公开(公告)号：US20110237062A1

公开(公告)日：2011-09-29

申请号：US13069848

申请日：2011-03-23

申请人： Hoonjoo Na ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Sughun Hong ,  Hye-Lan Lee ,  Hyung-seok Hong

发明人： Hoonjoo Na ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Sughun Hong ,  Hye-Lan Lee ,  Hyung-seok Hong

IPC分类号： H01L21/28

CPC分类号： H01L21/823842 ,  H01L29/66545

摘要： A method of fabricating a semiconductor device includes forming an interlayer dielectric on a substrate, the interlayer dielectric including first and second openings respectively disposed in first and second regions formed separately in the substrate; fondling a first conductive layer filling the first and second openings; etching the first conductive layer such that a bottom surface of the first opening is exposed and a portion of the first conductive layer in the second opening remains; and forming a second conductive layer filling the first opening and a portion of the second opening.

摘要翻译： 制造半导体器件的方法包括在衬底上形成层间电介质，所述层间电介质包括分别设置在所述衬底中分开形成的第一和第二区域中的第一和第二开口; 抚弄填充第一和第二开口的第一导电层; 蚀刻第一导电层，使得第一开口的底表面露出，并且第二开口中的第一导电层的一部分保留; 以及形成填充所述第一开口和所述第二开口的一部分的第二导电层。

公开(公告)号：US08309411B2

公开(公告)日：2012-11-13

申请号：US13069848

申请日：2011-03-23

申请人： Hoonjoo Na ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Sughun Hong ,  Hye-Lan Lee ,  Hyung-Seok Hong

发明人： Hoonjoo Na ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Sughun Hong ,  Hye-Lan Lee ,  Hyung-Seok Hong

IPC分类号： H01L21/283 ,  H01L21/336

CPC分类号： H01L21/823842 ,  H01L29/66545

摘要： A method of fabricating a semiconductor device includes forming an interlayer dielectric on a substrate, the interlayer dielectric including first and second openings respectively disposed in first and second regions formed separately in the substrate; forming a first conductive layer filling the first and second openings; etching the first conductive layer such that a bottom surface of the first opening is exposed and a portion of the first conductive layer in the second opening remains; and forming a second conductive layer filling the first opening and a portion of the second opening.

摘要翻译： 制造半导体器件的方法包括在衬底上形成层间电介质，所述层间电介质包括分别设置在所述衬底中分开形成的第一和第二区域中的第一和第二开口; 形成填充所述第一和第二开口的第一导电层; 蚀刻第一导电层，使得第一开口的底表面露出，并且第二开口中的第一导电层的一部分保留; 以及形成填充所述第一开口和所述第二开口的一部分的第二导电层。

公开(公告)号：US20150035077A1

公开(公告)日：2015-02-05

申请号：US14519535

申请日：2014-10-21

申请人： Hye-Lan Lee ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Huyong Lee ,  Hyung-seok Hong

发明人： Hye-Lan Lee ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Huyong Lee ,  Hyung-seok Hong

IPC分类号： H01L27/092 ,  H01L29/49 ,  H01L29/161 ,  H01L29/423 ,  H01L29/51

CPC分类号： H01L27/092 ,  H01L21/28088 ,  H01L21/823842 ,  H01L29/161 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/42364 ,  H01L29/42376 ,  H01L29/495 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66545

摘要： Methods of manufacturing a MOS transistor are provided. The methods may include forming first and second trenches. The methods may further include forming first metal patterns within portions of the first and second trenches. The methods may additionally include removing the first metal patterns from the second trench while at least portions of the first metal patterns remain within the first trench. The methods may also include forming a second metal layer within the first and second trenches, the second metal layer formed on the first metal patterns within the first trench.

摘要翻译： 提供制造MOS晶体管的方法。 所述方法可以包括形成第一和第二沟槽。 所述方法还可以包括在第一和第二沟槽的部分内形成第一金属图案。 所述方法还可以包括从第二沟槽移除第一金属图案，同时至少部分第一金属图案保留在第一沟槽内。 所述方法还可以包括在第一和第二沟槽内形成第二金属层，第二金属层形成在第一沟槽内的第一金属图案上。

公开(公告)号：US20120052641A1

公开(公告)日：2012-03-01

申请号：US13217871

申请日：2011-08-25

申请人： Hye-Lan Lee ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Huyong Lee ,  Hyung-seok Hong

发明人： Hye-Lan Lee ,  Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Huyong Lee ,  Hyung-seok Hong

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L27/092 ,  H01L21/28088 ,  H01L21/823842 ,  H01L29/161 ,  H01L29/4236 ,  H01L29/42364 ,  H01L29/42376 ,  H01L29/495 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/517 ,  H01L29/66545

摘要： Methods of manufacturing a MOS transistor are provided. The methods may include forming first and second trenches. The methods may further include forming first metal patterns within portions of the first and second trenches. The methods may additionally include removing the first metal patterns from the second trench while at least portions of the first metal patterns remain within the first trench. The methods may also include forming a second metal layer within the first and second trenches, the second metal layer formed on the first metal patterns within the first trench.

摘要翻译： 提供制造MOS晶体管的方法。 所述方法可以包括形成第一和第二沟槽。 所述方法还可以包括在第一和第二沟槽的部分内形成第一金属图案。 所述方法还可以包括从第二沟槽移除第一金属图案，同时至少部分第一金属图案保留在第一沟槽内。 所述方法还可以包括在第一和第二沟槽内形成第二金属层，第二金属层形成在第一沟槽内的第一金属图案上。

公开(公告)号：US08044469B2

公开(公告)日：2011-10-25

申请号：US12585313

申请日：2009-09-11

申请人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

发明人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

IPC分类号： H01L21/70

CPC分类号： H01L21/823842 ,  H01L21/823857 ,  H01L27/0629 ,  H01L27/0805 ,  H01L27/092 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517

摘要： A semiconductor device and associated methods, the semiconductor device including a semiconductor substrate with a first well region, a first gate electrode disposed on the first well region, and a first N-type capping pattern, a first P-type capping pattern, and a first gate dielectric pattern disposed between the first well region and the first gate electrode.

摘要翻译： 一种半导体器件及相关方法，所述半导体器件包括具有第一阱区的半导体衬底，设置在第一阱区上的第一栅电极和第一N型封盖图案，第一P型封盖图案和 第一栅极电介质图案，设置在第一阱区域和第一栅极电极之间。

公开(公告)号：US08633546B2

公开(公告)日：2014-01-21

申请号：US13554514

申请日：2012-07-20

申请人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

发明人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

IPC分类号： H01L21/70

CPC分类号： H01L21/823842 ,  H01L21/823857 ,  H01L27/0629 ,  H01L27/0805 ,  H01L27/092 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517

摘要： A semiconductor device and associated methods, the semiconductor device including a semiconductor substrate with a first well region, a first gate electrode disposed on the first well region, and a first N-type capping pattern, a first P-type capping pattern, and a first gate dielectric pattern disposed between the first well region and the first gate electrode.

摘要翻译： 一种半导体器件及相关方法，所述半导体器件包括具有第一阱区的半导体衬底，设置在第一阱区上的第一栅电极和第一N型封盖图案，第一P型封盖图案和 第一栅极电介质图案，设置在第一阱区域和第一栅极电极之间。

公开(公告)号：US08278168B2

公开(公告)日：2012-10-02

申请号：US13237051

申请日：2011-09-20

申请人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

发明人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

IPC分类号： H01L21/8242

CPC分类号： H01L21/823842 ,  H01L21/823857 ,  H01L27/0629 ,  H01L27/0805 ,  H01L27/092 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517

摘要： A semiconductor device and associated methods, the semiconductor device including a semiconductor substrate with a first well region, a first gate electrode disposed on the first well region, and a first N-type capping pattern, a first P-type capping pattern, and a first gate dielectric pattern disposed between the first well region and the first gate electrode.

摘要翻译： 一种半导体器件及相关方法，所述半导体器件包括具有第一阱区的半导体衬底，设置在第一阱区上的第一栅电极和第一N型封盖图案，第一P型封盖图案和 第一栅极电介质图案，设置在第一阱区域和第一栅极电极之间。

公开(公告)号：US20120009746A1

公开(公告)日：2012-01-12

申请号：US13237051

申请日：2011-09-20

申请人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

发明人： Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sunghun Hong ,  Sangjin Hyun ,  Hoonjoo Na ,  Hyung-seok Hong

IPC分类号： H01L21/336

CPC分类号： H01L21/823842 ,  H01L21/823857 ,  H01L27/0629 ,  H01L27/0805 ,  H01L27/092 ,  H01L29/4966 ,  H01L29/513 ,  H01L29/517

摘要： A semiconductor device and associated methods, the semiconductor device including a semiconductor substrate with a first well region, a first gate electrode disposed on the first well region, and a first N-type capping pattern, a first P-type capping pattern, and a first gate dielectric pattern disposed between the first well region and the first gate electrode.

摘要翻译： 一种半导体器件及相关方法，所述半导体器件包括具有第一阱区的半导体衬底，设置在第一阱区上的第一栅电极和第一N型封盖图案，第一P型封盖图案和 第一栅极电介质图案，设置在第一阱区域和第一栅极电极之间。

公开(公告)号：US20100102399A1

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：US12606327

申请日：2009-10-27

申请人： Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sughun Hong

发明人： Sangjin Hyun ,  Yugyun Shin ,  Hongbae Park ,  Hagju Cho ,  Sughun Hong

IPC分类号： H01L29/78 ,  H01L21/8236

CPC分类号： H01L21/823807 ,  H01L21/823835 ,  H01L21/823842 ,  H01L29/51 ,  H01L29/66537 ,  H01L29/66545 ,  H01L29/7833

摘要： Methods of forming field effect transistors include forming a first gate electrode on a semiconductor substrate and forming insulating spacers on sidewalls of the first gate electrode. At least a portion of the first gate electrode is then removed from between the insulating spacers to thereby expose inner sidewalls of the insulating spacers. Threshold-voltage adjusting impurities are then implanted into the semiconductor substrate, using the insulating spacers as an implant mask. These threshold-voltage adjusting impurities are selected from a group consisting of alkali metals from Group 1 of the periodic chart and halogens from Group 17 of the periodic chart. A second gate electrode is then formed between the inner sidewalls of the insulating spacers.

摘要翻译： 形成场效应晶体管的方法包括在半导体衬底上形成第一栅电极，并在第一栅电极的侧壁上形成绝缘衬垫。 然后从绝缘间隔物之间​​移除第一栅电极的至少一部分，从而暴露绝缘间隔物的内侧壁。 然后使用绝缘间隔物作为植入物掩模将阈值电压调整杂质注入到半导体衬底中。 这些阈值电压调节杂质选自周期表第1组的碱金属和周期表第17组的卤素。 然后在绝缘间隔件的内侧壁之间形成第二栅电极。