公开(公告)号：US20050229703A1

公开(公告)日：2005-10-20

申请号：US11106354

申请日：2005-04-14

申请人： John Geen ,  William Clark ,  Jinbo Kuang

发明人： John Geen ,  William Clark ,  Jinbo Kuang

IPC分类号： G01C19/02 ,  G01C19/56 ,  G01P15/00 ,  G01P9/02

CPC分类号： G01C19/5719 ,  G01C19/574

摘要： A coupling apparatus allows anti-phase movements of inertial sensor element frames along parallel axes but substantially prevents in-phase movements of the frames. The coupling apparatus includes a bar coupled between first and second sensor element frames and at least one supporting structure supporting the bar. The at least one structure is coupled to a substrate underlying the frames. The structures allow the bar to rotate at a pivot point when the frames move in anti-phase to one another along substantially parallel axes but substantially prevent in-phase movements of the frames.

摘要翻译： 耦合装置允许惯性传感器元件框架沿着平行轴线的相位移动，但是基本上防止框架的相位移动。 联接装置包括连接在第一和第二传感器元件框架之间的杆和支撑杆的至少一个支撑结构。 至少一个结构耦合到框架下方的基板。 当框架沿着基本上平行的轴线彼此反相移动而基本上防止框架的相位移动时，结构允许杆在枢转点处旋转。

公开(公告)号：US20060230830A1

公开(公告)日：2006-10-19

申请号：US11106053

申请日：2005-04-14

申请人： John Geen ,  Jinbo Kuang

发明人： John Geen ,  Jinbo Kuang

IPC分类号： G01P15/10

CPC分类号： G01C19/574

摘要： An inertial sensor includes a cross-quad configuration of four interconnected sensor elements. Each sensor element has a frame and a resonator suspended within the frame. The sensor elements are arranged so that the frames of adjacent sensor elements are allowed to move in anti-phase to one another but are substantially prevented from moving in phase with one another. The sensor elements may be configured in a horizontally coupled arrangement, a vertically coupled arrangement, or a fully coupled arrangement. A pair of sensor elements may be vertically coupled.

摘要翻译： 惯性传感器包括四个互连传感器元件的十字形配置。 每个传感器元件具有悬架在框架内的框架和谐振器。 传感器元件布置成使得相邻传感器元件的框架被允许彼此反相移动，但是基本上被阻止彼此相位移动。 传感器元件可以被配置为水平耦合布置，垂直耦合布置或完全耦合布置。 一对传感器元件可以垂直联接。

公开(公告)号：US20050205959A1

公开(公告)日：2005-09-22

申请号：US11039368

申请日：2005-01-20

申请人： Kevin Chau ,  Lawrence Felton ,  John Geen ,  Michael Judy ,  John Martin

发明人： Kevin Chau ,  Lawrence Felton ,  John Geen ,  Michael Judy ,  John Martin

IPC分类号： B81B7/00 ,  G01K1/00 ,  G01K1/08 ,  G01P1/02 ,  G01P15/00 ,  G01P15/08 ,  H01L31/058

CPC分类号： B81B7/0041 ,  B81B2201/0235 ,  B81C2203/0109 ,  B81C2203/0136 ,  B81C2203/019 ,  G01K1/08 ,  G01P1/023 ,  G01P15/008 ,  G01P15/0802

摘要： A sensor element is capped by bonding or otherwise forming a cap on a sensor element. The sensor may be hermetically sealed by using a hermetic cap and hermetic bonding material or by applying a hermetic coating. The sensor may be filled with a gas at an elevated pressure. The sensor may alternatively or additionally be filled with a special gas, such as a gas having a density-to-viscosity ratio above approximately 0.2.

摘要翻译： 传感器元件通过在传感器元件上接合或以其他方式形成盖而被盖住。 传感器可以通过使用密封盖和密封接合材料或通过施加气密涂层而气密密封。 传感器可以在升高的压力下填充气体。 传感器可以替代地或另外填充特殊气体，例如密度 - 粘度比高于约0.2的气体。

公开(公告)号：US20060266118A1

公开(公告)日：2006-11-30

申请号：US11394386

申请日：2006-03-28

申请人： Timothy Denison ,  David Hollocher ,  John Geen

发明人： Timothy Denison ,  David Hollocher ,  John Geen

IPC分类号： G01P15/125

CPC分类号： G01C19/5719 ,  G01P1/003 ,  G01P15/125 ,  G01P15/18 ,  G01P2015/082

摘要： A capacitive accelerometer. The capacitive accelerometer includes a first fixed electrode and second fixed electrode. The first fixed electrode is separated from the second fixed electrode by a gap. A movable electrode is positioned between the first and second fixed electrodes, the movable electrode being movable between the first and second fixed electrodes. The movable electrode is dimensioned to produce a squeeze damping effect between the movable and fixed electrodes to damp movement of the movable electrode. Circuitry determines the position of the movable electrode in any position across substantially the entire gap between the first and second fixed electrodes.

摘要翻译： 电容式加速度计 电容加速度计包括第一固定电极和第二固定电极。 第一固定电极通过间隙与第二固定电极分离。 可动电极位于第一和第二固定电极之间，可动电极可在第一和第二固定电极之间移动。 可移动电极的尺寸被设计成在可移动电极和固定电极之间产生挤压阻尼效应，以阻止可动电极的运动。 电路确定可移动电极在跨过第一和第二固定电极之间的整个间隙的任何位置的位置。

公开(公告)号：US20060144174A1

公开(公告)日：2006-07-06

申请号：US11241754

申请日：2005-09-30

申请人： John Geen

发明人： John Geen

IPC分类号： G01C19/38

CPC分类号： G01C19/5719 ,  Y10T74/12

摘要： A drive arrangement for a micromachine includes a plurality of fixed electrodes arranged so as to have a common centroid.

公开(公告)号：US20060191340A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：US11360848

申请日：2006-02-23

申请人： John Geen

发明人： John Geen

IPC分类号： G01P15/08

CPC分类号： G01C19/5719 ,  Y10T74/12

摘要： Each of a number of resonator masses is split into two separate lobes or masses joined together by a short flexure. The short flexure allows the separate lobes or masses to rotate slightly as they resonate so as to substantially relieve longitudinal stresses in certain resonator structures.

摘要翻译： 多个谐振器块中的每一个被分成两个单独的凸起或通过短弯曲连接在一起的质量。 短弯曲允许单独的凸角或质量在它们共振时略微旋转，以便基本上缓解某些谐振器结构中的纵向应力。

公开(公告)号：US20060191339A1

公开(公告)日：2006-08-31

申请号：US11360846

申请日：2006-02-23

申请人： John Geen

发明人： John Geen

IPC分类号： G01P15/08

CPC分类号： G01C19/5719 ,  Y10T74/12

摘要： Resonator structures include a plurality of resonator masses interconnected by a plurality of levers so as to resonate in anti-phase with one another. The levers include a plurality of lever fingers interdigitated with corresponding fixed fingers affixed to an underlying substrate for at least one of driving movement of the levers and sensing movement of the levers relative to the fixed fingers.

摘要翻译： 谐振器结构包括通过多个互连的多个谐振器块，以便彼此反相谐振。 杠杆包括多个杠杆指状物，其与固定到下面的基底上的相应的固定指状物相互指向，用于驱动杠杆的驱动运动和感测杠杆相对于固定指状物的运动中的至少一个。

公开(公告)号：US20060179945A1

公开(公告)日：2006-08-17

申请号：US11360847

申请日：2006-02-23

申请人： John Geen

发明人： John Geen

IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/00

CPC分类号： G01C19/5719 ,  Y10T74/12

摘要： A mass includes a first set of drive fingers interdigitated with a first array of fixed drive fingers and a second set of drive fingers interdigitated with a second array of fixed drive fingers. Each array of fixed drive fingers is affixed to a substrate using a plurality of anchors. The anchors for the first and second arrays of fixed drive fingers are arranged to be co-linear in a lateral direction relative to the motion of the mass.

摘要翻译： 质量包括与固定驱动指的第一阵列交叉指向的第一组驱动指，以及与第二固定驱动指的阵列交叉的第二组驱动指。 每个固定驱动指状物阵列使用多个锚固件固定到基底上。 用于第一和第二固定传动指状物阵列的锚定件相对于质量块的运动在横向方向上是共线的。

公开(公告)号：US20050193814A1

公开(公告)日：2005-09-08

申请号：US10793382

申请日：2004-03-04

申请人： John Geen ,  John Martin

发明人： John Geen ,  John Martin

IPC分类号： B29C31/00

CPC分类号： H01L23/20 ,  B81B7/0058 ,  B81B2201/025 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： An inertial sensor has an interior filled with a relatively low viscosity fill gas. To that end, the inertial sensor has a housing forming the noted interior, and a movable component within the interior. The inertial sensor also has the noted fill gas within the interior. The fill gas has a viscosity that is less than the viscosity of nitrogen under like conditions. For example, when subjected to the same temperatures and pressures, the fill gas has a viscosity that is less than the viscosity of nitrogen.

摘要翻译： 惯性传感器具有填充有相对低粘度的填充气体的内部。 为此，惯性传感器具有形成所述内部的壳体和内部的可移动部件。 惯性传感器在内部还具有注明的填充气体。 填充气体的粘度比同样条件下的氮的粘度小。 例如，当经受相同的温度和压力时，填充气体的粘度小于氮的粘度。

公开(公告)号：US20050139005A1

公开(公告)日：2005-06-30

申请号：US11065878

申请日：2005-02-25

申请人： John Geen

发明人： John Geen

IPC分类号： G01C19/56 ,  G01P1/04 ,  G01P9/04 ,  G01P15/14

CPC分类号： G01C19/5719 ,  Y10T74/12

摘要： Quadrature suppression is provided by placing a resonator mass adjacent to a quadrature suppression electrode. The resonator mass is capable of moving substantially parallel to the quadrature suppression electrode and includes a notch formed adjacent to a portion of the quadrature suppression electrode such that a length of resonator mass that is directly adjacent to the quadrature suppression electrode varies as the resonator mass moves relative to the quadrature suppression electrode. The quadrature suppression electrode is capable of producing a lateral force on the resonator mass that varies based on the length of resonator mass that is directly adjacent to the quadrature suppression electrode. Such quadrature suppression can be used in sensors having one or more resonator masses.

摘要翻译： 通过将谐振器质量块放置在正交抑制电极附近来提供正交抑制。 谐振器质量能够基本上平行于正交抑制电极移动，并且包括与正交抑制电极的一部分相邻形成的陷波，使得与正交抑制电极直接相邻的谐振器质量的长度随谐振器质量移动而变化 相对于正交抑制电极。 正交抑制电极能够产生基于与正交抑制电极直接相邻的谐振器质量的长度而变化的谐振器质量块上的横向力。 这种正交抑制可以用在具有一个或多个谐振器质量块的传感器中。