公开(公告)号：US20110194213A1

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：US12702045

申请日：2010-02-08

申请人： Kaizhong Gao ,  Xilin Peng ,  Zhongyan Wang ,  Yonghua Chen

发明人： Kaizhong Gao ,  Xilin Peng ,  Zhongyan Wang ,  Yonghua Chen

IPC分类号： G11B5/33

CPC分类号： G11B5/398 ,  G11B5/3912 ,  H01L43/08

摘要： In some examples, a system comprising a data storage member including a magnetic storage medium, the magnetic storage medium having a plurality of magnetic bit domains aligned on at least one data track, where a transition boundary between respective magnetic bit domains defines a transition curvature. The system may further comprise a magnetic read head including a first shield layer, a second shield layer, and a read sensor stack provided proximate to the first and second shield layers, where the magnetic read head senses a magnetic field of each of the plurality of magnetic bit domains according to a read playback sensitivity function. In some examples, the shield layers and read sensor stack may be configured to provide a reader playback sensitivity function that substantially corresponds to the shape of the respective magnetic bit domains.

摘要翻译： 在一些示例中，包括包括磁存储介质的数据存储构件的系统，所述磁存储介质具有在至少一个数据轨道上对准的多个磁位域，其中各个磁位域之间的过渡边界限定了转变曲率。 该系统还可以包括磁读取头，其包括靠近第一和第二屏蔽层设置的第一屏蔽层，第二屏蔽层和读取传感器堆叠，其中磁性读取头感测多个 根据读取播放灵敏度功能的磁性位域。 在一些示例中，屏蔽层和读取传感器堆叠可以被配置为提供基本对应于各个磁性位域的形状的读取器重放灵敏度功能。

公开(公告)号：US08896972B2

公开(公告)日：2014-11-25

申请号：US12702045

申请日：2010-02-08

申请人： Kaizhong Gao ,  Xilin Peng ,  Zhongyan Wang ,  Yonghua Chen

发明人： Kaizhong Gao ,  Xilin Peng ,  Zhongyan Wang ,  Yonghua Chen

IPC分类号： G11B5/33 ,  G11B5/127 ,  G11B5/39 ,  H01L43/08

CPC分类号： G11B5/398 ,  G11B5/3912 ,  H01L43/08

摘要： In some examples, a system comprising a data storage member including a magnetic storage medium, the magnetic storage medium having a plurality of magnetic bit domains aligned on at least one data track, where a transition boundary between respective magnetic bit domains defines a transition curvature. The system may further comprise a magnetic read head including a first shield layer, a second shield layer, and a read sensor stack provided proximate to the first and second shield layers, where the magnetic read head senses a magnetic field of each of the plurality of magnetic bit domains according to a read playback sensitivity function. In some examples, the shield layers and read sensor stack may be configured to provide a reader playback sensitivity function that substantially corresponds to the shape of the respective magnetic bit domains.

摘要翻译： 在一些示例中，包括包括磁存储介质的数据存储构件的系统，所述磁存储介质具有在至少一个数据轨道上对准的多个磁位域，其中各个磁位域之间的过渡边界限定了转变曲率。 该系统还可以包括磁读取头，其包括靠近第一和第二屏蔽层设置的第一屏蔽层，第二屏蔽层和读取传感器堆叠，其中磁性读取头感测多个 根据读取播放灵敏度功能的磁性位域。 在一些示例中，屏蔽层和读取传感器堆叠可以被配置为提供基本对应于各个磁性位域的形状的读取器重放灵敏度功能。

公开(公告)号：US20100183957A1

公开(公告)日：2010-07-22

申请号：US12357296

申请日：2009-01-21

申请人： Zhongyan Wang ,  Thomas R. Boonstra ,  Mark H. Ostrowski ,  Alexandre V. Demtchouk ,  Xilin Peng ,  Kaizhong Gao

发明人： Zhongyan Wang ,  Thomas R. Boonstra ,  Mark H. Ostrowski ,  Alexandre V. Demtchouk ,  Xilin Peng ,  Kaizhong Gao

IPC分类号： G03F1/14

CPC分类号： G11B5/82 ,  G11B5/743 ,  G11B5/855 ,  G11B5/865

摘要： Aspects include methods to produce pattern media templates and the templates. A pattern of resist structures is formed on a first material layer. A conformal layer of a second material is deposited on the resist pattern, covering tops and side walls of the resist structures. The first material is more resistant to ion milling than the second material, and less resistant to plasma etching than the second material. The first material can be amorphous carbon and the second material can be aluminum oxide. The second material is removed on the tops, and preserved on the side walls. The resist structures and portions of the first layer not supporting second layer material are removed by plasma. The remaining structure is 2× denser than the resist pattern. Conformal deposition of second material and ion milling can be repeated. CMP removes the second material down to a portion of remaining first material, and remaining first material is removed by plasma, leaving a 4× denser pitch pattern structure formed from the second material.

摘要翻译： 方面包括产生图案媒体模板和模板的方法。 抗蚀剂结构的图案形成在第一材料层上。 第二材料的保形层沉积在抗蚀剂图案上，覆盖抗蚀剂结构的顶部和侧壁。 第一种材料比第二种材料更耐离子研磨，并且比第二种材料对等离子体蚀刻的抗性更差。 第一种材料可以是无定形碳，第二种材料可以是氧化铝。 第二种材料在顶部被去除，并保留在侧壁上。 通过等离子体去除抗蚀剂结构和不支撑第二层材料的第一层的部分。 剩余结构比抗蚀剂图案更密集2倍。 可以重复第二种材料的保形沉积和离子研磨。 CMP将第二材料除去到剩余的第一材料的一部分，并且通过等离子体去除剩余的第一材料，留下由第二材料形成的4×更密的节距图案结构。

公开(公告)号：US08318030B2

公开(公告)日：2012-11-27

申请号：US12502180

申请日：2009-07-13

申请人： Xilin Peng ,  Stacey C. Wakeham ,  Yifan Zhang ,  Zhongyan Wang ,  Konstantin R. Nikolaev ,  Mark Henry Ostrowski ,  Yonghua Chen ,  Juren Ding

发明人： Xilin Peng ,  Stacey C. Wakeham ,  Yifan Zhang ,  Zhongyan Wang ,  Konstantin R. Nikolaev ,  Mark Henry Ostrowski ,  Yonghua Chen ,  Juren Ding

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/3909 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G01R33/098 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3932 ,  G11B5/3967

摘要： A method of fabricating a magnetic device is described. A mask removing layer is formed on a layered sensing stack and a hard mask layer is formed on the mask removing layer. A first reactive ion etch is performed with a non-oxygen-based chemistry to define the hard mask layer using an imaged layer formed on the hard mask layer as a mask. A second reactive ion etch is performed with an oxygen-based chemistry to define the mask removing stop layer using the defined hard mask layer as a mask. A third reactive ion etch is performed to define the layered sensing stack using the hard mask layer as a mask. The third reactive ion etch includes an etching chemistry that performs at a lower etching rate on the hard mask layer than on the layered sensing stack.

摘要翻译： 描述制造磁性装置的方法。 在层叠感测堆叠上形成掩模移除层，并且在掩模移除层上形成硬掩模层。 使用非氧基化学法进行第一反应离子蚀刻，以使用形成在硬掩模层上的成像层作为掩模来限定硬掩模层。 使用氧基化学法进行第二反应离子蚀刻，以使用限定的硬掩模层作为掩模来限定掩模去除停止层。 执行第三反应离子蚀刻以使用硬掩模层作为掩模来定义分层感测堆叠。 第三反应离子蚀刻包括蚀刻化学品，其在硬掩模层上的蚀刻速率低于分层感测叠层。

公开(公告)号：US20110007426A1

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：US12502104

申请日：2009-07-13

申请人： Jiaoming Qiu ,  Kaizhong Gao ,  Yonghua Chen ,  Beverley Craig ,  Zhongyan Wang ,  Vladyslav A. Vas'ko

发明人： Jiaoming Qiu ,  Kaizhong Gao ,  Yonghua Chen ,  Beverley Craig ,  Zhongyan Wang ,  Vladyslav A. Vas'ko

IPC分类号： G11B5/33

CPC分类号： G11B5/127 ,  G11B5/39 ,  G11B5/3932

摘要： A magnetoresistive sensor having a trilayer sensor stack with two ferromagnetic freelayers separated by a nonmagnetic spacer layer is disclosed. The sensor is biased with a back biasing magnet adjacent a back of the trilayer sensor. The back biasing magnet, the trilayer sensor stack, or both have substantially trapezoidal shapes to enhance the biasing field and to minimize noise. In some embodiments, the trilayer sensor or back bias magnet have a shape designed to stabilize a micromagnetic “C” shape or concentrate magnetic flux in the trilayer sensor stack.

摘要翻译： 公开了具有由非磁性间隔层隔开的两个铁磁自由电感器的三层传感器堆叠的磁阻传感器。 传感器被偏置在靠近三层传感器背面的背偏置磁体。 背偏置磁体，三层传感器堆叠或两者具有基本上梯形的形状以增强偏置场并且使噪声最小化。 在一些实施例中，三层传感器或反偏置磁体具有设计成稳定微磁“C”形状或将三维层传感器堆叠中的磁通量集中的形状。

公开(公告)号：US20110006033A1

公开(公告)日：2011-01-13

申请号：US12502180

申请日：2009-07-13

申请人： Xilin Peng ,  Stacey Wakeham ,  Yifan Zhang ,  Zhongyan Wang ,  Konstantin Nikolaev ,  Mark Henry Ostrowski ,  Yonghua Chen ,  Juren Ding

发明人： Xilin Peng ,  Stacey Wakeham ,  Yifan Zhang ,  Zhongyan Wang ,  Konstantin Nikolaev ,  Mark Henry Ostrowski ,  Yonghua Chen ,  Juren Ding

IPC分类号： B44C1/22

CPC分类号： G11B5/3909 ,  B82Y10/00 ,  B82Y25/00 ,  G01R33/098 ,  G11B5/1278 ,  G11B5/3932 ,  G11B5/3967

摘要： A method of fabricating a magnetic device is described. A mask removing layer is formed on a layered sensing stack and a hard mask layer is formed on the mask removing layer. A first reactive ion etch is performed with a non-oxygen-based chemistry to define the hard mask layer using an imaged layer formed on the hard mask layer as a mask. A second reactive ion etch is performed with an oxygen-based chemistry to define the mask removing stop layer using the defined hard mask layer as a mask. A third reactive ion etch is performed to define the layered sensing stack using the hard mask layer as a mask. The third reactive ion etch includes an etching chemistry that performs at a lower etching rate on the hard mask layer than on the layered sensing stack.

摘要翻译： 描述制造磁性装置的方法。 在层叠感测堆叠上形成掩模移除层，并且在掩模移除层上形成硬掩模层。 使用非氧基化学法进行第一反应离子蚀刻，以使用形成在硬掩模层上的成像层作为掩模来限定硬掩模层。 使用氧基化学法进行第二反应离子蚀刻，以使用限定的硬掩模层作为掩模来限定掩模去除停止层。 执行第三反应离子蚀刻以使用硬掩模层作为掩模来定义分层感测堆叠。 第三反应离子蚀刻包括蚀刻化学品，其在硬掩模层上的蚀刻速率低于分层感测叠层。

公开(公告)号：US08773956B1

公开(公告)日：2014-07-08

申请号：US13312925

申请日：2011-12-06

申请人： Zhongyan Wang ,  Hongxing Yuan ,  Shawn M. Tanner ,  Yufeng Hu

发明人： Zhongyan Wang ,  Hongxing Yuan ,  Shawn M. Tanner ,  Yufeng Hu

IPC分类号： G11B11/00

CPC分类号： G11B5/6088 ,  G11B5/314 ,  G11B2005/0021

摘要： Embodiments of the present invention are directed toward a bi-layer spacer structure and related fabrication processes for improving an interface between a near-field transducer (NFT) and a spacer on an optical waveguide core for an energy assisted magnetic recording (EAMR) system. The embodiments provide a solution for improving the adhesion between the NFT and the spacer.

摘要翻译： 本发明的实施例涉及一种用于改善用于能量辅助磁记录（EAMR）系统的光波导芯上的近场换能器（NFT）和间隔物之间​​的界面的双层间隔结构和相关制造工艺。 这些实施例提供了用于改善NFT和间隔物之间​​的粘附性的解决方案。

公开(公告)号：US08634280B1

公开(公告)日：2014-01-21

申请号：US13165017

申请日：2011-06-21

申请人： Zhongyan Wang ,  Hongxing Yuan ,  Zhong Shi ,  Yufeng Hu

发明人： Zhongyan Wang ,  Hongxing Yuan ,  Zhong Shi ,  Yufeng Hu

IPC分类号： G11B11/00

CPC分类号： G11B5/314 ,  G11B5/3116 ,  G11B2005/0021

摘要： A method and system provides an EAMR transducer. The transducer is coupled with a laser for providing energy and has an air-bearing surface (ABS) configured to reside in proximity to a media during use. The EAMR transducer includes a near field transducer (NFT) for focusing the energy onto the region of the media, a write pole, and at least one coil for energizing the write pole. The NFT includes a ring portion having an aperture therein and a pin portion proximate to the ABS. The write pole is configured to write to a region of the media.

摘要翻译： 一种方法和系统提供了一种EAMR传感器。 换能器与用于提供能量的激光器耦合，并且具有配置成在使用期间驻留在介质附近的空气轴承表面（ABS）。 EAMR传感器包括用于将能量聚焦到介质的区域上的近场传感器（NFT），写入极和用于激励写入极的至少一个线圈。 NFT包括其中具有孔的环部分和靠近ABS的销部分。 写入极配置为写入介质的一个区域。

公开(公告)号：US08325569B1

公开(公告)日：2012-12-04

申请号：US13169720

申请日：2011-06-27

申请人： Zhong Shi ,  Zhongyan Wang ,  Shing Lee ,  Hongxing Yuan

发明人： Zhong Shi ,  Zhongyan Wang ,  Shing Lee ,  Hongxing Yuan

IPC分类号： G11B11/00

CPC分类号： G11B5/6088 ,  G11B5/314 ,  G11B2005/0021

摘要： A method and system provide an EAMR transducer having an air-bearing surface (ABS) that resides near a media during use. The EAMR transducer includes a write pole, coil(s), a near field transducer (NFT), a waveguide, and a reflective grating. The write pole writes to a region of the media. The coil(s) energize the write pole. The NFT is proximate to the ABS and focuses the energy onto the media. The waveguide is configured to direct the energy from the laser toward the NFT at an incident angle with respect to the ABS. A first portion of the energy reflects off of the ABS at a reflected angle. The reflective grating receives the first portion of the energy at the reflected angle from the ABS and reflects a second portion of the energy toward the ABS. The NFT resides between at least part of the waveguide and the reflective grating.

摘要翻译： 一种方法和系统提供具有在使用期间驻留在介质附近的空气轴承表面（ABS）的EAMR换能器。 EAMR传感器包括写极，线圈，近场换能器（NFT），波导和反射光栅。 写入磁极写入媒体的一个区域。 线圈使写入极点通电。 NFT靠近ABS，将能量聚焦在媒体上。 波导被配置为以相对于ABS的入射角将来自激光器的能量引向NFT。 能量的第一部分以反射角反射离开ABS。 反射光栅从ABS接收以反射角度的能量的第一部分，并将能量的第二部分反射向ABS。 NFT位于波导和反射光栅的至少一部分之间。

公开(公告)号：US20110294398A1

公开(公告)日：2011-12-01

申请号：US12789813

申请日：2010-05-28

申请人： Yufeng Hu ,  Zhongyan Wang ,  Jinshan Li

发明人： Yufeng Hu ,  Zhongyan Wang ,  Jinshan Li

IPC分类号： B24B51/00

CPC分类号： G11B13/04 ,  B24B37/013 ,  G11B5/314 ,  G11B5/3169 ,  G11B2005/001 ,  G11B2005/0021 ,  Y10T29/49041 ,  Y10T29/49043 ,  Y10T29/49044 ,  Y10T29/49046 ,  Y10T29/49048 ,  Y10T29/49052

摘要： A method and system for fabricating transducer having an air-bearing surface (ABS) is described. The method and system include providing at least one near-field transducer (NFT) film and providing an electronic lapping guide (ELG) film substantially coplanar with a portion of the at least one NFT film. The method and system also include defining a disk portion of an NFT from the portion of the at least one NFT film and at least one ELG from the ELG film. The disk portion corresponds to a critical dimension of the NFT from an ABS location. The method and system also include lapping the at least one transducer. The lapping is terminated based on a signal from the ELG.

摘要翻译： 描述了一种用于制造具有空气轴承表面（ABS）的换能器的方法和系统。 该方法和系统包括提供至少一个近场换能器（NFT）膜并提供与所述至少一个NFT膜的一部分基本共面的电子研磨导向器（ELG）膜。 该方法和系统还包括从至少一个NFT膜的部分和来自ELG膜的至少一个ELG限定NFT的盘部分。 盘部分对应于来自ABS位置的NFT的临界尺寸。 该方法和系统还包括研磨至少一个换能器。 基于ELG的信号终止研磨。