-
公开(公告)号：US07354168B2
公开(公告)日：2008-04-08
申请号：US10848210
申请日：2004-05-18
申请人： Hubert Holderer , Andreas Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann , Jurgen Faltus , Berndt Warm , Stefan Dornheim
发明人： Hubert Holderer , Andreas Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann , Jurgen Faltus , Berndt Warm , Stefan Dornheim
CPC分类号： G03F7/70075 , G02B5/09 , G02B7/1821 , G02B7/1824 , G02B7/198 , G02B26/0833 , G03F7/70108 , G03F7/70141 , G03F7/70175 , G03F7/702
摘要： A facet mirror (10) is provided with a number of mirror facets (11), in which the mirror facets (11) respectively have a spherical or conical facet body (17) with a reflecting surface (12). The side of the facet body (17) averted from the reflecting surface (12) is mounted in a bearing device (15).
摘要翻译： 小面反射镜（10）设置有多个镜面（11），其中镜面（11）分别具有带有反射表面（12）的球形或圆锥形小面体（17）。 从反射面（12）避开的小面体（17）的一侧安装在轴承装置（15）中。
-
公开(公告)号：US20050030653A1
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：US10848210
申请日：2004-05-18
申请人： Hubert Holderer , Andreas Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann , Jurgen Faltus , Berndt Warm , Stefan Dornheim
发明人： Hubert Holderer , Andreas Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann , Jurgen Faltus , Berndt Warm , Stefan Dornheim
CPC分类号： G03F7/70075 , G02B5/09 , G02B7/1821 , G02B7/1824 , G02B7/198 , G02B26/0833 , G03F7/70108 , G03F7/70141 , G03F7/70175 , G03F7/702
摘要： Facet mirror having a number of mirror facets A facet mirror (10) is provided with a number of mirror facets (11), in which the mirror facets (11) respectively have a spherical or conical facet body (17) with a reflecting surface (12). The side of the facet body (17) averted from the reflecting surface (12) is mounted in a bearing device (15).
摘要翻译： 具有多个镜面的面镜具有多个镜面（11），其中镜面（11）分别具有球面或圆锥形小面体（17），其具有反射表面（11） 12）。 从反射面（12）避开的小面体（17）的一侧安装在轴承装置（15）中。
-
公开(公告)号：US07090362B2
公开(公告)日：2006-08-15
申请号：US10841846
申请日：2004-05-07
申请人： Hubert Holderer , Andreas Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann
发明人： Hubert Holderer , Andreas Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann
CPC分类号： G03F7/70258 , G02B5/09 , G02B7/1821 , G02B7/1824 , G02B26/0816 , G03F7/70075 , G03F7/70141 , G03F7/702 , G03F7/70275
摘要： In a facet mirror with a number of mirror facets, wherein the mirror facets are provided with reflecting surfaces, the mirror facets are mounted jointly in a basic body via bearing devices. The mirror facets comprise mirror bodies contacting at the periphery with the bearing devices via a surface, line or point contact. The preferred field of use of the facet mirrors is a projection objective of a projection exposure machine in microlithography for fabricating semiconductor elements.
摘要翻译： 在具有多个镜面的小平面镜中，其中镜面设置有反射面，镜面通过轴承装置联合地安装在基体内。 镜面包括通过表面，线或点接触在外周与轴承装置接触的镜体。 小平面镜的优选使用领域是用于制造半导体元件的微光刻中的投影曝光机的投影物镜。
-
公开(公告)号：US20050030656A1
公开(公告)日：2005-02-10
申请号：US10841846
申请日：2004-05-07
申请人： Hubert Holderer , Andres Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann
发明人： Hubert Holderer , Andres Heisler , Wolfgang Singer , Markus Weiss , Andreas Seifert , Frank Melzer , Heinz Mann
CPC分类号： G03F7/70258 , G02B5/09 , G02B7/1821 , G02B7/1824 , G02B26/0816 , G03F7/70075 , G03F7/70141 , G03F7/702 , G03F7/70275
摘要： In a facet mirror with a number of mirror facets, wherein the mirror facets are provided with reflecting surfaces, the mirror facets are mounted jointly in a basic body via bearing devices. The mirror facets comprise mirror bodies contacting at the periphery with the bearing devices via a surface, line or point contact. The preferred field of use of the facet mirrors is a projection objective of a projection exposure machine in microlithography for fabricating semiconductor elements.
摘要翻译： 在具有多个镜面的小平面镜中，其中镜面设置有反射面，镜面通过轴承装置联合地安装在基体内。 镜面包括通过表面，线或点接触在外周与轴承装置接触的镜体。 小平面镜的优选使用领域是用于制造半导体元件的微光刻中的投影曝光机的投影物镜。
-
公开(公告)号：US20070019310A1
公开(公告)日：2007-01-25
申请号：US10563701
申请日：2004-07-08
申请人： Andreas Seifert , Frank Melzer , Andreas Heisler , Heinz Mann , Gerhard Romeyn
发明人： Andreas Seifert , Frank Melzer , Andreas Heisler , Heinz Mann , Gerhard Romeyn
IPC分类号： G02B5/08
CPC分类号： G03F7/70075 , G02B5/08 , G02B5/09 , G03F7/70141 , G03F7/702 , G03F7/70825 , G21K2201/06
摘要： In a method for producing mirror facets (1) for facet mirrors in illuminating devices or projection exposure machines in microlithography by using radiation in the extreme ultraviolet range, individual tilting angles are recessed into an optical surface (2) of the mirror facet (1), preferably a surface with tilting angles relative to a reference surface of the mirror facet (1) is machined into or on said optical surface.
摘要翻译： 在通过使用在极紫外线范围内的辐射的微照相中的用于在照明装置或投影曝光机中制造用于刻面镜的镜面（1）的方法中，各个倾斜角度凹入到镜面（1）的光学表面（2）中， 优选地，相对于镜面（1）的参考表面具有倾斜角度的表面被加工到所述光学表面中或所述光学表面上。
-
-
-
-
搜索结果
5 条记录 (耗时 0.032 秒)
