turbine coupled to the reaction chamber and adapted to be driven by combustion gases from the reaction chamber. The turbine is adapted to generate power which is applied to operate the pump. Numerous additional aspects are disclosed.

    摘要翻译： 本发明提供了用于减少来自使用热电联产的电子装置制造系统的流出物的系统，方法和装置。 本发明包括适于联接到处理室并适于从处理室抽出流出物的泵; 反应室，其耦合到所述泵并适于从所述泵接收流出物; 以及联接到反应室并适于由来自反应室的燃烧气体驱动的涡轮机。 涡轮机适于产生用于操作泵的动力。 公开了许多附加方面。

    METHODS AND APPARATUS FOR TREATING EFFLUENT
    8.
    发明申请
    METHODS AND APPARATUS FOR TREATING EFFLUENT 审中-公开
    处理液体的方法和装置

    公开(公告)号：US20100258510A1

    公开(公告)日：2010-10-14

    申请号：US12755737

    申请日：2010-04-07

    申请人： FRANK F. HOOSHDARAN ,  TETSUYA ISHIKATA ,  JAY J. JUNG ,  PHIL CHANDLER ,  DANIEL O. CLARK

    发明人： FRANK F. HOOSHDARAN ,  TETSUYA ISHIKATA ,  JAY J. JUNG ,  PHIL CHANDLER ,  DANIEL O. CLARK

    IPC分类号： B01D35/00

    CPC分类号： B01D53/68 ,  B01D2251/102 ,  B01D2251/202 ,  B01D2257/204 ,  B01D2257/206 ,  B01D2257/2066 ,  B01D2257/708 ,  B01D2258/0216 ,  Y02W10/37

    摘要： Methods and apparatus for treating effluents in process systems are provided In some embodiments, a system for treating effluent includes a process chamber having a processing volume; an exhaust conduit coupled to the process chamber to remove an effluent from the processing volume; and a reactive species generator coupled to the exhaust conduit to inject a reactive species into the exhaust conduit to treat the effluent, wherein the reactive species generator generates a reactive species comprising at least one of singlet hydrogen, hydrogen ions or hydrogen radicals. In some embodiments, a method for treating effluent includes flowing an effluent from a processing volume of a process system through an exhaust conduit fluidly coupled to the processing volume; treating the effluent in the exhaust conduit with a reactive species comprising at least one of singlet hydrogen, hydrogen ions, or hydrogen radicals; and flowing the treated effluent to an abatement system.

    摘要翻译： 在一些实施方案中，用于处理流出物的系统包括具有处理量的处理室; 排出管道，其耦合到所述处理室以从所述处理容积中除去流出物; 以及反应物质发生器，其耦合到所述排气管道以将反应物质注入所述排气管道中以处理所述流出物，其中所述反应物种发生器产生包含单一氢，氢离子或氢自由基中的至少一种的活性物质。 在一些实施方案中，用于处理流出物的方法包括将来自处理系统的处理体积的流出物流经流体耦合到处理体积的排气导管; 用包含单一氢，氢离子或氢自由基中的至少一种的活性物质处理排气管道中的流出物; 并将经处理的流出物流入减排系统。

    METHODS AND APPARATUS FOR OPERATING AN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEM
    9.
    发明申请
    METHODS AND APPARATUS FOR OPERATING AN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING SYSTEM 审中-公开
    用于操作电子设备制造系统的方法和装置

    公开(公告)号：US20090222128A1

    公开(公告)日：2009-09-03

    申请号：US12365894

    申请日：2009-02-04

    申请人： Daniel O. Clark ,  Phil Chandler ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Maxime Cayer

    发明人： Daniel O. Clark ,  Phil Chandler ,  Shaun W. Crawford ,  Jay J. Jung ,  Youssef A. Loldj ,  Maxime Cayer

    IPC分类号： G05B19/18

    CPC分类号： G05B19/418 ,  G05B2219/31229 ,  Y02P90/02 ,  Y02P90/14

    摘要： Methods and apparatus for efficiently operating an electronic device manufacturing system are provided. In one aspect, an electronic device manufacturing system is provided, including: a process tool; a process tool controller linked to the process tool, wherein the process tool controller is adapted to control the process tool; a first sub-fab auxiliary system linked to the process tool controller; wherein the first sub-fab auxiliary system is adapted to operate in a first operating mode and a second operating mode; and wherein the process tool controller is adapted to cause the first sub-fab auxiliary system to change from the first operating mode to the second operating mode.

    摘要翻译： 提供了有效操作电子设备制造系统的方法和设备。 一方面，提供了一种电子设备制造系统，包括：处理工具; 与处理工具链接的过程工具控制器，其中所述过程工具控制器适于控制所述过程工具; 与处理工具控制器相连的第一子制造辅助系统; 其中所述第一子制造辅助系统适于在第一操作模式和第二操作模式中操作; 并且其中所述处理工具控制器适于使所述第一子制造辅助系统从所述第一操作模式改变到所述第二操作模式。

    SYSTEM AND METHODS FOR CONSERVATION OF EXHAUST HEAT ENERGY
    10.
    发明申请
    SYSTEM AND METHODS FOR CONSERVATION OF EXHAUST HEAT ENERGY 审中-公开
    排放热能保存系统及方法

    公开(公告)号：US20090200008A1

    公开(公告)日：2009-08-13

    申请号：US12365164

    申请日：2009-02-03

    申请人： Phil Chandler

    发明人： Phil Chandler

    IPC分类号： G05D23/19 ,  F16L53/00

    CPC分类号： F16L59/14 ,  B01D2258/0216 ,  G05D23/1919 ,  Y10T137/6443 ,  Y10T137/6579

    摘要： Methods, apparatus and systems are provided for conserving energy in an electronic device manufacturing facility. In one aspect an electronic device manufacturing system is provided including one or more process chambers; one or more abatement tools; two or more effluent conduits connecting the one or more process chambers to the one or more abatement tools; a channel adapted to house a portion of at least two of the two or more effluent conduits; and one or more heating elements adapted to heat the two or more conduits within the channel.

    摘要翻译： 提供了用于在电子设备制造设备中节省能量的方法，装置和系统。 在一个方面，提供一种包括一个或多个处理室的电子装置制造系统; 一个或多个减排工具; 将一个或多个处理室连接到一个或多个减排工具的两个或更多个排出管道; 通道，其适于容纳所述两个或更多个流出物管道中的至少两个的一部分; 以及适于加热通道内的两个或更多导管的一个或多个加热元件。