公开(公告)号：US20050072757A1

公开(公告)日：2005-04-07

申请号：US10898034

申请日：2004-07-23

申请人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

发明人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

IPC分类号： B01D19/00 ,  B29C59/02 ,  C23F1/00 ,  G03F20060101 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a method of controlling a turbulent flow of a fluid between a substrate and a template, and more specifically, controlling a turbulent flow of a fluid between droplets disposed on a substrate and a template. To that end, the method further comprises the ingression and egression of the fluid through a first and second aperture, and in a further embodiment, a plurality of apertures, to create such a turbulent flow of the fluid.

摘要翻译： 本发明涉及一种控制衬底和模板之间的流体的紊流的方法，更具体地说，控制流体在设置在衬底和模板上的液滴之间的紊流。 为此，该方法还包括流体通过第一和第二孔的进入和流出，并且在另一实施例中，多个孔，以产生流体的这种湍流。

公开(公告)号：US20050072755A1

公开(公告)日：2005-04-07

申请号：US10677639

申请日：2003-10-02

申请人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

发明人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

IPC分类号： B01D19/00 ,  B29C59/02 ,  C23F1/00 ,  G03F20060101 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a method for reducing pattern distortions in imprinting layers by reducing gas pockets present in a layer of viscous liquid deposited on a substrate. To that end, the method includes varying a transport of the gases disposed proximate to the viscous liquid. Specifically, the atmosphere proximate to the substrate wherein a pattern is to be recorded is saturated with gases that are either highly soluble, highly diffusive, or both with respect to the viscous liquid being deposited. Additionally, or in lieu of saturating the atmosphere, the pressure of the atmosphere may be reduced.

摘要翻译： 本发明涉及通过减少存在于沉积在基底上的粘性液体层中的气穴来减少压印层中的图案失真的方法。 为此，该方法包括改变靠近粘性液体设置的气体的输送。 具体地，其中待记录图案的基板附近的气氛相对于被沉积的粘性液体是高度可溶的，高度扩散的或者两者都被饱和。 另外，或者代替饱和气氛，可以降低气氛的压力。

公开(公告)号：US20050074512A1

公开(公告)日：2005-04-07

申请号：US10898037

申请日：2004-07-23

申请人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

发明人： Ian McMackin ,  Nicholas Stacey ,  Daniel Babbs ,  Duane Voth ,  Michael Watts ,  Van Truskett ,  Frank Xu ,  Ronald Voisin ,  Pankaj Lad

IPC分类号： B01D19/00 ,  B29C59/02 ,  C23F1/00 ,  G03F20060101 ,  G03F7/00

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10S425/06 ,  Y10S425/815 ,  Y10S438/909

摘要： The present invention is directed toward a system for introducing a flow of a fluid between a mold, disposed on a template, and a substrate, the system including, a fluid supply system; and a chuck body having a baffle and first and second apertures, the first and second apertures disposed between the baffle and the template, with the first and second apertures in fluid communication with the fluid supply system to produce a turbulent flow of the fluid between the mold and said substrate.

摘要翻译： 本发明涉及一种用于在设置在模板上的模具和基板之间引入流体流的系统，该系统包括：流体供应系统; 以及具有挡板和第一和第二孔的卡盘体，所述第一和第二孔设置在挡板和模板之间，其中第一和第二孔与流体供应系统流体连通，以在流体供应系统之间产生紊流 模具和所述基板。

公开(公告)号：US20070141271A1

公开(公告)日：2007-06-21

申请号：US11608374

申请日：2006-12-08

申请人： Frank Xu ,  Ian McMackin ,  Pankaj Lad ,  Michael Watts

发明人： Frank Xu ,  Ian McMackin ,  Pankaj Lad ,  Michael Watts

IPC分类号： C08F2/48

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： The present invention provides a method of controlling the distribution of a fluid on a body that features compensating for varying distribution of constituent components of a composition that moved over a surface of a substrate. To that end, the method includes generating a sequence of patterns of liquid upon a substrate, each of which includes a plurality of spaced-apart liquid regions, with voids being defined between adjacent liquid regions. A second of the patterns of liquid of the sequence is arranged so that the liquid regions associated therewith are in superimposition with the voids of a first of the patterns of liquid of the sequence.

摘要翻译： 本发明提供一种控制流体在体上的分布的方法，其特征在于补偿在衬底的表面上移动的组合物的组成成分的变化分布。 为此，该方法包括在衬底上产生一系列液体图案，每个衬底包括多个间隔开的液体区域，空隙位于相邻的液体区域之间。 布置了序列液体的第二种图案，使得与其相关联的液体区域与序列的第一种液体图案的空隙重叠。

公开(公告)号：US20060035029A1

公开(公告)日：2006-02-16

申请号：US10919224

申请日：2004-08-16

申请人： Frank Xu ,  Christopher Mackay ,  Pankaj Lad ,  Ian McMackin ,  Van Truskett ,  Wesley Martin ,  Edward Fletcher ,  David Wang ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts

发明人： Frank Xu ,  Christopher Mackay ,  Pankaj Lad ,  Ian McMackin ,  Van Truskett ,  Wesley Martin ,  Edward Fletcher ,  David Wang ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts

IPC分类号： B05D3/12 ,  B05D3/02

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  Y10T428/1386

摘要： The present invention includes a method and a composition to form a layer on a substrate having uniform etch characteristics. To that end, the method includes controlling variations in the characteristics of a solid layer, such etch characteristics over the area of the solid layer as a function of the relative rates of evaporation of the liquid components that comprise the composition from which the solid layer is formed.

摘要翻译： 本发明包括在具有均匀蚀刻特性的基底上形成层的方法和组合物。 为此，该方法包括控制固体层的特性的变化，这种固体层面积上的这种蚀刻特性是构成组合物的液体组分的相对蒸发速率的函数的函数，其中固体层是固体层 形成。

公开(公告)号：US20080085465A1

公开(公告)日：2008-04-10

申请号：US11858687

申请日：2007-09-20

申请人： Frank Xu ,  Edward Fletcher ,  Pankaj Lad ,  Michael Watts

发明人： Frank Xu ,  Edward Fletcher ,  Pankaj Lad ,  Michael Watts

IPC分类号： G03C1/73

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： The present invention includes a method of solidifying a polymerizable liquid to form a film on a substrate that features minimizing inhibition of the polymerization process by oxygen contained in the atmosphere surrounding the polymerizable liquid. To that end, the polymerizable liquid includes, inter alia, an initiator that consumes oxygen that interacts with the polymerizable liquid and generates additional free radicals to facilitate the polymerizable process.

摘要翻译： 本发明包括固化可聚合液体以在基材上形成膜的方法，该方法的特征在于使包围在可聚合液体周围的气氛中的氧的聚合过程的抑制最小化。 为此，可聚合液体尤其包括消耗与可聚合液体相互作用的氧的引发剂，并产生额外的自由基以促进可聚合过程。

公开(公告)号：US20060062922A1

公开(公告)日：2006-03-23

申请号：US10948511

申请日：2004-09-23

申请人： Frank Xu ,  Edward Fletcher ,  Pankaj Lad ,  Michael Watts

发明人： Frank Xu ,  Edward Fletcher ,  Pankaj Lad ,  Michael Watts

IPC分类号： B05D3/02

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： The present invention includes a method of solidifying a polymerizable liquid to form a film on a substrate that features minimizing inhibition of the polymerization process by oxygen contained in the atmosphere surrounding the polymerizable liquid. To that end, the polymerizable liquid includes, inter alia, an initiator that consumes oxygen that interacts with the polymerizable liquid and generates additional free radicals to facilitate the polymerization process.

摘要翻译： 本发明包括固化可聚合液体以在基材上形成薄膜的方法，其特征在于使包围在可聚合液体周围的气氛中的氧的聚合过程的抑制最小化。 为此，可聚合液体尤其包括消耗与可聚合液体相互作用的氧的引发剂，并产生另外的自由基以促进聚合过程。

公开(公告)号：US20060158651A1

公开(公告)日：2006-07-20

申请号：US11347198

申请日：2006-02-03

申请人： Michael Watts ,  Ian McMackin

发明人： Michael Watts ,  Ian McMackin

IPC分类号： G01B11/00

CPC分类号： B29C35/0888 ,  B29C59/022 ,  B29C59/026 ,  B29C2035/0827 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002 ,  G03F9/00

摘要： Described are methods for patterning a substrate by imprint lithography. Imprint lithography is a process in which a liquid is dispensed onto a substrate. A template is brought into contact with the liquid and the liquid is cured. The cured liquid includes an imprint of any patterns formed in the template. Alignment of the template with a previously formed layer on a substrate, in one embodiment, is accomplished by using scatterometry.

摘要翻译： 描述了通过压印光刻图案化衬底的方法。 压印光刻是将液体分配到基板上的过程。 使模板与液体接触并且液体被固化。 固化液体包括在模板中形成的任何图案的印记。 在一个实施例中，模板与衬底上预先形成的层的对准通过使用散射测量来实现。

公开(公告)号：US20060266916A1

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：US11136897

申请日：2005-05-25

申请人： Michael Miller ,  Edward Fletcher ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts ,  Ian McMackin

发明人： Michael Miller ,  Edward Fletcher ,  Nicholas Stacey ,  Michael Watts ,  Ian McMackin

IPC分类号： B29C35/12

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

摘要： The present invention is directed towards a template, transmissive to energy having a predetermined wavelength, having first and second opposed sides and features a coating disposed thereon to limit the volume of the template through which the energy may propagate. In a first embodiment, the template includes, inter alia, a mold, having a plurality of protrusions and recessions, positioned on a first region of the first side; and a coating positioned upon a second region of the first side, with the coating having properties to block the energy from propagating between the first and second opposed sides.

摘要翻译： 本发明涉及一种对具有预定波长的能量透射的模板，其具有第一和第二相对侧，并且具有设置在其上的涂层，以限制能量可以传播的模板的体积。 在第一实施例中，模板尤其包括定位在第一侧的第一区域上的具有多个突起和凹陷的模具; 以及位于所述第一侧的第二区域上的涂层，所述涂层具有阻挡能量在所述第一和第二相对侧之间传播的性质。

公开(公告)号：US20050185169A1

公开(公告)日：2005-08-25

申请号：US10782187

申请日：2004-02-19

申请人： Ian McMackin ,  Philip Schumaker ,  Byung-Jin Choi ,  Sidlgata Sreenivasan ,  Michael Watts

发明人： Ian McMackin ,  Philip Schumaker ,  Byung-Jin Choi ,  Sidlgata Sreenivasan ,  Michael Watts

IPC分类号： B81C1/00 ,  B81C99/00 ,  G01N21/84 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20 ,  G01N21/88

CPC分类号： G03F7/0002 ,  B29C43/003 ,  B29C2043/025 ,  B81C1/0046 ,  B81C99/004 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G01N21/8422 ,  G03F7/70625 ,  G03F7/7065

摘要： The present invention is directed to providing a method and system to measure characteristics of a film disposed on a substrate. The method includes identifying a plurality of processing regions on the film; measuring characteristics of a subset of the plurality of processing regions, defining measured characteristics; determining a variation of one of the measured characteristics; and associating a cause of the variations based upon a comparison of the one of the measured characteristics to measured characteristics associated with the remaining processing regions of the subset. The system carries out the aforementioned method.

摘要翻译： 本发明旨在提供一种测量设置在基底上的膜的特性的方法和系统。 该方法包括识别胶片上的多个处理区域; 测量所述多个处理区域的子集的特征，定义测量的特征; 确定测量特征之一的变化; 并且基于所测量的特征之一与与所述子集的剩余处理区域相关联的测量特征的比较来将所述变化的原因相关联。 系统执行上述方法。