公开(公告)号：US4966664A

公开(公告)日：1990-10-30

申请号：US335858

申请日：1989-04-10

申请人： Hermann Buerk ,  Thomas Wagner ,  Michael Steinhauser

发明人： Hermann Buerk ,  Thomas Wagner ,  Michael Steinhauser

IPC分类号： G03F7/42 ,  C25F1/00 ,  H01L21/311

CPC分类号： H01L21/31133 ,  C25F1/00

摘要： A method for removing photoresists, particularly those stressed during etching is provided. Pursuant to the method, an electrolysis is performed in order to promote basic decoating bath, wherein the substrate carrying the stressed photoresist structure is wired as a cathode. Gases arising directly at the substrate surface or, respectively, at the exposed metallic surfaces, effect a complete decoating the photoresist structure that at the same time is dissolving in the basic bath.

摘要翻译： 提供了一种去除光致抗蚀剂的方法，特别是在蚀刻过程中应力的方法。 根据该方法，进行电解以促进碱性脱色浴，其中携带受压光致抗蚀剂结构的基材作为阴极接线。 直接在基材表面或暴露的金属表面产生的气体完全脱漆光刻胶结构，同时溶解在碱性浴中。

公开(公告)号：US4447292A

公开(公告)日：1984-05-08

申请号：US455595

申请日：1983-01-04

申请人： Hans Schuster-Woldan ,  Hermann Buerk ,  Dirk Koch ,  Kaspar Weingand

发明人： Hans Schuster-Woldan ,  Hermann Buerk ,  Dirk Koch ,  Kaspar Weingand

IPC分类号： G01N27/18 ,  C23F1/00 ,  C25D1/08 ,  G01F1/684 ,  C23F1/02 ,  B44C1/22 ,  C03C15/00 ,  C03C25/06

CPC分类号： G01F1/6845 ,  C25D1/08

摘要： A method for manufacturing unsupported metal lattice structures, such as nickel lattices for use as micro-flow sensors in gas analysis devices, employs the steps of two-sided vacuum metallization on a substrate, several photoresist steps, an electroplating step, and an etching step. A number of units can be produced by this method on a single substrate.

摘要翻译： 用于制造无支撑金属晶格结构的方法，例如用作气体分析装置中的微流量传感器的镍格，采用在基板上的双面真空金属化步骤，若干光致抗蚀剂步骤，电镀步骤和蚀刻步骤 。 通过这种方法可以在单个基底上生产多个单位。

公开(公告)号：US4505539A

公开(公告)日：1985-03-19

申请号：US415708

申请日：1982-09-07

申请人： Franz Auracher ,  Hermann Buerk ,  Rudolf Keil ,  Michael Stockmann ,  Kaspar Weingand ,  Karl-Heinz Zeitler

发明人： Franz Auracher ,  Hermann Buerk ,  Rudolf Keil ,  Michael Stockmann ,  Kaspar Weingand ,  Karl-Heinz Zeitler

IPC分类号： G02B6/00 ,  G02B6/35 ,  G02B26/02 ,  G02B26/08 ,  G02F1/01 ,  G02F1/15 ,  G02F1/313 ,  G02B5/14

CPC分类号： G02F1/3131 ,  G02B26/004 ,  G02B6/3538 ,  G02F1/011 ,  G02F1/1506 ,  G02B6/351 ,  G02B6/3514 ,  G02B6/3522 ,  G02B6/353 ,  G02B6/355 ,  G02B6/3552 ,  G02B6/357 ,  G02B6/3572

摘要： An optical device, such as the switch, for controlling the passage of a light beam into and out of an end face of a waveguide such as a glass fiber includes utilizing either a layer or drop of liquid material to control the light passage. The liquid material can be a layer, which has changeable optical properties, which can occur by applying a magnetic field, heat or electrical field or the material can be a layer of electrolyte material which will precipitate a reflective layer or electrochromic layer in response to an application of an electrical field. In another embodiment, the liquid material may be moved into and out of engagement with the end face to change the reflective nature of the end face and to cause decoupling of light from the end face or block the transmission of light.

摘要翻译： 诸如开关的光学装置，用于控制光束进入和流出诸如玻璃纤维的波导的端面的光束，包括利用液体材料层或液滴来控制光通过。 液体材料可以是具有可变光学性质的层，其可以通过施加磁场，热或电场而发生，或者材料可以是电解质材料层，其将响应于一个或多个反应层而沉淀反射层或电致变色层 应用电场。 在另一个实施例中，液体材料可以移动到与端面接合并脱离与端面的接合，以改变端面的反射性质并导致光从端面的解耦或阻挡光的传输。