公开(公告)号：US07215459B2

公开(公告)日：2007-05-08

申请号：US11056732

申请日：2005-02-11

申请人： Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

发明人： Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B27/1033 ,  Y10S359/904

摘要： Disclosed herein is a micromirror device having in-plane deformable hinge to which a deflectable and reflective mirror plate is attached. The mirror plate rotates to different angles in response to an electrostatic field established between the mirror plate and an addressing electrode associated with the mirror plate.

摘要翻译： 本文公开了一种具有面向可变形铰链的微反射镜装置，可偏转和反射的反射镜板附接到该反射镜。 响应于在镜板和与镜板相关联的寻址电极之间建立的静电场，镜板旋转到不同的角度。

公开(公告)号：US07483198B2

公开(公告)日：2009-01-27

申请号：US11056752

申请日：2005-02-11

申请人： Jonathan Doan ,  Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

发明人： Jonathan Doan ,  Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： B82Y30/00

摘要： Disclosed herein is a micromirror device having in-plane deformable hinge to which a deflectable and reflective mirror plate is attached. The mirror plate rotates to different angles in response to an electrostatic field established between the mirror plate and an addressing electrode associated with the mirror plate.

摘要翻译： 本文公开了一种具有面向可变形铰链的微反射镜装置，可偏转和反射的反射镜板附接到该反射镜。 响应于在镜板和与镜板相关联的寻址电极之间建立的静电场，镜板旋转到不同的角度。

公开(公告)号：US20060056006A1

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：US11056732

申请日：2005-02-11

申请人： Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

发明人： Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B27/1033 ,  Y10S359/904

摘要： Disclosed herein is a micromirror device having in-plane deformable hinge to which a deflectable and reflective mirror plate is attached. The mirror plate rotates to different angles in response to an electrostatic field established between the mirror plate and an addressing electrode associated with the mirror plate.

摘要翻译： 本文公开了一种具有面向可变形铰链的微反射镜装置，可偏转和反射的反射镜板附接到该反射镜。 响应于在镜板和与镜板相关联的寻址电极之间建立的静电场，镜板旋转到不同的角度。

公开(公告)号：US20060056005A1

公开(公告)日：2006-03-16

申请号：US11056727

申请日：2005-02-11

申请人： Satyadev Patel ,  Andrew Huibers ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

发明人： Satyadev Patel ,  Andrew Huibers ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B27/1026 ,  Y10S359/904

摘要： Disclosed herein is a micromirror device having in-plane deformable hinge to which a deflectable and reflective mirror plate is attached. The mirror plate rotates to different angles in response to an electrostatic field established between the mirror plate and an addressing electrode associated with the mirror plate.

公开(公告)号：US20050157375A1

公开(公告)日：2005-07-21

申请号：US11056752

申请日：2005-02-11

申请人： Jonathan Doan ,  Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

发明人： Jonathan Doan ,  Andrew Huibers ,  Satyadev Patel ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： B82Y30/00

摘要： Disclosed herein is a micromirror device having in-plane deformable hinge to which a deflectable and reflective mirror plate is attached. The mirror plate rotates to different angles in response to an electrostatic field established between the mirror plate and an addressing electrode associated with the mirror plate.

摘要翻译： 本文公开了一种具有面向可变形铰链的微反射镜装置，可偏转和反射的反射镜板附接到该反射镜。 响应于在镜板和与镜板相关联的寻址电极之间建立的静电场，镜板旋转到不同的角度。

公开(公告)号：US07119944B2

公开(公告)日：2006-10-10

申请号：US11056727

申请日：2005-02-11

申请人： Satyadev Patel ,  Andrew Huibers ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

发明人： Satyadev Patel ,  Andrew Huibers ,  Jonathan Doan ,  James Dunphy ,  Dmitri Simonian ,  Hongqin Shi ,  Jianglong Zhang

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  G02B27/1026 ,  Y10S359/904

摘要： Disclosed herein is a micromirror device having in-plane deformable hinge to which a deflectable and reflective mirror plate is attached. The mirror plate rotates to different angles in response to an electrostatic field established between the mirror plate and an addressing electrode associated with the mirror plate.

公开(公告)号：US20070241417A1

公开(公告)日：2007-10-18

申请号：US11734442

申请日：2007-04-12

申请人： Andrew Huibers ,  Hongqin Shi ,  James Dunphy ,  Satyadev Patel

发明人： Andrew Huibers ,  Hongqin Shi ,  James Dunphy ,  Satyadev Patel

IPC分类号： H01L31/0232

CPC分类号： G02B26/0841 ,  H01L27/14625 ,  H01L31/02327

摘要： A method for making a micromirror device comprises is disclosed herein.

摘要翻译： 本文公开了一种制造微反射镜装置的方法。

公开(公告)号：US07362494B2

公开(公告)日：2008-04-22

申请号：US11734442

申请日：2007-04-12

申请人： Andrew Huibers ,  Hongqin Shi ,  James C. Dunphy ,  Satyadev Patel

发明人： Andrew Huibers ,  Hongqin Shi ,  James C. Dunphy ,  Satyadev Patel

IPC分类号： G02B26/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  H01L27/14625 ,  H01L31/02327

摘要： A method for making a micromirror device comprises is disclosed herein.

摘要翻译： 本文公开了一种制造微反射镜装置的方法。

公开(公告)号：US20050020089A1

公开(公告)日：2005-01-27

申请号：US10666002

申请日：2003-09-17

申请人： Hongqin Shi ,  Gregory Schaadt ,  Andrew Huibers ,  Satyadev Patel

发明人： Hongqin Shi ,  Gregory Schaadt ,  Andrew Huibers ,  Satyadev Patel

IPC分类号： G02B26/08 ,  H01L21/00 ,  H01L21/302 ,  H01L21/461

CPC分类号： H01L21/67069 ,  B81C1/00595 ,  B81C2201/0132 ,  G02B26/0841

摘要： The present invention discloses a method and apparatus for removing the sacrificial materials in fabrications of microstructures using a vapor phase etchant recipe having a spontaneous vapor phase chemical etchant. The vapor phase etchant recipe has a mean-free-path corresponding to the minimum thickness of the sacrificial layers between the structural layers of the microstructure. This method is of particular importance in removing the sacrificial layers underneath the structural layers of the microstructure.

摘要翻译： 本发明公开了一种使用具有自发气相化学蚀刻剂的气相蚀刻剂配方去除微结构制造中的牺牲材料的方法和装置。 气相蚀刻剂配方具有对应于微结构的结构层之间的牺牲层的最小厚度的平均自由程。 该方法在去除微结构结构层下面的牺牲层时尤其重要。

公开(公告)号：US07557932B2

公开(公告)日：2009-07-07

申请号：US11110338

申请日：2005-04-19

申请人： Jonathan Doan ,  Regis Grasser ,  Satyadev Patel ,  Andrew Huibers ,  Igor Volfman

发明人： Jonathan Doan ,  Regis Grasser ,  Satyadev Patel ,  Andrew Huibers ,  Igor Volfman

IPC分类号： G01B9/02

CPC分类号： G02B26/001 ,  G02B26/0841

摘要： The invention provides a method and apparatus for evaluating the quality of microelectromechanical devices having deformable and deflectable members using resonation techniques. Specifically, product quality characterized in terms of uniformity of the deformable and deflectable elements is inspected with an optical resonance mapping mechanism on a wafer-level.

摘要翻译： 本发明提供一种用于使用谐振技术来评估具有可变形和可偏转构件的微机电装置的质量的方法和装置。 具体地说，利用晶片级上的光学共振映射机构来检查以可变形和可偏转元件的均匀性为特征的产品质量。