公开(公告)号：US20160018677A1

公开(公告)日：2016-01-21

申请号：US14332886

申请日：2014-07-16

Applicant: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION

Inventor： John J. ELLIS-MONAGHAN ,  William M. GREEN ,  Michael J. HAUSER ,  Edward W. KIEWRA ,  Xuefeng LIU ,  Steven M. SHANK

IPC: G02F1/025 ,  H01L29/10 ,  H01L29/08 ,  H01L29/423 ,  H01L29/40 ,  G02B6/136 ,  H01L29/49 ,  H01L27/088 ,  H01L21/306 ,  H01L29/66 ,  H01L27/06 ,  H01L29/78 ,  H01L29/06

CPC classification number: G02F1/025 ,  G02B6/136 ,  G02B2006/12061 ,  G02B2006/12142 ,  G02B2006/12176 ,  H01L21/30604 ,  H01L27/0617 ,  H01L27/088 ,  H01L29/0634 ,  H01L29/0653 ,  H01L29/0696 ,  H01L29/0865 ,  H01L29/0882 ,  H01L29/1095 ,  H01L29/402 ,  H01L29/42356 ,  H01L29/4916 ,  H01L29/66681 ,  H01L29/66689 ,  H01L29/7823 ,  H01L29/7824 ,  H01L29/78624

Abstract: A device includes a laterally diffused metal-oxide-semiconductor (LDMOS) device integrated with an optical modulator. An optical waveguide of the optical modulator includes a silicon-containing structure in a drift region of the LDMOS device.

Abstract translation: 一种器件包括与光学调制器集成的横向扩散的金属氧化物半导体（LDMOS）器件。 光调制器的光波导包括在LDMOS器件的漂移区域中的含硅结构。